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반응기;상기 반응기 내로 원료 물질을 공급하는 원료물질 공급부;상기 반응기 내로 반응 용매를 공급하는 반응용매 공급부;상기 반응기 및 상기 반응용매 공급부로 비활성 가스를 공급하는 비활성 가스 공급부; 상기 반응기로부터 생성되는 생성물이 유출되어 저장되는 생성물 저장부; 및상기 반응기 및 상기 생성물 저장부와 연결되어 압력을 제어하는 압력 제어부;를 포함하는 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제1항에 있어서,원료물질 공급부는,밀폐된 하우징;상기 하우징 내에 수용되며, 원료물질을 저장하는 1개 또는 복수개의 원료물질 저장부; 및상기 원료물질 저장부와 상기 반응기를 연결하며, 상기 원료물질을 상기 반응기로 공급하는 원료물질 공급라인; 을 포함하는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제1항에 있어서,반응용매 공급부는,반응용매를 수용하는 반응용매 저장부; 및 상기 반응용매를 상기 반응기로 공급하는 반응용매 공급라인;으로 구성되는 것인알루미늄 전구체 합성 시스템
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제3항에 있어서,상기 반응용매 공급라인은 상기 반응용매 저장부 내에서 말단이 반응 용매 내에 침지된 상태로 연결되는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제1항에 있어서,상기 비활성 가스 공급부는,비활성 가스 저장부;상기 비활성 가스 저장부와 상기 반응용매 저장부를 연결하여 상기 비활성 가스를 상기 반응용매 저장부로 공급하는 제 1 비활성 가스 공급라인; 상기 비활성 가스 저장부와 상기 반응기를 연결하여 상기 비활성 가스를 상기 반응기로 공급하는 제 2 비활성 가스 공급라인; 및상기 비활성 가스 저장부와 상기 원료물질 공급부를 연결하여 상기 비활성가스를 상기 원료물질 공급부로 공급하는 제 3 비활성가스 공급라인으로 구성되는 것인알루미늄 전구체 합성 시스템
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제5항에 있어서,상기 제 1 비활성 가스 공급라인 말단은 반응 용매에 비접촉 상태로 연결되고, 상기 제 2 비활성 가스 공급라인 말단은 반응기 내에 반응물에 비접촉 상태로 연결되고,상기 제 3 비활성 가스 공급라인 말단은 원료물질 공급부 내에 원료물질에 비접촉 상태로 연결되는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제1항에 있어서,생성물 저장부는반응기로부터 유출되는 생성물을 수용하는 생성물 저장 챔버;상기 생성물 저장 챔버와 상기 반응기 사이를 연결하는 제 1 생성물 배출 라인; 으로 구성되는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제7항에 있어서,상기 제 1 생성물 배출 라인은 상기 반응기 하부와 연결되거나, 반응기 상부로부터 인출되어 말단이 상기 반응기 내부의 생성물에 침전되는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제1항에 있어서,압력 제어부는,압력 조절 및 반응 시스템의 외부환경으로의 노출을 방지하기 위한 매체를 수용하는 압력 조절 챔버; 진공 펌프; 상기 압력 조절 챔버와 상기 진공 펌프를 연결시키는 제 1 압력 조절 라인;상기 생성물 저장 챔버와 상기 압력 제어부 사이를 연결하여 상기 생성물 저장 챔버 내의 압력을 조절하는 제 2 압력 조절 라인; 및 상기 반응기와 상기 압력 제어부 사이를 연결하여 상기 반응기 내의 압력을 조절하는 제 3 압력 조절 라인; 을 포함하는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제9항에 있어서,상기 제 2 압력 조절 라인의 일 말단은 상기 압력 조절을 위한 매체 내에 침지된 상태로 연결되고, 상기 제 3 압력 조절 라인의 일 말단은 상기 압력 조절을 위한 매체 내에 침지된 상태로 연결되는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제10항에 있어서,상기 압력 조절을 위한 매체는 실리콘 오일인 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제10항에 있어서, 상기 제 2 압력 조절 라인 및 제 3 압력 조절 라인은 3 방향밸브로 연결되는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제1항에 