1 |
1
펨토초 레이저 빔을 발생시키는 펨토초 레이저;상기 펨토초 레이저 빔을 측정 대상으로 조사하기 위한 3개 이상의 복수의 광 섬유들로 구성된 빔 전송부;상기 복수의 광 섬유들과 연결되되, 상기 펨토초 레이저 빔을 상기 복수의 광 섬유들 중 하나로 전송하기 위한 스위칭 소자; 및상기 펨토초 레이저와 상기 스위칭 소자 사이에 광 섬유로 연결되되, 상기 펨토초 레이저 빔을 상기 스위칭 소자로 전송하고, 그리고 반사되어 오는 신호를 전달받는 합성파 간섭계를 포함하되,상기 합성파 간섭계는:2 × 2 광 커플러; 및상기 2 × 2 광 커플러에 광 섬유로 연결된 제 1 및 제 2 포토다이오드들을 포함하는 거리 측정 시스템
|
2 |
2
제 1항에 있어서,상기 측정 대상은 표면에 부착된 제 3 포토다이오드를 갖는 거리 측정 시스템
|
3 |
3
제 2항에 있어서,상기 스위칭 소자에 대향하는 상기 복수의 광 섬유들 각각의 말단은 상기 펨토초 레이저 빔의 일부를 반사하는 반사막을 갖는 거리 측정 시스템
|
4 |
4
펨토초 레이저 빔을 발생시키는 펨토초 레이저;상기 펨토초 레이저 빔을 측정 대상으로 조사하기 위한 3개 이상의 복수의 광 섬유들로 구성된 빔 전송부;상기 복수의 광 섬유들과 연결되되, 상기 펨토초 레이저 빔을 상기 복수의 광 섬유들 중 하나로 전송하기 위한 스위칭 소자; 및상기 펨토초 레이저와 상기 스위칭 소자 사이에 광 섬유로 연결되되, 상기 펨토초 레이저 빔을 상기 스위칭 소자로 전송하고, 그리고 반사되어 오는 신호를 전달받는 합성파 간섭계를 포함하되,상기 합성파 간섭계는:2 × 1 광 커플러 또는 서큘레이터; 및상기 2 × 1 광 커플러 또는 상기 서큘레이터에 광 섬유로 연결된 광 커플러에 연결된 제 1 및 제 2 포토다이오드들을 포함하는 거리 측정 시스템
|
5 |
5
제 4항에 있어서,상기 측정 대상은 표면에 부착된 역반사체를 갖는 거리 측정 시스템
|
6 |
6
제 5항에 있어서,상기 스위칭 소자에 대향하는 상기 복수의 광 섬유들 각각의 말단은 상기 펨토초 레이저 빔의 스펙트럼의 일부 영역을 반사하는 필터를 갖는 거리 측정 시스템
|
7 |
7
제 6항에 있어서,상기 제 1 포토다이오드는 상기 필터에서 반사된 상기 스펙트럼의 상기 일부 영역만을 투과시키는 필터가 적용되는 거리 측정 시스템
|
8 |
8
제 6항에 있어서,상기 제 2 포토다이오드는 상기 필터를 투과하여 상기 역반사체에서 반사되어 돌아오는 상기 펨토초 레이저 빔의 상기 스펙트럼의 영역만을 투과시키는 필터가 적용되는 거리 측정 시스템
|
9 |
9
제 1항 또는 제 4항에 있어서,상기 빔 전송부의 상기 복수의 광 섬유들은 n × m 행렬 형태를 가지되,n은 1 이상의 자연수이고, 그리고 m은 3 이상의 자연수인 거리 측정 시스템
|
10 |
10
제 1항의 거리 측정 시스템을 이용한 거리 측정 방법에 있어서,상기 측정 대상에 대한 거리 측정 전에 상기 복수의 광 섬유들 중 하나의 말단에 밀착되도록 상기 측정 대상을 위치시켜 상기 측정 대상에 대한 거리를 1회 측정하여 상기 2 × 2 광 커플러에 연결된 상기 제 1 및 제 2 포토다이오드들에 대한 거리들 각각의 초깃값을 측정하는 초깃값 측정 단계; 및상기 초깃값 측정 단계에서 측정된 상기 초깃값을 적용하여 상기 복수의 광 섬유들 모두를 이용하여 상기 측정 대상에 대한 거리를 각각 측정하는 거리 측정 단계;를 포함하는 거리 측정 방법
|
11 |
11
제 10항에 있어서,상기 측정 대상은 표면에 부착된 제 3 포토다이오드를 갖는 거리 측정 방법
|
12 |
12
제 11항에 있어서,상기 스위칭 소자에 대향하는 상기 복수의 광 섬유들 각각의 말단은 상기 펨토초 레이저 빔의 일부를 반사하는 반사막을 갖는 거리 측정 방법
|
13 |
13
제 4항의 거리 측정 시스템을 이용한 거리 측정 방법에 있어서,상기 측정 대상에 대한 거리 측정 전에 상기 복수의 광 섬유들 중 하나의 말단에 밀착되도록 상기 측정 대상을 위치시켜 상기 측정 대상에 대한 거리를 1회 측정하여 상기 2 × 1 광 커플러 또는 상기 서큘레이터에 연결된 상기 제 1 및 제 2 포토다이오드들에 대한 거리들 각각의 초깃값을 측정하는 초깃값 측정 단계; 및상기 초깃값 측정 단계에서 측정된 상기 초깃값을 적용하여 상기 복수의 광 섬유들 모두를 이용하여 상기 측정 대상에 대한 거리를 각각 측정하는 거리 측정 단계;를 포함하는 거리 측정 방법
|
14 |
14
제 13항에 있어서,상기 측정 대상은 표면에 부착된 역반사체를 갖는 거리 측정 방법
|
15 |
15
제 14항에 있어서,상기 스위칭 소자에 대향하는 상기 복수의 광 섬유들 각각의 말단은 상기 펨토초 레이저 빔의 스펙트럼의 일부 영역을 반사하는 필터를 갖는 거리 측정 방법
|
16 |
16
제 15항에 있어서,상기 제 1 포토다이오드는 상기 필터에서 반사된 상기 스펙트럼의 상기 일부 영역만을 투과시키는 필터가 적용되는 거리 측정 방법
|
17 |
17
제 15항에 있어서,상기 제 2 포토다이오드는 상기 필터를 투과하여 상기 역반사체에서 반사되어 돌아오는 상기 펨토초 레이저 빔의 상기 스펙트럼의 영역만을 투과시키는 필터가 적용되는 거리 측정 방법
|