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고온에서 높은 비저항을 갖는 질화알루미늄 소결체 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2018015408
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, AlN 분말, 소결조제 및 우레아(Urea)를 혼합하는 단계 및 혼합된 결과물을 가압소결하는 단계를 포함하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법 및 이에 의해 제조된 질화알루미늄 소결체에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, AlN에 함유된 불순물인 Al2O3를 감소시킬 수가 있고, 고온에서 캐리어(carrier)로 작용하는 Al 공공(vacancy)의 감소를 유도하여 고온에서 높은 비저항을 가지며, 밀도가 높으면서 고온에서 높은 체적저항을 갖는 질화알루미늄 소결체를 제조할 수 있다.
Int. CL C04B 35/581 (2006.01.01) C04B 35/645 (2006.01.01) C04B 35/632 (2006.01.01)
CPC C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01)
출원번호/일자 1020170060758 (2017.05.17)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0126142 (2018.11.27) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.17)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종영 대한민국 서울특별시 송파구
2 이은실 대한민국 경기도 군포시 용호*로 **번길 **, *
3 이성민 대한민국 서울특별시 강동구
4 조우석 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0466673-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2018.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0072747-47
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0033938-41
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0489173-30
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0934655-16
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1030782-71
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1146583-23
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1279040-39
10 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2018.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0200541-32
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0057298-61
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0057302-67
13 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2019.05.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0315363-63
14 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0669141-45
15 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0789569-53
16 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-0899187-17
17 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-1001883-49
18 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2019.10.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0158591-18
19 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-1103047-66
20 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.10.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-1103039-01
21 등록결정서
Decision to grant
2020.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0095500-41
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) AlN 분말, 소결조제, SrCO3, HfO2 및 우레아(Urea)를 혼합하는 단계; 및(b) 혼합된 결과물을 가압소결하는 단계를 포함하며,상기 가압소결은,상기 우레아(Urea)를 열분해시키기 위하여 1350∼1550℃의 제1 온도까지 승온하는 단계;상기 제1 온도에서 유지하는 단계; 상기 제1 온도보다 높은 1650∼1900℃의 제2 온도까지 승온하는 단계; 상기 제2 온도에서 유지하면서 가압하여 소결하는 단계;상기 제2 온도보다 낮은 1350∼1550℃의 제3 온도로 냉각하는 단계; 및상기 제3 온도에서 유지하는 단계를 포함하고,상기 소결조제는 상기 AlN 분말 100중량부에 대하여 0
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서, 상기 가압소결은 1650∼1900℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 가압소결은 10∼30 MPa의 압력을 인가하면서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 가압소결은 비활성 가스 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
제1항에 기재된 방법으로 제조된 소결체로서, 400℃의 온도에서 108 Ω·㎝ 보다 높은 비저항을 갖는 질화알루미늄 소결체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)미코 산업기술혁신사업(전략적핵심소재기술개발사업) 3D-1xnm급 반도체공정용 내플라즈마성 10^16, 10^10, 10^3 ohmcm급 세라믹복합소재 및 온도제어 기능성부품개발