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제1 마스터 패턴을 포함하는 제1 마스터 기판을 준비하는 단계;상기 제1 마스터 기판을 소수성 고분자 물질로 코팅하는 단계;상기 소수성 고분자 물질로 코팅된 상기 제1 마스터 기판 상에 연성 물질을 제공하는 단계;상기 연성 물질을 상기 제1 마스터 기판으로부터 분리하여, 상기 제1 마스터 패턴의 역상을 갖는 제1 복제 패턴을 포함하는 베이스 기판을 제조하는 단계;제2 마스터 패턴을 포함하는 제2 마스터 기판과 상기 베이스 기판을 접촉시켜, 상기 제1 복제 패턴을 제2 복제 패턴으로 변형시키는 단계;상기 제2 복제 패턴을 포함하는 상기 베이스 기판 상에 기능성 소재를 제공하는 단계; 상기 베이스 기판을 용해하는 용매가 기화된 기체를 갖는 인플레이트 가스를 상기베이스 기판에 제공하여, 상기 인플레이트 가스가 상기 베이스 기판에 흡수되는 단계; 및 상기 인플레에트 가스가 흡수된 상기 베이스 기판을 타겟 기판에 접촉시켜, 상기 기능성 소재를 상기 타겟(target) 기판 상에 전사하는 단계;를 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제1 항에 있어서, 상기 제1 마스터 기판 및 상기 제2 마스터 기판은 서로 동일한 것을 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제2 항에 있어서, 상기 베이스 기판을 제조하는 단계는, 상기 제1 마스터 패턴의 오목부 및 상기 제1 복제 패턴의 볼록부가 대응되고, 상기 제1 마스터 패턴의 볼록부 및 상기 제1 복제 패턴의 오목부가 대응되고, 상기 제1 복제 패턴을 상기 제2 복제 패턴으로 변형시키는 단계는, 상기 제1 마스터 패턴의 볼록부 및 상기 제1 복제 패턴의 볼록부의 적어도 일부가 중첩되도록 접촉되고,상기 제1 마스터 패턴의 오목부 및 상기 제1 복제 패턴의 오목부의 적어도 일부가 중첩되도록 접촉되는 것을 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제3 항에 있어서, 상기 제1 복제 패턴을 상기 제2 복제 패턴으로 변형시키는 단계는, 상기 제1 마스터 기판의 상부면의 법선을 회전축으로 회전하여, 상기 제1 마스터 기판의 상기 제1 마스터 패턴을 상기 제1 복제 패턴에 접촉하는 것을 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제3 항에 있어서, 상기 제1 복제 패턴을 상기 제2 복제 패턴으로 변형시키는 단계는, 상기 제1 복제 패턴을 포함하는 상기 베이스 기판을 제조하는 단계에서 상기 제1 마스터 기판이 상기 베이스 기판과 접촉된 위치와 비교하여, 상기 제1 마스터 기판의 상부면에 평행한 방향으로, 상기 제1 마스터 기판을 이동시킨 후, 상기 제1 마스터 기판의 상기 제1 마스터 패턴을 상기 제1 복제 패턴에 접촉하는 것을 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제1 항에 있어서, 상기 제1 마스터 기판 및 상기 제2 마스터 기판은 서로 다른 것을 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제6 항에 있어서, 상기 제1 마스터 패턴의 형상 및 상기 제2 마스터 패턴의 형상은 서로 다른 것을 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제1 항에 있어서, 상기 타겟 기판 상에 전사된 상기 기능성 소재의 형상은, 상기 제1 마스터 패턴, 상기 제1 마스터 패턴의 역상, 상기 제2 마스터 패턴, 및 상기 제2 마스터 패턴의 역상과 다른 것을 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제1 항에 있어서, 상기 베이스 기판을 제조하는 단계는, 상기 연성 물질을 상기 제1 마스터 기판으로부터 분리하기 전, 상기 연성 물질이 제공된 상기 제1 마스터 기판 상에 자외선(ultraviolet)을 조사하거나 열처리 단계를 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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제1 항에 있어서, 상기 기능성 소재를 상기 타겟 기판 상에 전사하는 단계는, 상기 기능성 소재가 전사되기 전, 상기 기능성 소재가 제공된 상기 베이스 기판 상에 자외선을 조사하거나 열처리(50-400oC)하는 단계를 포함하는 미세 패턴의 형상 제어 방법
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