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도파관 형태의 안테나를 이용한 마이크로 웨이브 플라즈마 발생 장치

  • 기술번호 : KST2018014891
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 도파관 형태의 안테나에 전계 방향 제어 영역을 구성하여 플라즈마의 생성 효율을 향상시킬 수 있도록 한 도파관 형태의 안테나를 이용한 마이크로 웨이브 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로, 해당 주파수 영역의 전기 신호를 발생시키는 마그네트론부;상기 마그네트론부에서 발생된 전기 신호가 웨이브의 형태로 진행되는 도파관부;상기 도파관부를 통해 이동된 전기 신호를 받아 플라즈마발생부로 에너지를 전달하고, 도파관 형태를 갖고 중앙 양쪽 부분의 서로 대응하는 영역이 절단되는 부분에 제 1 전계방향제어영역 및 제 2 전계방향제어영역이 형성되어 플라즈마 발생시의 전계 방향을 제어하는 안테나부;상기 안테나부를 구비하여 플라즈마 발생 영역을 내부에 갖는 진공 챔버;를 포함하는 것이다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) H01Q 13/02 (2006.01.01)
CPC H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01)
출원번호/일자 1020170055481 (2017.04.28)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0121145 (2018.11.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호준 대한민국 부산광역시 금정구
2 차주홍 대한민국 부산광역시 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0421784-64
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0461164-85
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0883902-14
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.09.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0883944-10
5 등록결정서
Decision to grant		 2019.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0072319-86
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
해당 주파수 영역의 전기 신호를 발생시키는 마그네트론부;상기 마그네트론부에서 발생된 전기 신호가 웨이브의 형태로 진행되는 도파관부;상기 도파관부를 통해 이동된 전기 신호를 받아 플라즈마발생부로 에너지를 전달하고, 도파관 형태를 갖고 도파관부에서의 웨이브 형태의 전기신호의 진행방향인 x축을 기준으로, y축 방향 또는 z축 방향에서 서로 대응하는 영역이 절단되는 부분에 제 1 전계방향제어영역 및 제 2 전계방향제어영역이 형성되어 플라즈마 발생시의 전계 방향을 제어하는 안테나부;상기 안테나부를 구비하여 플라즈마 발생 영역을 내부에 갖는 진공 챔버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 도파관 형태의 안테나를 이용한 마이크로 웨이브 플라즈마 발생 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 도파관부와 안테나부를 연결시키는 컨버터부를 더 포함하고,컨버터부의 길이는 도파관부에서 진행되는 진행파의 반 파장 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 도파관 형태의 안테나를 이용한 마이크로 웨이브 플라즈마 발생 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 안테나부는,도파관 형태를 갖고 도파관부에서의 웨이브 형태의 전기신호의 진행방향인 x축을 기준으로, y축 방향 또는 z축 방향에서 서로 대응하는 영역이 절단되어 서로 대응하는 제 1 안테나부와 제 2 안테나부를 갖고,제 1 안테나부와 제 2 안테나부 사이의 일측 절단 영역에 제 1 전계방향제어영역이 형성되고,제 1 안테나부와 제 2 안테나부 사이의 타측 절단 영역에 제 2 전계방향제어영역이 형성되는 것을 특징으로 하는 도파관 형태의 안테나를 이용한 마이크로 웨이브 플라즈마 발생 장치
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전계방향제어영역 및 제 2 전계방향제어영역이 형성되는 안테나부의 절단되는 부분의 크기를 조절하여 플라즈마로의 에너지 전달 크기 조절을 하는 것을 특징으로 하는 도파관 형태의 안테나를 이용한 마이크로 웨이브 플라즈마 발생 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 부산대학교 산학협력단 일반연구자지원사업(기본연구지원사업) TE-TEM 모드로 결합된 초고주파 플라즈마에서 펄스구동을 이용한 화학적 활성종 밀도제어