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귀금속을 포함하는 제1 금속 및 상기 귀금속보다 이온화 반응성이 높은 제2 금속을 코-스퍼터링(co-sputtering)하여 합금 박막을 형성하는 단계;상기 합금 박막을 산성수용액에 침지시키는 단계;상기 산성수용액에 전압을 인가하여 탈성분 부식(dealloying)을 수행하여서 상기 제2 금속을 선택적으로 용출시키는 단계;를 포함하는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제1 금속은 금(Au), 백금(Pt) 및 팔라듐(Pd)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 제2 금속은 알루미늄(Al), 규소(Si), 크로뮴(Cr), 망가니즈(Mn), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 구리(Cu), 아연(Zn) 및 은(Ag)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 합금 박막은 제1 금속과 제2 금속이 1:9 ~ 9:1의 원자비(atomic percent, at%)의 조성으로 이루어진 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 합금 박막은 50 내지 250 nm의 두께로 형성되는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 산성수용액은 HClO4, HCl, H2SO4, HNO3으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 산성수용액은 0
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청구항 1에 있어서,상기 탈성분 부식은 상기 산성수용액에 대한 별도의 가열 없이 상온에서 수행되는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 전압은 0
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청구항 1에 있어서,상기 탈성분 부식(dealloying)을 수행하기 전, 상기 산성수용액에 용존 산소를 제거하기 위한 비활성 기체를 공급하는 단계를 더 포함하는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 10에 있어서,상기 비활성 기체는 질소 또는 아르곤인 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 탈성분 부식은 3 전극 시스템에서 수행되는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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13
청구항 12에 있어서,상기 3전극 시스템은 기준전극, 작업전극, 상대전극으로 이루어진 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 13에 있어서,상기 기준전극은 포화 칼로멜 전극(saturated calomel electrode, SCE), 황산구리 전극(copper-copper(II) sulfate electrode, CSE), 염화은 전극(silverchloride electrode) 및 황산제일수은 전극(mercury-mercurous sulfate electrode, MSE)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 13에 있어서,상기 상대전극은 백금, 금, 스테인리스 스틸 및 흑연으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 13에 있어서,상기 작업전극은 상기 제1 금속 및 제2 금속의 코-스퍼터링(co-sputtering)에 의해 형성되는 합금 박막인 것인 다공성 나노구조체 전극의 제조방법
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청구항 1 내지 청구항 16 중의 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 다공성 나노구조체 전극
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청구항 17에 따른 다공성의 나노구조체 전극을 포함하는 저온형 고체산화물 연료전지
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