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알루미나-실리콘카바이드 복합체의 상압 소결 방법

  • 기술번호 : KST2018014730
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법에 관한 것으로써, 본 발명의 실시예를 따르는 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법은 Al2O3 분말, SiC 분말 및 용매를 혼합하여 슬러리를 준비하는 단계; 상기 슬러리를 고화하는 단계; 상기 고화된 슬러리를 성형하고, 제1 소결하여 제1 소결체를 제조하는 단계; 상기 제1 소결체에 소결조제를 액상에서 함침하는 단계; 및 상기 소결조제가 함침된 제1 소결체를 상압에서 제2 소결하는 단계;를 포함한다.
Int. CL C04B 35/10 (2006.01.01) C04B 35/565 (2006.01.01) C04B 35/64 (2006.01.01) C04B 35/626 (2006.01.01) C04B 35/63 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020170087659 (2017.07.11)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1981543-0000 (2019.05.17)
공개번호/일자 10-2018-0120052 (2018.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (20190527) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020170053184   |   2017.04.25
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.11)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김하늘 대한민국 경상남도 김해시
2 고재웅 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 김진명 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 박영조 대한민국 경상남도 창원시 진해구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0660886-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.06.08 수리 (Accepted) 9-1-2018-0027635-26
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0871298-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0167904-34
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.02.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0167969-91
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0301701-20
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Al2O3 분말, SiC 분말 및 용매를 혼합하여 슬러리를 준비하는 단계;상기 혼합된 슬러리를 제1 소결하여 제1 소결체를 제조하는 단계; 상기 제1 소결체에 소결조제를 함침하는 단계; 및상기 소결조제가 함침된 제1 소결체를 제2 소결하여 제2 소결체를 제조하는 단계;를 포함하는 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법에 있어서,상기 제1 소결체에 소결조제를 함침하는 단계는 상기 소결조제가 용해된 액상 용액에 상기 제1 소결체를 침지하여 수행하고; 및상기 제1 소결체에 소결조제를 함침하는 단계는 30분 초과 동안 수행하고, 상기 소결조제가 용해된 액상 용액의 소결조제의 농도는 1500ppm 초과인 것을 특징으로 하는 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 소결조제는 Mg, Y, Ca 또는 Ti 중 적어도 하나인 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1 소결체에 소결조제를 함침하는 단계는 1시간 내지 12시간 동안 수행되는 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 소결조제가 용해된 액상 용액의 소결조제의 농도는 3000ppm 내지 6000ppm인 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 제2 소결은 0
7 7
제1항에 있어서, 상기 Al2O3-SiC 복합체 전체 부피에 대한 SiC의 부피비는 10 내지 30%인 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 혼합된 슬러리를 제1 소결하여 제1 소결체를 제조하는 단계에서, 상기 제1 소결은 800 내지 1200℃ 온도에서 수행되는 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 소결조제가 함침된 제1 소결체를 제2 소결하여 제2 소결체를 제조하는 단계에서, 상기 제2 소결은 1500 내지 1750℃ 온도에서 수행되는 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 혼합된 슬러리를 제1 소결하여 제1 소결체를 제조하는 단계에서, 상기 슬러리를 제1 소결하기 전에 상기 슬러리를 고화하여 과립화하는 단계를 더 포함하는 Al2O3-SiC 복합체의 상압 소결 방법
11 11
Al2O3 분말, SiC 분말 및 용매를 혼합하여 슬러리를 준비하는 단계;상기 혼합된 슬러리를 제1 소결하여 제1 소결체를 제조하는 단계; 상기 제1 소결체에 소결조제를 함침하는 단계; 및상기 소결조제가 함침된 제1 소결체를 제2 소결하여 제2 소결체를 제조하는 단계;를 포함하는 Al2O3-SiC 반도체용 부품소재의 제조방법에 있어서,상기 제1 소결체에 소결조제를 함침하는 단계는 상기 소결조제가 용해된 액상 용액에 상기 제1 소결체를 침지하여 수행하고; 및상기 제1 소결체에 소결조제를 함침하는 단계는 30분 초과 동안 수행하고, 상기 소결조제가 용해된 액상 용액의 소결조제의 농도는 1500ppm 초과인 것을 특징으로 하는 Al2O3-SiC 반도체용 부품소재의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 ㈜ 코미코 전략적핵심소재기술개발사업 3D-1xnm급 반도체 공정용 내플라즈마성 10^16,10^10,10^3 ohm-cm급 세라믹 복합소재 및 온도 제어 기능성 부품 개발