맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

오염 물질 제거율 향상을 위한 저압 플라즈마 반응기

  • 기술번호 : KST2018016200
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 오염 물질 제거율 향상을 위한 저압 플라즈마 반응기가 개시된다. 저압 플라즈마 반응기는 절연체, 제1 접지 전극, 고전압 전극, 제2 접지 전극, 및 자기장 발생부를 포함한다. 절연체는 공정 가스가 통과하는 관형으로 이루어지고, 제1 접지 전극은 절연체와 진공 펌프를 연결하는 관형으로 이루어진다. 고전압 전극은 제1 접지 전극과 거리를 두고 절연체의 외면에 위치하며, 교류 전원부와 연결되어 구동 전압을 인가받는다. 제2 접지 전극은 제1 접지 전극의 내부에 위치하며, 자기장 발생부는 제1 접지 전극의 외측에 설치되어 제2 접지 전극 주위로 자기장을 인가한다.
Int. CL B01D 53/32 (2006.01.01) H05H 1/24 (2006.01.01)
CPC B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01) B01D 53/32(2013.01)
출원번호/일자 1020170069746 (2017.06.05)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1980840-0000 (2019.05.15)
공개번호/일자 10-2018-0133151 (2018.12.13) 문서열기
공고번호/일자 (20190521) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.05)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 허민 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재옥 대한민국 대전광역시 유성구
3 강우석 대한민국 대전광역시 유성구
4 김대웅 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0536208-51
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.06.21 수리 (Accepted) 9-1-2018-0029519-85
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0509132-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0956844-43
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.09.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0956845-99
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0137189-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
공정 챔버로부터 진공 펌프를 향하는 공정 가스의 배출 경로에 설치되어 공정 가스에 포함된 오염 물질을 제거하는 저압 플라즈마 반응기에 있어서,상기 공정 가스가 통과하는 관형의 절연체;상기 절연체와 상기 진공 펌프를 연결하는 관형의 제1 접지 전극;상기 제1 접지 전극과 거리를 두고 상기 절연체의 외면에 위치하며, 교류 전원부로부터 펄스형 전압을 인가받아 상기 절연체 내부에 포지티브 펄스 방전과 네가티브 펄스 방전을 교대로 일으키는 고전압 전극;상기 제1 접지 전극의 내부에 위치하며, 상기 공정 가스의 이송 방향을 따라 상기 절연체의 내부 중심과 마주하는 대향부를 가지는 제2 접지 전극; 및상기 제2 접지 전극보다 상기 절연체로부터 더 멀리 위치하도록 상기 제1 접지 전극의 외측에 설치되며, 상기 제2 접지 전극의 후방에 자기장을 인가하여 상기 포지티브 펄스 구간에서 플라즈마 밀도를 높이는 자기장 발생부를 포함하는 저압 플라즈마 반응기
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 접지 전극은 상기 절연체의 후단에 연결된 제1 부분과, 제1 부분의 후단에 연결된 제2 부분을 포함하며,상기 제1 부분의 직경은 상기 절연체의 직경 및 상기 제2 부분의 직경보다 큰 저압 플라즈마 반응기
3 3
제2항에 있어서,상기 대향부는 상기 제1 부분의 내벽과 거리를 두고 상기 제1 부분의 내부에 위치하며,상기 대향부와 상기 제1 부분의 내벽 사이에 적어도 두 개의 지지부가 위치하는 저압 플라즈마 반응기
4 4
제3항에 있어서,상기 자기장 발생부는 상기 제2 부분의 외측에서 상기 제2 부분을 한 바퀴 둘러싸도록 설치되는 저압 플라즈마 반응기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 (주)엘오티베큠 2016년 World Class 300 프로젝트 R＆D 진공 플라즈마 처리기술과 진공배기 계통의 융합시스템 개발