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상부에 스테이지가 설치된 정반;상기 스테이지에 설치된 구동부에 의해 위치이송되는 이송계;상기 정반의 하부에 수직방향(z 방향)으로 설치되며 변동되는 탄성계수(k)를 가지는 공압 스프링;상기 정반의 하부에 수직방향(z 방향)으로 설치되며 내부에 설치되는 전자석과 상기 전자석의 주변에 위치하며 수평방향 댐핑계수(cL)를 가지는 MR 유체를 포함하는 MR 댐퍼; 및상기 이송계의 구동부에 연결되는 이송 제어부 및 상기 이송 제어부에 연결되는 수평진동 제어부를 구비하는 제어부로 이루어지며,상기 이송 제어부에는 상기 이송계를 이송하기 위해 x 방향 이송을 위한 입력신호 fx(t) 및 y 방향 이송을 위한 입력신호 fy(t) 을 각각 형성하여 상기 구동부 및 수평진동 제어부로 송신하고,상기 수평진동 제어부에서는 상기 전자석에 인가되는 전류(i)를 하기 식에 의해 결정하는 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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상부에 스테이지가 설치된 정반;상기 스테이지에 설치된 구동부에 의해 위치이송되는 이송계;상기 정반의 하부에 수직방향(z 방향)으로 설치되며 변동되는 탄성계수(k)를 가지는 공압 스프링;상기 정반의 하부에 수직방향(z 방향)으로 설치되며 내부에 설치되는 전자석과 상기 전자석의 주변에 위치하며 수평방향 댐핑계수(cL)를 가지는 MR 유체를 포함하는 MR 댐퍼; 및상기 이송계의 구동부에 연결되는 이송 제어부 및 상기 이송 제어부에 연결되는 수평진동 제어부를 구비하는 제어부로 이루어지며,상기 이송 제어부에는 상기 이송계를 이송하기 위해 x 방향 이송을 위한 입력신호 fx(t) 및 y 방향 이송을 위한 입력신호 fy(t) 을 각각 형성하여 상기 구동부 및 수평진동 제어부로 송신하고,상기 수평진동 제어부에서는 상기 전자석에 인가되는 전류(i)를 하기 식에 의해 결정하는 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,상기 x 방향 입력신호 fx(t) 및 y 방향 입력신호 fy(t)에 대해 각각 비례제어(P 제어)가 적용되어 x 방향 이송을 위한 입력신호에 대한 전류값(ix) 및 y 방향 이송을 위한 입력신호에 대한 전류값(iy)이 결정되는 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,상기 x 방향 입력신호 fx(t) 및 y 방향 입력신호 fy(t)에 대해 각각 비례미분제어(PI 제어)가 적용되어 x 방향 이송을 위한 입력신호에 대한 전류값(ix) 및 y 방향 이송을 위한 입력신호에 대한 전류값(iy)이 결정되는 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,상기 x 방향 입력신호 fx(t) 및 y 방향 입력신호 fy(t)에 대해 각각 비례적분제어(PD 제어)가 적용되어 x 방향 이송을 위한 입력신호에 대한 전류값(ix) 및 y 방향 이송을 위한 입력신호에 대한 전류값(iy)이 결정되는 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,상기 x 방향 입력신호 fx(t) 및 y 방향 입력신호 fy(t)에 대해 각각 비례미분적분제어(PID 제어)가 적용되어 x 방향 이송을 위한 입력신호에 대한 전류값(ix) 및 y 방향 이송을 위한 입력신호에 대한 전류값(iy)이 결정되는 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,상기 MR 댐퍼는 상기 공압 스프링 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,상기 x 방향 입력신호 fx(t) 및 y 방향 입력신호 fy(t)은 속도 신호 또는 가속도 신호인 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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청구항 8 에 있어서,상기 x 방향 입력신호 fx(t) 및 y 방향 입력신호 fy(t)가 가속도 신호인 경우 정방형, 사다리꼴 형상 및 포물선 형상 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 MR 댐퍼를 이용한 제진장치
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