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광원으로부터 발광된 자외선이 샘플의 표면 측으로 조사되는 자외선조사단계; 상기 자외선조사단계에서 상기 자외선이 조사된 상기 샘플의 표면 측으로부터 방출되는 포토루미네선스(Photoluminescence)를 카메라장치가 입사받아서 포토루미네선스 이미지정보를 획득하는 포토루미네선스 이미지정보 획득단계; 및상기 포토루미네선스 이미지 획득단계에서 상기 카메라장치에 획득된 상기 포토루미네선스 이미지정보가 상기 카메라장치 측으로부터 데이터처리장치 측으로 전달되고, 상기 샘플의 폴리타입(polytype)이 판단될 수 있도록, 상기 데이터처리장치가 상기 포토루미네선스 이미지정보를 소정의 색상공간 상에 나타낼 수 있는 적어도 하나 이상의 색상점(color point)으로 변환시키는 데이터처리단계; 를 포함하되,상기 샘플은 실리콘카바이드(SiC)이며,상기 광원과 상기 샘플 사이에 상기 자외선을 확산시켜주는 빔익스펜더(beam expender)가 위치하고,상기 자외선조사단계에서, 상기 자외선이 상기 빔익스펜더를 지나 상기 샘플의 표면 측으로 조사되며,상기 포토루미네선스 이미지정보 획득단계에서, 상기 포토루미네선스 이미지정보는 RGB(Red, Green, Blue) 형식(format)의 정보로서 상기 카메라장치에 저장되며, 0켈빈에서 델타 함수 형태를 이루거나 상기 0켈빈 보다 더 큰 온도에서 가우스 함수 형태를 이루고,상기 데이터처리단계는, 상기 데이터처리장치를 사용하여 상기 포토루미네선스 이미지정보와 표준화된 스펙트럼 밀도의 곱을 가시광선의 파장으로 적분하여 3 자극치의 XYZ을 구하고,상기 3 자극치의 XYZ를 x=(X/(X+Y+Z)), y=(Y/(X+Y+Z)) 및 z=(Z/(X+Y+Z))=1-x-y 로 정규화시켜 xy 를 상기 색상공간에서 상기 색상점으로 변환시키는 것을 포함하고,상기 데이터처리단계 이후에 이루어지는 단계로서, 상기 데이터처리장치는 변환처리된 상기 색상점이 상기 색상공간 내 어느 좌표에 해당되는지 파악하고, 상기 데이터처리장치가 데이터베이스에 저장되어 있는 결정의 폴리타입들에 관한 정보와 비교하여 상기 샘플의 폴리타입을 판단하는 판단단계; 및상기 데이터처리단계에서 변환처리된 상기 색상점을 외부에서 인식할 수 있도록 디스플레이장치가 상기 색상공간과 상기 색상점을 디스플레이하는 디스플레이단계; 를 더 포함하고,상기 디스플레이단계에서, 상기 판단단계에서 판단된 상기 샘플의 폴리타입에 대한 판단결과정보가 상기 데이터처리장치에 의해 상기 디스플레이장치로 전달되어 상기 디스플레이장치에 의해 디스플레이 되며,상기 데이터처리단계에서의 상기 색상공간은 CIE 1931 표준측색시스템에 따라 규정되는 색상공간인 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 결정의 폴리타입 분석방법
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제 1항에 있어서, 상기 자외선조사단계 이전에 이루어지는 단계로서, 상기 샘플에 대하여 클리닝(cleaning)시켜주는 준비단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 결정의 폴리타입 분석방법
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제 1항에 있어서, 상기 자외선조사단계에서, 상기 광원 측에서 발광된 상기 자외선이 제1광학밴드패스필터(optical band pass filter)에 의해 필터링 되어 상기 샘플 측으로 조사되는 것을 특징으로 하는,자외선 포토루미네선스를 이용한 결정의 폴리타입 분석방법
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제 9항에 있어서, 상기 제1광학밴드패스필터에 의하여 필터링 되어 상기 샘플 측으로 입사되는 상기 자외선의 파장은 300nm 내지 400nm 사이에 해당되는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 결정의 폴리타입 분석방법
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제 1항에 있어서, 상기 포토루미네선스 이미지정보 획득단계에서, 상기 샘플 측으로부터 방출되어오는 상기 포토루미네선스가 상기 카메라장치에 입사되기 전에 제2광학밴드패스필터에 의해 필터링되는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 결정의 폴리타입 분석방법
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제 11항에 있어서,상기 포토루미네선스 이미지정보 획득단계에서, 상기 제2광학밴드패스필터에 의하여 필터링되어 상기 카메라장치 측으로 입사되는 상기 포토루미네선스의 파장은 450nm 보다 큰 것을 특징으로 하는,자외선 포토루미네선스를 이용한 결정의 폴리타입 분석방법
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