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마이크로파 및 네블라이저를 이용한 용액 공정 장치

  • 기술번호 : KST2018015810
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다양한 소자에 적용이 가능한 나노구조체 성장을 위한 마이크로파와 네블라이저를 적용한 용액 공정 장치에 관한 것으로서, 에너지원으로 마이크로파를 이용하는 반응 챔버; 상기 반응 챔버 내 상부에 위치하는 기판부; 상기 반응 챔버 내 상부에 위치하고, 상기 기판부에 인접하는 환기부; 상기 반응 챔버 내 하부에 위치하는 자외선 램프부; 상기 반응 챔버 외부에 위치하며 상기 기판부를 회전시키는 모터부; 및 상기 반응 챔버 외부에 위치하고 상기 반응 챔버의 하부를 통하여 반응 용액을 주입하며 네블라이저가 구비된 용액공급부를 포함한다.상기와 같은 본 발명에 따르면, 마이크로파와 네블라이저를 동시에 구비함으로써, 에너지원이 존재하면서 용액의 낭비를 줄일 수 있는 새로운 용액 공정 장치를 제공할 수 있다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/6715(2013.01) H01L 21/6715(2013.01) H01L 21/6715(2013.01)
출원번호/일자 1020170065501 (2017.05.26)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0129450 (2018.12.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.05.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류혁현 대한민국 부산광역시 연제구
2 최하영 대한민국 경상남도 김해시 금관대로 ***, *
3 홍예진 대한민국 경상남도 김해시 인제
4 김재연 대한민국 경상남도 김해시
5 김진천 대한민국 부산광역시 북구
6 이종민 대한민국 경상남도 김해시 인제로*

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인위더피플 대한민국 서울특별시 서대문구 경기대로 **, 진양빌딩 *층(충정로*가)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0505774-55
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
5 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2020-0475752-06
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2020.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-1044256-08
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
에너지원으로 마이크로파를 이용하는 반응 챔버;상기 반응 챔버 내 상부에 위치하는 기판부;상기 반응 챔버 내 상부에 위치하고, 상기 기판부에 인접하는 환기부;상기 반응 챔버 내 하부에 위치하는 자외선 램프부;상기 반응 챔버 외부에 위치하며 상기 기판부를 회전시키는 모터부; 및상기 반응 챔버 외부에 위치하고 상기 반응 챔버의 하부를 통하여 반응 용액을 주입하며 네블라이저가 구비된 용액공급부를 포함하는 용액 공정 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 반응 챔버는 마그네트론을 구비하는 것을 특징으로 하는 용액 공정 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 환기부는 환풍기와 환풍구를 구비하는 것을 특징으로 하는 용액 공정 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 자외선 램프부는 무전극 자외선 램프인 것을 특징으로 하는 용액 공정 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 용액공급부는 용액주입구와 용액분출구로 더 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 공정 장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 용액분출구는 반응 용액이 분출되는 출구의 형태가 관형, 원추형 또는 교차형인 것을 특징으로 하는 용액 공정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 인제대학교 2016년 선정 지역대학우수과학자지원사업(6년~8년) 무에너지 고안정 고효율 광전기화학 전지 시스템 연구