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기계적 강도가 증대된 나노구멍구조를 가지는 무반사 렌즈의 제조방법

  • 기술번호 : KST2018016379
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노구멍 구조를 구비하는 무반사 렌즈의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 무반사 렌즈의 제조방법은, 곡면 또는 평면을 가지는 유리기판을 준비하는 단계와; 상기 유리기판 상에 코팅층 및 금속층을 순차적으로 형성하는 단계와; 상기 금속층을 구성하는 금속의 녹는점 이하의 온도에서 상기 금속층에 대한 열처리를 수행하여, 상기 코팅층과 상기 금속층 사이의 표면에너지 차이에 따른 비젖음(dewetting) 현상에 의해, 상기 코팅층 상에 광파장보다 작은 사이즈의 나노구멍 구조를 가지는 금속 마스크패턴을 형성하는 단계와; 상기 금속 마스크 패턴을 식각마스크로 하여 상기 코팅층에 대한 비등방성 식각공정을 수행함에 의해 광파장보다 작은 사이즈의 나노구멍 구조를 가지는 나노 구멍 구조를 형성하는 단계와; 상기 금속 마스크패턴을 제거하는 단계;를 구비한다.
Int. CL C03C 17/36 (2006.01.01)
CPC C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01) C03C 17/3607(2013.01)
출원번호/일자 1020170073186 (2017.06.12)
출원인 세종공업 주식회사, 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1966826-0000 (2019.04.02)
공개번호/일자 10-2018-0135272 (2018.12.20) 문서열기
공고번호/일자 (20190408) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 세종공업 주식회사 대한민국 울산광역시 북구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 엄재현 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 김봉기 대한민국 경기도 용인시 기흥구
3 장지상 대한민국 경기도 용인시 기흥구
4 서호철 대한민국 경기도 용인시 기흥구
5 정기훈 대한민국 대전광역시 유성구
6 배상인 대한민국 대전광역시 유성구
7 이영섭 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김선기 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, *층 (방배동, 신국빌딩)(호원국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 세종공업 주식회사 울산광역시 북구
2 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0556620-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.05.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.07.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0032283-76
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0681311-05
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-1235464-64
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.12.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1235503-57
7 등록결정서
Decision to grant
2019.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0177349-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
곡면 또는 평면을 가지는 유리기판을 준비하는 단계와;상기 유리기판 상에, OXIDE, NITRIDE, PHOTORESIST 및 POLYMER 중에서 선택된 적어도 하나의 물질을 재질로 하는 코팅층을 형성하는 단계와;상기 코팅층 상에 금, 은, 백금, 알루미늄, 구리, 팔라듐, 니켈, 아연, 철, 주석, 청동 및 황동 중에서 선택된 적어도 하나의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금을 재질로 하는 금속층을 형성하는 단계와;상기 금속층을 구성하는 금속의 녹는점 이하의 온도에서 상기 금속층에 대한 열처리를 수행하여, 상기 코팅층과 상기 금속층 사이의 표면에너지 차이에 따른 비젖음(dewetting) 현상에 의해, 상기 코팅층 상에 광파장보다 작은 사이즈의 나노구멍 구조를 가지는 금속 마스크패턴을 형성하는 단계와; 상기 금속 마스크 패턴을 식각마스크로 하고 상기 유리기판을 식각정지막으로 하여 상기 코팅층에 대한 비등방성 식각공정을 수행함에 의해, 상기 유리기판 상에 광파장보다 작은 사이즈의 나노구멍 구조를 가지는 나노구멍 구조체를 형성하는 단계와;상기 금속 마스크패턴을 제거하는 단계;를 구비함을 특징으로 하는 무반사 렌즈의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 유리기판은 크라운(crown) 계열, 붕규산(borosilicate) 계열, 플린트(flints) 계열 중에서 선택된 적어도 하나의 재질을 가지는 광학유리(Optical Glass)임을 특징으로 하는 무반사 렌즈의 제조방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 코팅층은 화학적 기상증착법(CVD), 물리적 기상증착법(PVD), 플라즈마를 이용한 화학기상 증착법(PECVD), 스핀코팅법 중에서 선택된 적어도 하나의 증착방법을 이용하여 형성됨을 특징으로 하는 무반사 렌즈의 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 금속층은 열증착, 전자빔증착, 스퍼터링, 스핀코팅 중에서 선택된 적어도 하나의 증착방법을 이용하여 형성됨을 특징으로 하는 무반사 렌즈의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 코팅층은 10~500nm의 두께로 증착되고, 상기 금속층은 15~100nm의 두께로 증착됨을 특징으로 하는 무반사 렌즈의 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 금속층의 두께를 조절하거나 상기 열처리의 온도 조절을 통해 상기 나노구멍 구조체를 구성하는 나노구멍의 사이즈를 조절함을 특징으로 하는 무반사 렌즈의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.