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실리콘-알루미늄 메타표면 기반의 감산 컬러 필터 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2018016056
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 Si 기판; 상기 Si 기판 상에 나노디스크의 설정된 주기 간격을 가지고 사각형의 격자 형태로 배열된 나노디스크 패턴; 을 포함하며, 상기 나노디스크는 제2 높이로 형성되는 Si 나노디스크층 및 제1 높이로 형성되는 Al 나노디스크층으로 이루어지며, 상기 Si 기판에서 상기 나노디스크가 형성된 부분이 제외된 나머지 부분에 제3 두께로 형성된 Al 다공형 미러층을 더 포함한 것을 특징으로 하는 실리콘-알루미늄 메타표면 기반의 감산 컬러 필터가 제공된다.
Int. CL G02B 5/23 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 21/3065 (2006.01.01)
CPC G02B 5/23(2013.01) G02B 5/23(2013.01) G02B 5/23(2013.01) G02B 5/23(2013.01)
출원번호/일자 1020170067845 (2017.05.31)
출원인 광운대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1965218-0000 (2019.03.28)
공개번호/일자 10-2018-0131175 (2018.12.10) 문서열기
공고번호/일자 (20190807) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상신 대한민국 서울특별시 노원구
2 악문정 중국 서울특별시 노원구
3 고숭 중국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이지 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, KCC웰츠밸리) ***-***

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0521592-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.05.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0070972-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0356370-43
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0752497-74
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0752524-19
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2018.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0845333-01
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.12.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-1266595-52
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-1266553-45
10 등록결정서
Decision to grant
2019.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0103047-89
11 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2019.07.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5019861-15
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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실리콘-알루미늄 메타표면 기반의 감산 컬러 필터에 있어서,상기 감산 컬러 필터는,Si 기판;상기 Si 기판 상에 나노디스크의 설정된 주기 간격을 가지고 사각형의 격자 형태로 배열된 나노디스크 패턴; 을 포함하되,상기 나노디스크는 제2 높이로 형성되는 Si 나노디스크층 및 제1 높이로 형성되는 Al 나노디스크층으로 이루어지고,상기 Si 기판에서 상기 나노디스크가 형성된 부분이 제외된 나머지 부분에 제3 두께로 형성된 Al 다공형 미러층을 더 포함한 것을 특징으로 하며,상기 나노디스크 패턴은원통형으로 형성된 제1 직경의 제1 나노디스크들이 제1주기 간격을 가지며 사각형의 격자 형태로 배열된 제1 나노디스크 패턴;원통형으로 형성된 제2 직경의 제2 나노디스크들이 제2주기 간격을 가지며 사각형의 격자 형태로 배열된 제2 나노디스크 패턴; 및 원통형으로 형성된 제3 직경의 제3 나노디스크들이 제3주기 간격을 가지며 사각형의 격자 형태로 배열된 제3 나노디스크 패턴; 을 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 제1 높이는 60(±5%)nm, 상기 제2 높이는 180(±5%)nm이며, 상기 제3 두께는 10(±5%)nm인 것을 특징으로 하며,상기 제1직경은 140(±5%)nm, 상기 제2직경은 115(±5%)nm 및 상기 제3 직경은 90(±5%)nm인 것을 특징으로 하되,상기 감산 컬러 필터에 수직으로 백색 입사광이 입사될 경우, 상기 설정된 주기 간격은 고정된 상태에서 상기 나노디스크의 직경을 90(±5%)nm에서 160nm까지 변화할 때, 반사 공진 딥은 λ= 489(±5%)nm에서 660(±5%)nm까지 변화되는 것을 특징으로 하는 실리콘-알루미늄 메타표면 기반의 감산 컬러 필터
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제1항에 있어서,상기 제1주기 간격, 제2주기 간격 및 제3주기 간격은 240(±5%)nm 인 것을 특징으로 하는 실리콘-알루미늄 메타표면 기반의 감산 컬러 필터
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 광운대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업 - 중견연구자지원사업 - 중견연구(총연구비3억초과~5억이하) 나노구조 실리콘 메타표면 기반의 위상 및 대역폭 조절이 가능한 고효율 가시광/근적외선 파장필터
2 미래창조과학부 광운대학교 산학협력단 기초연구사업 - 선도연구센터지원사업(이공학분야) - 홀로-디지로그-휴먼미디어 연구센터 홀로그램 공간영상 소자 기술 연구개발