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유입되는 미세입자를 하전시키는 하전유닛; 상기 하전된 미세입자를 공기 역학적으로 다단계 분류하여 다단계로 포집하는 분류유닛; 및분류되어 포집된 상기 미세입자의 입경 크기 분포를 측정하는 측정유닛; 을 포함하며,상기 분류유닛은 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질로 몰딩되어 형성되고, 상기 측정유닛은 유리기판(Grass wafer)에 도전성 재질로 패터닝되어 형성되며, 상기 분류유닛과 측정유닛은 상호 플라즈마 본딩(Plasma bonding)되어 결합되고,상기 측정유닛은 하기 수학식에 의해 상기 미세입자의 농도를 계산하고, 무선 송수신 모듈을 구비하여 상기 미세입자의 크기별 농도값을 외부 기기로 전송하는 미세입자 측정시스템
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제1항에 있어서, 상기 하전유닛은 코로나 방전(Corona discharge)을 형성시켜 상기 미세입자의 표면에 양(+)전하를 하전시키는 미세입자 측정시스템
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제1항에 있어서, 상기 미세입자가 상기 분류유닛에 의해 분류와 동시에 상기 측정유닛에 의해 측정되도록 상기 분류유닛과 측정유닛은 일체로 마련되는 미세입자 측정시스템
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제1항에 있어서, 상기 분류유닛은, 하전된 상기 미세입자가 유입 및 배출되되, 입자 크기별로 다단계로 분류하도록 복수의 임팩터(impactor)가 직렬로 연결되는 다단 임팩터부; 및상기 복수의 임팩터에 각각 설치되는 복수의 포집판을 포함하여, 분류된 상기 미세입자를 포집하는 포집부;를 포함하는 미세입자 측정시스템
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제5항에 있어서, 상기 다단 임팩터부는 제1 내지 제4임팩터를 포함하고,상기 포집부는 전도성 필터를 포함하여 상기 제1 내지 제4임팩터에 각각 마련되는 제1 내지 제4포집판을 포함하며, 상기 제1 내지 제4임팩터는 순차적으로 1
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제5항에 있어서, 상기 측정유닛은 상기 포집부로 포집된 상기 미세입자로 유도전류를 발생시켜 측정된 유도전류 값으로 포집된 상기 미세입자의 농도를 측정하는 미세입자 측정시스템
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제1항 내지 제3항, 및 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하전유닛, 분류유닛 및 측정유닛은 멤스(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems) 공정으로 일괄 제조되는 미세입자 분석 칩(chip)에 마련되는 미세입자 측정시스템
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제1항에 있어서, 실내 화재경보시스템, 분산형 실내 공간 환경 모니터링 시스템 및 산업시설에 설치되어, 주변 환경의 상기 미세입자 발생을 감지하는 미세입자 측정시스템
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유입되는 미세입자를 하전시키는 하전유닛; 상기 하전된 미세입자를 공기 역학적으로 다단계 분류하여 다단계로 포집하는 분류유닛; 및상기 분류유닛과 일체로 마련되어, 분류되어 포집된 분류되어 포집된 상기 미세입자의 입경 크기 분포를 측정하는 측정유닛; 을 포함하며,상기 분류유닛은 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질로 몰딩되어 형성되고, 상기 측정유닛은 유리기판(Grass wafer)에 도전성 재질로 패터닝되어 형성되며, 상기 분류유닛과 측정유닛은 상호 플라즈마 본딩(Plasma bonding)되어 결합되고,상기 측정유닛은 하기 수학식에 의해 상기 미세입자의 농도를 계산하고, 무선 송수신 모듈을 구비하여 상기 미세입자의 크기별 농도값을 외부 기기로 전송하는 미세입자 측정시스템
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제11항에 있어서, 상기 하전유닛, 분류유닛 및 측정유닛은 멤스(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems) 공정으로 일괄 제조되는 미세입자 측정시스템
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제11항에 있어서, 상기 하전유닛은 코로나 방전(Corona discharge)을 형성시켜 상기 미세입자의 표면에 양(+)전하를 하전시키는 미세입자 측정시스템
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제11항에 있어서, 상기 분류유닛은, 하전된 상기 미세입자가 유입 및 배출되되, 입자 크기별로 다단계로 분류하도록 복수의 임팩터(impactor)가 직렬로 연결되는 다단 임팩터부; 및상기 복수의 임팩터에 각각 설치되는 복수의 포집판을 포함하여, 분류된 상기 미세입자를 포집하는 포집부; 를 포함하여, 2
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제15항에 있어서, 상기 측정유닛은 상기 포집부로 포집된 상기 미세입자로 유도전류를 발생시켜 측정된 유도전류 값으로 포집된 상기 미세입자의 농도를 측정하는 미세입자 측정시스템
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제11항에 있어서, 실내 화재경보시스템, 분산형 실내 공간 환경 모니터링 시스템 및 산업시설에 설치되어, 주변 환경의 상기 미세입자 발생을 감지하는 미세입자 측정시스템
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