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분사형 자기배향 장치 및 분사형 자기 배향재료의 제조방법

  • 기술번호 : KST2018016073
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 분사형 자기배향 장치 및 분사형 자기 배향재료의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 실시 예를 따르는 분사형 자기배향장치는, 내부에 자기장 영역을 포함하는 전자석부; 상기 전자석부의 자기장 영역 내에 배치된 기판스테이지; 상기 기판스테이지의 후면에 배치된 기판 가열부; 상기 기판스테이지 상으로 과립을 분사하는 분사부; 를 포함한다.
Int. CL H01L 35/34 (2006.01.01) H01F 7/06 (2006.01.01) B05B 7/14 (2006.01.01) B05B 12/16 (2018.01.01)
CPC H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01)
출원번호/일자 1020170066417 (2017.05.29)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자 10-1996525-0000 (2019.06.28)
공개번호/일자 10-2018-0130647 (2018.12.10) 문서열기
공고번호/일자 (20190705) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.18)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동환 대한민국 대구광역시 수성구
2 김호영 대한민국 대구 수성구
3 김참 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대구 달성군 현
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0512756-08
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0686131-63
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.09.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0045733-14
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0814968-56
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0104340-84
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0104303-05
9 등록결정서
Decision to grant
2019.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0457403-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 과립이 분사되는 자기장 영역을 포함하는 전자석부;상기 전자석부의 자기장 영역 내에 배치된 기판스테이지;상기 기판스테이지의 후면에 배치된 기판 가열부; 상기 자기장 영역을 통하여 상기 기판스테이지 상으로 과립을 분사하는 분사부;상기 기판스테이지를 회전시키는 회전부; 및상기 기판스테이지의 면 중 상기 분사부를 향하는 면 상에 형성되는 마스크;를 포함하는 분사형 자기배향장치
2 2
제1항에 있어서,상기 전자석부는, 상기 분사부로부터 과립이 유입되는 제1구, 및 상기 가열부를 탈착 또는 부착하기위해 상기 가열부를 이동할 수 있는 제2구,를 포함하는 분사형 자기배향장치
3 3
제1항에 있어서,상기 전자석부는, 상기 기판스테이지를 탈착 또는 부착하기 위해 상기 기판스테이지를 이동할 수 있는 제3구를 더 포함하는 분사형 자기배향장치
4 4
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 자기장을 형성하는 단계;상기 기판 상에 제1패턴이 형성된 제1마스크를 배치하는 단계;상기 기판 상에 제1물질이 포함된 과립을 분사하여 상기 제1패턴에 대응하는 제1물질층을 형성하는 단계; 및상기 기판을 가열하여 상기 제1물질층을 열처리하는 단계;를 포함하는 제1항에 따른 분사형 자기배향장치를 이용한 분사형 자기배향재료의 제조방법
5 5
삭제
6 6
제4항에 있어서,상기 제1물질층을 형성하는 단계 이후에, 상기 기판 상에 제2패턴이 형성된 제2마스크를 배치하는 단계; 및 상기 기판 상에 제2물질이 포함된 과립을 분사하여 상기 제2패턴에 대응하는 형상의 제2물질층을 형성하는 단계를 포함하는 분사형 자기 배향재료의 제조방법
7 7
전극층을 포함하는 기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 자기장을 형성하는 단계;상기 기판 상에 제1패턴이 형성된 제1마스크를 배치하는 단계;상기 기판 상에 제1반도체형물질이 포함된 과립을 분사하여 제1반도체형층을 형성하는 단계;상기 기판을 가열하여 상기 제1반도체형층을 건조하는 단계;상기 기판 상에 제2반도체형물질이 포함된 과립을 분사하여 제2반도체형층을 형성하는 단계; 및상기 기판을 가열하여 상기 제2반도체형층을 건조하는 단계;를 포함하는 제1항에 따른 분사형 자기배향장치를 이용한 열전소자의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 대구경북과학기술원 자기장구조제어기술을 이용한 고성능열전기술 연구 자기장구조제어기술을 이용한 고성능열전기술 연구
2 산업통상자원부 공주대학교 산학협력단 (2차)분말야금법을 이용한 1kg급 열전변환소재 분말 양산기술 및 열전모듈 제조기술 개발 (2차)분말야금법을 이용한 1kg급 열전변환소재 분말 양산기술 및 열전모듈 제조기술 개발