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가스 감지소재를 포함하는 잉크를 형성하는 단계; 및금속 전극이 노출되어 있는 센서소자의 감지부 상부에 전기수력학 젯 프린팅 장치를 이용하여 상기 잉크를 도포하는 단계를 포함하며, 상기 가스 감지소재는 Ni, Zn, In, Sn 및 Ti으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속을 기반으로 하는 금속산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속산화물은 구(sphere), 막대(rod), 플레이트(plate), 플레이크(flake), 필름(film), 나노선(nanowire) 및 나노섬유(nanofiber)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속산화물은 구(sphere), 막대(rod), 플레이트(plate), 플레이크(flake), 필름(film), 나노선(nanowire) 및 나노섬유(nanofiber)로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 잉크는 그래핀(graphene), 탄소나노튜브(carbon nanotube), 카본블랙 및 흑연으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 첨가제를 더 포함하고, 상기 첨가제는 상기 잉크에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 0
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제1항에 있어서, 상기 잉크는 CuO, WO2 및 TeO2로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속산화물 촉매를 더 포함하고, 상기 금속산화물 촉매는 상기 잉크에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 0
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제1항에 있어서, 상기 잉크는 Pd, Pt, Ru, Au 및 Ag로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속 촉매를 더 포함하고, 상기 금속 촉매는 상기 잉크에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 0
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제1항에 있어서, 상기 잉크는 알파터피놀(α-Terpineol), 에틸셀룰로스(Ethylcellulose), 폴리비닐피롤리돈(Polyvinylpyrrolidone), 폴리비닐리덴플루오리드(Polyvinylidene fluoride), 에폭시(epoxy) 및 나피온(Nafion)으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 바인더를 더 포함하고,상기 바인더는 상기 잉크에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 0
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제1항에 있어서, 상기 잉크는 벤질트리메틸암모늄 하이드록사이드(benzyltrimethylammonium hydroxide)(C10H17NO), 디에틸아민(diethylamine)(C4H11N), 에틸아민(ethylamine), 프로필아민(propylamine), 부틸아민(butylamine), 펜틸아민(pentyl amine), 메틸아민(methylamine)(CH5N), 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드(tetramethyl ammonium hydroxide), 테트라에틸 암모늄 하이드록사이드(tetraethyl ammonium hydroxide), 테트라프로필 암모늄 하이드록사이드(tetrapropyl ammonium hydroxide) 및 테트라부틸 암모늄 하이드록사이드(tetrabutyl ammonium hydroxide)으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 분산제를 더 포함하고,상기 분산제는 상기 잉크에 상기 가스 감지소재 100중량부에 대하여 0
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제1항에 있어서, 상기 잉크의 점도는 50∼2500 cP인 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 센서소자는, 기판; 상기 기판 상부에 형성된 금속패턴 히터; 상기 금속패턴 히터 상부에 형성된 절연층; 및 상기 절연층 상부에 패턴화되어 있는 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 잉크를 도포하는 단계는,상기 잉크를 전기수력학 젯 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계; 상기 전기수력학 젯 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계;상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 잉크를 공급하는 단계; 및상기 전기수력학 젯 프린팅 장치의 노즐에서 상기 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 노즐의 이동 속도는 1∼500 mm/sec로 조절하고, 상기 접지전극과 상기 노즐 사이에 인가되는 전압은 0
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