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기판을 관통하는 관통 전극의 일단에 테스트 전압을 인가하는 단계;상기 기판에 증폭 전압을 인가하는 단계;상기 기판에 상기 증폭 전압이 인가된 상태에서, 상기 관통 전극의 타단에서 관통 전류를 측정하는 단계; 및상기 관통 전류를 이용하여, 상기 관통 전극의 핀 홀 발생 여부를 판단하는 단계를 포함하는 관통 전극의 결함 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 관통 전극의 핀 홀 발생 여부를 판단하는 단계는, 상기 관통 전류와 기준 전류의 차이 값을 계산하는 단계; 및상기 차이 값이 기준 범위 이내인지 판단하는 단계를 포함하되, 상기 기준 전류는, 상기 관통 전극에 핀 홀이 없는 경우 상기 관통 전극의 상기 타단에 흐르는 전류 값인 것을 포함하는 관통 전극의 결함 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 기판에 인가되는 상기 증폭 전압이 증가할수록 상기 관통 전극의 상기 타단에서 측정되는 상기 관통 전류가 증가하는 것을 포함하는 관통 전극의 결함 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 기판의 도핑 농도가 증가할수록 상기 관통 전극의 상기 타단에서 측정되는 상기 관통 전류가 증가하는 것을 포함하는 관통 전극의 결함 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 기판의 도핑 농도는 1015~1017 /cm3인 것을 포함하는 관통 전극의 결함 측정 방법
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기판을 관통하는 관통 전극의 일단 및 타단에 연결되어, 상기 관통 전극의 일단에 테스트 전압을 인가하고, 상기 관통 전극의 타단에서 관통 전류를 측정하는 제1 회로; 및상기 기판에 증폭 전압을 인가하는 제2 회로를 포함하되,상기 제1 회로는, 상기 테스트 전압을 인가하는 테스트 전압 발생부; 상기 기판에 상기 증폭 전압이 인가된 상태에서, 상기 관통 전류를 측정하는 관통 전류 측정부;상기 관통 전류와 기준 전류의 차이 값을 계산하고, 상기 차이 값을 이용하여, 상기 관통 전극의 핀 홀 발생 여부를 판단하는 핀 홀 생성 판단부를 포함하는 관통 전극의 결함 측정 장치
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제6항에 있어서,상기 제1 회로는,상기 관통 전극의 상기 일단과 상기 테스트 전압 발생부 사이에 직렬 연결되어 제공되는 제1 저항; 및상기 관통 전극의 상기 타단과 상기 핀 홀 생성 판단부 사이에 직렬 연결되어 제공되는 제2 저항을 더 포함하고,상기 제2 회로는,상기 기판의 일측에서 상기 증폭 전압이 인가될 시, 상기 기판의 타측에 직렬 연결되어 제공되는 제3 저항을 더 포함하는 관통 전극의 결함 측정 장치
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