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박막 결정화 모니터링을 위한 In-situ 테라헤르츠파 분광기

  • 기술번호 : KST2018015323
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 결정화 모니터링 대상인 박막 샘플이 위치하는 박막 샘플부; 상기 박막 샘플의 결정화를 위한 결정화처리부; 상기 박막 샘플에 입사되는 테라헤르츠파를 발생시키는 테라헤르츠파 발생부; 및 상기 박막 샘플을 투과한 테르헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부;를 포함하는 In-situ 테라헤르츠파 분광기에 관한 것으로, 결정화 시 테라헤르츠파 주파수 대역에서 흡수 피크를 갖는 물질에 대하여 결정화 온도, 결정도, 특정 온도에서 결정화가 시작되기까지의 시간 등 결정화 모니터링이 가능한 In-situ 테라헤르츠파 분광기를 제공할 수 있다.
Int. CL G01J 3/42 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC G01J 3/42(2013.01) G01J 3/42(2013.01)
출원번호/일자 1020170060006 (2017.05.15)
출원인 아주대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0125290 (2018.11.23) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.15)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안영환 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 박세준 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 태웅 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, *동***호(양재동,양재역환승주차장)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0459355-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0056805-22
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0284460-32
5 [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서
2018.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0622580-06
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0622553-73
7 [출원서 등 보정(보완)]보정서
2018.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0622579-59
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0622554-18
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.06.25 무효 (Invalidation) 1-1-2018-0622951-31
10 보정요구서
Request for Amendment
2018.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0103724-93
11 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2018.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0126131-12
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0795977-76
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0069117-42
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0069116-07
15 등록결정서
Decision to grant
2019.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0368810-02
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
결정화 모니터링 대상인 박막 샘플이 위치하는 박막 샘플부; 상기 박막 샘플의 결정화를 위한 결정화처리부; 상기 박막 샘플에 입사되는 테라헤르츠파를 발생시키는 테라헤르츠파 발생부; 및 상기 박막 샘플을 투과한 테르헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부(40);를 포함하여 상기 박막 샘플의 결정화를 실시간으로 모니터링 하는 In-situ 테라헤르츠파 분광기를 이용한 박막의 결정화 분석방법으로서,상기 In-situ 테라헤르츠파 분광기를 이용하여 얻어지는 모니터링 데이터를 이용하여 상기 박막 샘플의 시간(t)에 따른 결정화된 부피 부분(f)을 도출하여,ln(-ln(1-f)) 대 ln(t) 선도를 얻고,상기 ln(-ln(1-f)) 대 ln(t) 선도를 이용하여 결정화 과정을 분석하는 박막의 결정화 분석방법
2 2
제1항에 있어서,상기 결정화처리부는 열처리 장치를 포함하여 상기 박막 샘플을 열처리하며,상기 박막 샘플의 열처리에 따른 결정화를 모니터링 하는 것을 특징으로 하는 박막의 결정화 분석방법
3 3
제2항에 있어서,상기 결정화처리부는 UV 레이저 장치를 더 포함하여 상기 열처리된 박막 샘플을 UV 레이저 처리하며, 상기 열처리된 박막 샘플의 UV 레이저 처리에 따른 결정화를 모니터링 하는 것을 특징으로 하는 박막의 결정화 분석방법
4 4
제1항에 있어서,상기 테라헤르츠파 발생부는 레이저빔 생성기, 빔분리기 및 제1 광전도 안테나를 포함하여,상기 레이저빔 생성기에서 펨토초(femto second) 펄스 레이저를 생성하여 상기 빔분리기에 입사시키고 상기 빔분리기에서 분리된 펌프 펄스를 상기 제1 광전도 안테나로 입사시키면 펄스 광전류가 흐르면서 테라헤르츠파를 발생시키는 것을 특징으로 하는 박막의 결정화 분석방법
5 5
제4항에 있어서,상기 테라헤르츠파 발생부는 고속 스캔이 가능한 광지연기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막의 결정화 분석방법
6 6
제4항에 있어서,상기 테라헤르츠파 검출부(40)는 상기 박막 샘플부를 통과한 테라헤르츠파와 상기 빔분리기에서 분리된 프로브 펄스가 입사되는 제2 광전도 안테나를 포함하여,상기 박막 샘플부를 통과한 테라헤르츠파와 상기 프로브 펄스 사이의 위상차에서 테라헤르츠파의 전계 강도를 나타내는 데이터를 얻고, 상기 데이터로부터 고속 푸리에 변환(Fast Fourier Transform, FFT)을 수행하여 시간별 THz 분광 데이터를 획득하도록 하는 것을 특징으로 하는 박막의 결정화 분석방법
7 7
제1항에 있어서,상기 In-situ 테라헤르츠파 분광기는 페로브스카이트(Perovskite) 구조를 갖는 박막 샘플의 결정화 모니터링에 사용되는 것을 특징으로 하는 박막의 결정화 분석방법
8 8
제1항에 있어서,상기 In-situ 테라헤르츠파 분광기는 결정화처리에 따른 박막 샘플의 흡수율 스펙트럼의 변화를 시간에 따른 함수로 나타내는 데이터를 제공하는 것을 특징으로 하는 박막의 결정화 분석방법
9 9
삭제
10 10
제1항에 있어서, 상기 ln(-ln(1-f)) 대 ln(t) 선도를 통해 하기 식 1에 따른 아브라미 지수를 추출하여 결정화 과정을 분석하는데 이용하는 박막의 결정화 분석방법
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패밀리정보가 없습니다
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