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일면에 패턴이 형성된 기판을 일방향으로 이송하는 이송부와,상기 이송 중인 기판의 적어도 일부분의 일면 측을 가열하기 위한 가열부와,상기 가열부가 가열하는 기판의 적어도 일부분과 동일한 부분의 타면 측을 냉각하기 위한 냉각부를 포함하며,상기 가열부는 열풍을 분사하는 열풍 분사기를 포함하고,상기 냉각부는 냉풍을 분사하는 냉풍 분사기를 포함하며,상기 기판은 연속적인 연성기판이고,이송중인 상기 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로의 변위를 감지하는 변위 감지부를 더 포함하며,상기 가열부 및 냉각부 중 적어도 하나는 상기 변위 감지부로부터의 신호에 따라 각각 분사하는 열풍 또는 냉풍의 풍속, 풍량 또는 풍압을 증감할 수 있는 기판 가열 및 냉각 처리 장치
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일면에 패턴이 형성된 기판을 일방향으로 이송하는 이송부와,상기 이송 중인 기판의 적어도 일부분의 일면 측을 가열하기 위한 가열부와,상기 가열부가 가열하는 기판의 적어도 일부분과 동일한 부분의 타면 측을 냉각하기 위한 냉각부를 포함하며,상기 가열부는 열풍을 분사하는 열풍 분사기를 포함하고,상기 냉각부는 냉풍을 분사하는 냉풍 분사기를 포함하며,상기 기판은 연속적인 연성기판이고,이송중인 상기 기판의 장력을 감지하는 장력 감지부를 더 포함하며,상기 가열부 및 냉각부 중 적어도 하나는 상기 장력 감지부로부터의 신호에 따라 각각 분사하는 열풍 또는 냉풍의 풍속, 풍량 또는 풍압을 증감할 수 있는 기판 가열 및 냉각 처리 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 가열부가 가열하는 온도는 상기 기판의 일면에 형성된 패턴을 건조하거나 소결할 수 있는 온도이고,상기 냉각부가 냉각하는 온도는 상기 기판의 소재의 변형온도보다 낮은 온도인 기판 가열 및 냉각 처리 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 냉각부는 상기 기판의 소재의 변형온도보다 낮은 온도에서 기화하는 액체와 승화하는 고체 중 적어도 하나를 상기 냉풍에 혼합하여 분사하는 기판 가열 및 냉각 처리 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 가열부는 상기 기판의 일면에 형성된 패턴을 향해 광선을 조사하는 광조사부를 더 포함하는 기판 가열 및 냉각 처리 장치
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일면에 패턴이 형성된 기판을 일방향으로 이송하는 이송단계와,상기 이송 중인 기판의 적어도 일부분의 일면 측을 가열하는 가열단계와,상기 가열단계에서 가열되는 기판의 적어도 일부분의 타면 측을 냉각하는 냉각단계를 포함하며,상기 가열단계는 열풍을 분사하고,상기 냉각단계는 냉풍을 분사하며,상기 이송단계에서 이송 중인 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로의 변위를 감지하는 변위 감지단계를 더 포함하고,상기 가열단계와 냉각단계 중 적어도 한 단계는 상기 변위 감지단계에서 감지된 변위에 따라 열풍 또는 냉풍의 풍속, 풍량 또는 풍압을 증감하는 기판 가열 및 냉각 처리 방법
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일면에 패턴이 형성된 기판을 일방향으로 이송하는 이송단계와,상기 이송 중인 기판의 적어도 일부분의 일면 측을 가열하는 가열단계와,상기 가열단계에서 가열되는 기판의 적어도 일부분의 타면 측을 냉각하는 냉각단계를 포함하며,상기 가열단계는 열풍을 분사하고,상기 냉각단계는 냉풍을 분사하며,상기 이송단계에서 이송 중인 기판의 장력을 감지하는 장력 감지단계를 더 포함하고,상기 가열단계와 냉각단계 중 적어도 한 단계는 상기 장력 감지단계에서 감지된 장력에 따라 열풍 또는 냉풍의 풍속, 풍량 또는 풍압을 증감하는 기판 가열 및 냉각 처리 방법
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