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기판;상기 기판 상에 배치되어 공기 중의 물질이 흡착되는 감지막; 상기 감지막의 표면 상에 배치되는 전극; 및상기 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 감지막의 표면에 흡착되는 물질의 양 및 종류에 따라 변화하는 공진 주파수를 측정하는 회로소자부;를 포함하고,상기 기판의 유전율 및 상기 흡착되는 물질의 유전율에 종속되는 상기 감지막의 유전율이 상기 물질이 상기 감지막에 흡착하였을 때 증가함에 따라 상기 공진 주파수가 감소하는 변화값에 의해 상기 물질의 종류를 판정할 수 있고,상기 회로소자부에서 측정되는 표면공진 주파수의 주파수 영역은 수백 MHz 내지 수 GHz 주파수대역인 것을 특징으로 하는 표면공진 원리를 이용한 가스센서
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제1항에 있어서,상기 전극은 상기 감지막의 표면 상에 상호 이격되어 배치되는 (+)전극과 (-)전극으로 구성되되, 상기 (+)전극에서 (-)전극 방향으로 분기된 분기부는 상기 (-)전극에서 (+)전극 방향으로 분기된 분기부와 지그재그로 번갈아 배치되는 것을 특징으로 하는 표면공진 원리를 이용한 가스센서
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제1항에 있어서,상기 전극과 전기적으로 연결되는 접지전극이 기판 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 표면공진 원리를 이용한 가스센서
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제1항에 있어서,상기 전극의 전기장 크기를 조절하여 상기 감지막의 유전율을 조절하는 것을 특징으로 하는 표면공진 원리를 이용한 가스센서
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제1항에 있어서,상기 전극의 상부를 덮는 산화방지용 캡을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면공진 원리를 이용한 가스센서
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제1항에 있어서,상기 감지막은 상기 전극의 적어도 두개의 면을 감싸도록 형성되는 것을 특징으로 하는 표면공진 원리를 이용한 가스센서
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