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내부에 플라즈마가 발생하는 챔버;챔버의 상부와 연결되는 가스 주입부;챔버의 내부에 설치되고, 2개의 내구성 부품이 수직구조로 마주보게 장착되도록 구성된 부품 장착부;부품 장착부의 하부에 설치되고, 내구성 부품에서 발생한 오염입자를 집속하는 입자 집속부;입자 집속부의 하부에 설치되고, 오염입자를 검출하는 입자 측정장치;부품 장착부와 입자 집속부 사이에 설치되고, 오염입자를 포집하는 입자 포집장치; 및가스 주입부와 연결되고, 표준입자를 챔버에 인가하는 표준입자 인가장치를 포함하며,표준입자 인가장치는표준입자가 분산매에 분산된 분산용액을 수용하는 표준입자 주입부;표준입자 주입부에 설치되고, 표준입자 분산용액이 챔버 쪽으로 흐르도록 표준입자 주입부에 가스를 주입하는 제2가스 주입부;표준입자 주입부에서 나온 분산용액 중 분산매를 일차적으로 제거하는 트랩 용기부; 및트랩 용기부에서 나온 분산용액 중 분산매를 이차적으로 제거하는 트랩 터널부를 포함하는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제1항에 있어서,부품 장착부의 뒷면에 설치되고, 자기장을 형성하는 자기장 발생부를 추가로 포함하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제2항에 있어서,자기장 발생부는 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제1항에 있어서,내구성 부품과 연결되는 파워 전달부; 파워 전달부와 연결되어 내구성 부품에 고주파 전압을 인가하는 정합 네트워크 및 파워 공급부를 추가로 포함하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제4항에 있어서,내구성 부품은 전극 역할을 하여 챔버 내부에 플라즈마를 발생시키고, 파워 공급부와 정합 네크워크는 서로 다른 주파수를 사용하는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제1항에 있어서,입자 집속부는 부품 장착부와 인접하게 배치되고, 아래쪽으로 갈수록 직경이나 폭이 점점 작아지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제1항에 있어서,입자 측정장치는 레이저 발생부 및 레이저 감지부를 포함하고, 레이저를 이용한 입자 산란방식으로 입자의 크기와 발생량을 측정하는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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8
제1항에 있어서,입자 포집장치는 오염입자를 포집하는 포집기판 및 포집기판과 연결되어 포집기판의 위치를 조절하는 위치 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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9
제8항에 있어서,포집기판은 투과전자현미경용 그리드 또는 웨이퍼 기판인 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제1항에 있어서,표준입자는 0
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삭제
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제1항에 있어서,트랩 터널부에는 흡착제가 충전되고, 흡착제 사이에 다수의 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제12항에 있어서,분산매는 물 또는 에탄올이고, 흡착제는 실리카계 흡착제 또는 활성탄인 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가장비
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제1항의 평가장비를 이용한 내구성 부품의 오염입자 평가방법
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제14항에 있어서,동일 조건에서 표준입자와 오염입자의 크기와 발생량을 측정 및 비교한 후, 장비 및 공정조건 중 적어도 하나를 교정하는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가방법
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제15항에 있어서,장비 교정은 입자 측정장치의 레이저 광량 조절 및 스캔속도 조절 중 적어도 하나를 포함하고,공정조건 교정은 공정 압력 조절 및 가스 유량 조절 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 내구성 부품의 오염입자 평가방법
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