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복수의 산화 금속을 각각 포함하는 복수의 산화 금속 유기화합물을 무극성의 제1 유기용매에 각각 용해시킨 복수의 예비 전구체 용액을 준비하는 과정;각각의 상기 예비 전구체 용액을 미리 설정된 비율로 혼합하여 혼합용액을 제조하는 과정; 상기 혼합용액을 상기 제1 유기용매와 상이한 극성의 제2 유기용매로 희석하여 전구체 용액을 제조하는 과정;기판 상에 상기 전구체 용액을 이용하여 액상 공정으로 전구체층을 형성하는 과정; 및상기 전구체층을 산화 분위기에서 후속 열처리하여 산화물층으로 변화하는 과정을 포함하고,상기 제2 유기용매는 산소원자를 포함하며,상기 후속 열처리는 300 내지 400℃의 온도 범위에서 수행되고,상기 산화물층은 입방정 스피넬(Cubic spinel) 결정 구조로 이루어지며, 하기 화학식 1의 화합물 조성을 갖는 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제1 유기용매는 방향족 탄화수소계 유기용매인 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제2 유기용매는 아세트산 에스테르계 유기용매인 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제2 유기용매에 대한 상기 복수의 산화 금속 전체의 몰농도는 0
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청구항 1에 있어서,상기 전구체층은 금속 유기 분해법으로 형성되는 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화 금속은 산화 니켈, 산화 망간, 산화 구리 및 산화 크롬을 포함하는 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 전구체층을 형성하는 과정 이전에,상기 기판 상에 상기 산화 금속 유기화합물의 금속 중 적어도 어느 하나의 금속을 포함하는 금속층을 형성하는 과정을 더 포함하는 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 8에 있어서,상기 금속층은 물리적 기상 증착법으로 형성되는 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 8에 있어서,상기 금속층을 형성한 뒤 상기 전구체층을 형성하는 과정 이전에, 상기 금속층을 상기 후속 열처리보다 낮은 온도에서 예비 열처리하여 산화물 시드층으로 변화하는 과정을 더 포함하는 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 1 내지 청구항 5, 및 청구항 7 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 산화물 저항 박막은 상온에서의 비저항이 2Ω·cm 미만인 산화물 저항 박막 제조방법
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신호처리 회로가 형성된 기판을 제공하는 과정;상기 기판 상부면에 이격 형성되어, 상기 신호처리 회로의 전기신호를 전달하는 복수의 금속패드를 형성하는 과정;상기 기판 상에 유기물 희생층을 형성하는 과정;상기 유기물 희생층 상에 제1항 내지 제5항, 및 제7항 내지 제10항 중의 어느 한 항의 제조방법으로 산화물 저항 박막을 형성하는 과정; 및상기 유기물 희생층 및 상기 산화물 저항 박막을 패턴화하는 과정을 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 13에 있어서,일측이 상기 금속패드와 연결되고 타측이 상기 산화물 저항 박막과 연결되는 지지부재를 형성하는 과정을 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 13에 있어서,상기 유기물 희생층을 제거하는 과정을 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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