있어서,상기 반응기는,가열부;상기 반응기 내부 압력을 측정하기 위한 압력 측정부; 및상기 반응물의 pH를 측정하기 위한 pH 측정부; 를 포함하는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제1항에 있어서,상기 반응기와 상기 생성물 저장부 사이에 상기 반응기로부터 생성되는 생성물을 필터링하는 필터부를 더 포함하는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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제14항에 있어서,상기 반응기와 상기 필터부를 연결하는 제 2 생성물 배출 라인; 및 상기 필터부와 상기 생성물 저장부를 연결하는 제 3 생성물 배출 라인;을 더 포함하는 것인 알루미늄 전구체 합성 시스템
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비활성 가스를 반응기 내로 주입하는 단계;반응용매를 반응기로 주입하는 단계;원료물질을 반응기로 주입하는 단계;반응기 내로 주입된 반응용매 및 원료물질을 교반하고, 반응온도를 제어하여 생성물을 생성하는 단계; 및 상기 생성물을 생성물 저장부로 이송시키는 단계; 를 포함하는 제1항에 의한 알루미늄 전구체 합성 시스템을 이용한 알루미늄 전구체 제조방법
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제16항에 있어서,상기 비활성 가스를 반응기 내로 주입하는 단계에서는,상기 압력제어부 및 제 3 압력 조절 라인에 의해 반응기 내부의 감압을 유도하여 상기 제 2 비활성 가스 공급라인으로 비활성 가스를 반응기 내로 주입하고, 상기 반응기 내로 주입된 비활성 가스가 생성물 저장부 및 압력 제어부로 이동하도록 하는 것인 알루미늄 전구체 제조방법
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제16항에 있어서,상기 비활성 가스를 반응기 내로 주입하는 단계에서는,상기 반응기와 생성물 저장조를 연결하는 제 1 생성물 배출라인 및 생성물 저장조와 압력조절챔버를 연결하는 제 2 압력조절라인의 밸브를 열고, 상기 압력조절챔버와 진공펌프를 연결하는 제 1 압력조절라인의 말단을 외부환경에 노출시켜 반응기 내부의 감압을 유도하여,상기 비활성 가스를 반응기에 공급하여 비활성 가스가 반응기, 생성물 저장부 및 압력제어부로 이동하도록 하는 것인 알루미늄 전구체 제조방법
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제16항에 있어서,상기 반응용매를 반응기 내로 주입하는 단계에서는,상기 제 1 비활성 가스 공급 라인을 통하여 비활성 가스를 반응 용매 저장부로 주입하고, 상기 주입된 비활성 가스의 공기압에 의해 상기 반응 용매가 상기 반응기로 주입되는 것인 알루미늄 전구체 제조방법
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제19항에 있어서,상기 반응용매를 반응기 내로 주입하는 단계에서는,상기 압력제어부 및 제 3 압력 조절 라인에 의해 반응기 내부의 감압을 유도하는 것인 알루미늄 전구체 제조방법
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제16항에 있어서,상기 원료물질을 반응기로 주입하는 단계에서는,상기 압력제어부 및 제 3 압력 조절 라인에 의해 반응기 내부의 감압을 유도하여 상기 원료물질을 반응기로 주입하는 것인 알루미늄 전구체 제조방법
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제16항에 있어서,상기 원료물질을 반응기로 주입하는 단계에서는,상기 반응기와 압력조절챔버를 연결하는 제 3 압력조절라인의 밸브를 열어 압력조절챔버에 연결되어 있는 제 1 압력조절라인 말단을 외부환경에 노출시켜 반응기 내부의 감압을 유도하여,상기 제 3 비활성 가스공급라인을 통해 원료물질 공급부에 비활성 가스를 공급하여 상기 원료물질을 반응기로 주입하는 것인알루미늄 전구체 제조방법
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제16항에 있어서,상기 생성물을 생성물 저장부로 이송시키는 단계에서는,상기 압력제어부 및 제 2 압력 조절 라인에 의해 반응기 및 생성물 저장부 내부의 감압을 유도하여 상기 생성물을 생성물 저장부로 이송하는 것인 알루미늄 전구체 제조방법
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