| 1 |
1
도전성의 반사층;상기 반사층 상에 배치되고, 적어도 하나의 제1 개구부를 포함하는 도전패턴;상기 반사층 상에 배치되고, 상기 제1 개구부와 수직적으로 중첩되는 나노안테나; 및상기 반사층과 상기 도전패턴 및 상기 반사층과 상기 나노안테나 사이에 개재되는 절연패턴을 포함하되,상기 반사층, 상기 도전패턴 및 상기 나노안테나는 서로 전기적으로 절연되는 광 흡수체
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 나노안테나는 상기 제1 개구부와 대응되는 형상을 갖는 광 흡수체
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 나노안테나의 폭은 상기 제1 개구부의 폭과 실질적으로 동일한 광 흡수체
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 제1 개구부는 1 내지 300nm의 폭을 갖고,상기 도전패턴은 상기 도전패턴을 향하여 입사한 광을 파장에 따라 선택적으로 투과시키도록 구성되는 광 흡수체
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 제1 개구부는 제1 방향의 제1 폭 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향의 제2 폭을 갖고,상기 제1 폭 및 상기 제2 폭은 1 내지 300nm 이고,상기 제1 폭은 상기 제2 폭과 다른 광 흡수체
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 제1 개구부는 제1 방향으로 상기 도전패턴을 가로지르고,상기 제1 개구부의 상기 제1 방향과 수직한 수직한 제2 방향의 폭은 1 내지 300nm인 광 흡수체
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 반사층과 상기 나노안테나 사이의 거리는 상기 반사층과 상기 도전패턴 사이의 거리보다 큰 광 흡수체
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 절연패턴은:상기 반사층 및 상기 도전패턴 사이에 배치되는 하부 절연패턴; 및상기 개구부를 관통하며, 상기 하부 절연패턴으로부터 돌출되는 상부 절연패턴을 포함하는 광 흡수체
|
| 9 |
9
제 8 항에 있어서,상기 나노안테나는 상기 상부 절연패턴의 상면 상에 배치되고,상기 나노안테나의 측면들은 상기 상부 절연패턴의 측면들에 정렬되는 광 흡수체
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서,상기 나노안테나는 상기 도전패턴과 실질적으로 동일한 두께를 갖는 광 흡수체
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서,상기 반사층과 상기 나노안테나 사이의 거리는 상기 반사층과 상기 도전패턴 사이의 거리보다 작은 광 흡수체
|
| 12 |
12
제 1 항에 있어서,상기 절연패턴은 상기 개구부의 아래에 형성된 제1 함몰부를 포함하고,상기 나노안테나는 상기 제1 함몰부의 바닥면 상에 배치되는 광 흡수체
|
| 13 |
13
제 1 항에 있어서,상기 나노안테나는:제2 개구부를 갖는 제1 안테나부; 및상기 제1 안테나부와 이격되며, 상기 제2 개구부와 수직적으로 중첩되는 제2 안테나부를 포함하는 광 흡수체
|
| 14 |
14
제 13 항에 있어서,상기 제1 안테나부는 링 형상을 갖는 광 흡수체
|
| 15 |
15
제 14 항에 있어서,상기 제2 안테나부는 상기 제2 개구부에 대응되는 형상을 갖는 광 흡수체
|
