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외부로부터 주입 또는 내부로부터 배출되는 제 1 내지 제 4 가스들을 각각 수용하기 위한 제 1 내지 제 4 상부 구획 공간들을 갖는 상부 구조물;이송 중인 기판으로 상기 제 1 내지 제 3 가스들을 공급하고, 그리고 상기 제 4 가스를 상기 상부 구조물로 공급하기 위한 복수의 하부 관통 슬릿들을 갖는 하부 구조물; 및상기 상부 구조물과 상기 하부 구조물 사이에 구비되면서 상기 제 1 내지 제 4 상부 구획 공간들에 대응하는 제 1 내지 제 4 중간 구획 공간들 및 상기 복수의 하부 관통 슬릿들로 상기 제 1 내지 제 4 가스들이 특정 순서로 통과하면서 상기 특정 순서가 반복되도록 상기 제 1 내지 제 4 중간 구획 공간들에 분산 배치되는 복수의 중간 관통 슬릿들을 갖는 중간 구조물을 포함하되,상기 복수의 하부 관통 슬릿들은 상부 폭들의 비율이 1, 0
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제 1항에 있어서,상기 상부 구조물은 제 1 면으로부터 상기 제 1 면에 대향하는 제 2 면으로 관통하여 상기 제 1 내지 제 3 가스들을 각각 상기 제 1 내지 제 3 상부 구획 공간들로 주입하고, 그리고 상기 제 4 가스를 상기 제 4 상부 구획 공간으로부터 배출하기 위한 제 1 내지 제 4 상부 관통 홀들을 갖는 원자층 증착용 헤드
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제 1항에 있어서,상기 제 1 가스는 제 1 전구체, 상기 제 2 가스는 불활성 기체, 상기 제 3 가스는 제 2 전구체, 그리고 상기 제 4 가스는 배출 기체인 원자층 증착용 헤드
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제 1항에 있어서,상기 제 1 내지 제 4 상부 구획 공간들 및 상기 제 1 내지 제 4 중간 구획 공간들은 상기 기판의 이송 방향에 수직한 수평 방향을 따라 배열되고, 그리고상기 복수의 하부 관통 슬릿들 및 상기 복수의 중간 관통 슬릿들은 상기 기판의 이송 방향을 따라 배열되는 원자층 증착용 헤드
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제 1항에 있어서,상기 복수의 중간 관통 슬릿들은 상기 제 1 내지 제 4 중간 구획 공간들 각각에 배치된 제 1 내지 제 4 중간 가스 슬릿들을 포함하되,상기 복수의 중간 관통 슬릿들은 상기 기판의 이송 방향을 따라 제 2 중간 가스 슬릿, 제 4 중간 가스 슬릿, 제 1 중간 가스 슬릿, 제 4 중간 가스 슬릿, 제 2 중간 가스 슬릿, 제 4 중간 가스 슬릿, 제 3 중간 가스 슬릿 및 제 4 중간 가스 슬릿 순서로 하나의 사이클을 이루도록 배치되는 원자층 증착용 헤드
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제 5항에 있어서,상기 복수의 중간 관통 슬릿들은 상기 기판의 이송 방향에 따라 복수 회 반복되도록 배치되는 원자층 증착용 헤드
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7
제 1항에 있어서,상기 복수의 하부 관통 슬릿들 중 상기 제 1 및 제 3 가스들을 공급하는 하부 관통 슬릿들 각각은 바닥 부분에 요면 형태로 확장된 확장부를 갖는 원자층 증착용 헤드
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8
제 1항에 있어서,상기 상부 구조물과 상기 중간 구조물 사이에 구비되되, 상기 제 1 내지 제 4 상부 구획 공간들 및 상기 제 1 내지 제 4 중간 구획 공간들에 대응하는 제 1 내지 제 4 관통 홀 패턴들을 갖는 제 1 개스킷을 포함하는 원자층 증착용 헤드
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9
제 8항에 있어서,상기 제 1 내지 제 4 상부 구획 공간들은 이중 격벽에 의해 서로 구획되고, 상기 제 1 개스킷은 상기 이중 격벽 사이에 끼워지는 형태인 원자층 증착용 헤드
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10
제 1항에 있어서,상기 하부 구조물과 상기 중간 구조물 사이에 구비되되, 상기 복수의 하부 관통 슬릿들에 대응하는 복수의 관통 슬릿 패턴들을 갖는 제 2 개스킷을 포함하는 원자층 증착용 헤드
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11
제 1항에 있어서,상기 하부 구조물과 결합하여 원자층 증착 장치의 헤드 홀더부에 연결되는 한 쌍의 클램프들을 더 포함하는 원자층 증착용 헤드
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기판을 이송하기 위한 롤투롤 방식의 이송 장치; 및상기 기판 상측에 설치되어 상기 기판에 원자층 증착을 수행하는 제 1항에 개시된 원자층 증착용 헤드를 포함하는 원자층 증착 장치
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