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내플라즈마성 코팅부품의 아킹 평가장치 및 평가방법

  • 기술번호 : KST2018015869
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 챔버 내부에서 코팅기재의 아킹이 발생하지 않고 견딜 수 있는 임계전압과 아킹이 발생하는 시점을 측정하기 위한 아킹 유발장치 및 임계전압 측정방법을 포함하는 내플라즈마성 코팅부품의 평가장치 및 평가방법에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/20 (2006.01.01) G01M 13/00 (2006.01.01) G01N 17/00 (2006.01.01) G01N 17/02 (2006.01.01) G01N 21/67 (2006.01.01) G01N 21/956 (2006.01.01)
CPC G01N 27/205(2013.01) G01N 27/205(2013.01) G01N 27/205(2013.01) G01N 27/205(2013.01) G01N 27/205(2013.01) G01N 27/205(2013.01)
출원번호/일자 1020170065787 (2017.05.29)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0130124 (2018.12.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 서울특별시 양천구
2 김진태 대한민국 대전광역시 유성구
3 송제범 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0507177-54
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0560063-35
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0006018-39
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.10.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0674167-51
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-1187843-05
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1187844-40
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 등록결정서
Decision to grant
2019.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0142955-79
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번호 청구항
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진공 챔버;진공 챔버 내부에 설치되는 코팅기재 고정부;코팅기재 고정부에 장착되는 코팅기재;진공 챔버에 설치되어 코팅기재에 아킹을 유발하는 아킹 유발장치;진공 챔버에 설치되어 아킹을 검출하는 아킹 검출부;진공 챔버 내의 압력변화를 검출하는 압력 검출부; 및누설전류 측정장치를 포함하고,아킹 유발장치는 전원 공급기; 전원 공급기로부터 전원을 공급받아 코팅기재 쪽으로 전압을 전달하는 전압전달 지그부; 전압전달 지그부에 설치되고 코팅기재에 전압을 인가하여 아킹을 유발하는 지그 분침부; 및 코팅기재 고정부에 설치되고 전압전달 지그부를 고정하는 지그 고정부를 포함하며,지그 분침부는 전압전달 지그부의 코팅기재 쪽 말단부에 교체 가능하게 설치되고,지그 분침부는 코팅기재 쪽으로 가늘어지는 원뿔형, 타원뿔, 각뿔형, 반원뿔형, 반타원뿔, 반각뿔형 분침; 전압전달 지그부보다 작거나 같거나 큰 평균직경을 갖는 원기둥형, 타원기둥형, 각기둥형 분침 중에서 선택되는 1종 이상의 분침을 포함하며,코팅기재는 금속기재를 중심으로 금속기재의 일면 또는 양면에 배치되고,아킹 검출부는 아킹시 발생하는 발광을 검출하는 빛 검출장치이며,인가전압에 따라 발생하는 누설전류를 측정하여 아킹 발생시점 및 임계전압을 평가하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 코팅부품의 평가장치
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제1항의 장치를 이용하여 코팅기재에 전압을 인가하는 단계; 및아킹 발생을 평가하는 단계를 포함하는 내플라즈마성 코팅부품의 평가방법
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제9항에 있어서,전압을 인가하는 방법은 선형주사 전압법, 전압 유지법 또는 순환 전압법인 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 코팅부품의 평가방법
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제9항에 있어서,전압을 인가한 시점부터 아킹이 발생한 시점을 빛 검출로 평가하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 코팅부품의 평가방법
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제9항에 있어서,전압을 인가한 시점부터 아킹 발생에 의한 압력 변화가 발생한 시점을 압력 검출로 평가하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 코팅부품의 평가방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국표준과학연구원 한국표준과학연구원 기관고유사업 3-3-1 차세대 초박막 공정용 측정기술 개발
2 국가과학기술연구회 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 미래 나노급 반도체 및 대면적 OLED를 위한 증착소재개발의 한계돌파를 위한 복합물성 측정 장비개발