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미세 유체 소자를 포함하는 카트리지;상기 카트리지 내의 온도를 조절하는 온도 조절 모듈; 및상기 카트리지의 일측에 건조가스를 공급하는 건조가스 공급 모듈; 을 포함하며,상기 온도 조절 모듈은, 적어도 일부분이 상기 카트리지에 접촉하는 열전도성 부재와, 상기 열전도성 부재의 온도를 조절하는 온도 조절 유닛을 포함하며,상기 건조가스 공급 모듈은 상기 건조가스가 이동할 수 있는 관형부재를 포함하며,상기 온도 조절 유닛은, 상기 열전도성 부재의 일단부가 연결되는 냉각 장치를 포함하며,상기 관형부재는, 상기 카트리지 또는 상기 냉각 장치가 접촉되는 상기 열전도성 부재의 제1영역을 제외한 상기 열전도성 부재의 제2영역의 적어도 일부분에 접촉되며, 그 내부에 공기가 공급되는, 미세 유체 온도 조절 시스템
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제1항에 있어서,상기 냉각 장치는, 칠러(chiller) 냉각기, 열전소자, 볼텍스 튜브 중 적어도 하나를 포함하는, 미세 유체 온도 조절 시스템
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제1항에 있어서,상기 건조가스 공급 모듈은, 건조가스의 공급 정도를 조절하는 건조가스 제어부를 포함하는, 미세 유체 온도 조절 시스템
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제1항에 있어서,적어도 일부분이 개구되어 있으며 상기 카트리지를 수용할 수 있는 카트리지 수용부와, 상기 카트리지를 관측할 수 있도록 상기 카트리지 수용부의 개구되어 있는 부분에 안착되는 광학 윈도우를 포함하는 챔버 유닛을 더 포함하는, 미세 유체 온도 조절 시스템
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제1항에 있어서,상기 온도 조절 모듈은 상기 카트리지 내의 서로 다른 적어도 2개의 영역을 서로 다른 온도로 조절 가능한, 미세 유체 온도 조절 시스템
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