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테라헤르츠 펌프 프로브를 이용한 상변화 특성 평가 방법

  • 기술번호 : KST2018016403
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 테라헤르츠 펌프 프로브를 이용한 상변화 특성 평가 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따르면,
Int. CL G01N 29/24 (2006.01.01) G01N 29/04 (2006.01.01) H01L 45/00 (2006.01.01)
CPC G01N 29/2418(2013.01) G01N 29/2418(2013.01) G01N 29/2418(2013.01)
출원번호/일자 1020170072953 (2017.06.12)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0135189 (2018.12.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조만호 대한민국 서울특별시 강남구
2 안민 대한민국 서울특별시 강서구
3 정훈 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김권석 대한민국 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0554217-84
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번호 청구항
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Ge2Sb2Te5, Ge1Sb2Te4를 포함하여 칼코게나이드 물질기반의 박막 구조 및 다양한 조성을 가지는 박막 형태로, 상온에서는 비정질 구조이지만 열처리를 가하게 되면 기판에서부터 결정화가 진행되며, 면심 입방(face-centered-cubic) 결정 구조가 합성되는 테라헤르츠 펌프 프로브를 이용한 상변화 특성 평가 방법
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제 1 항에 있어서상기 박막에, 테라헤르츠 펌프 프로브 측정을 통해 고온 반송자의 생존 시간을 측정하고, 그 감쇠 시상수를 실험적으로 측정함
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제 2항에 있어서,상기 감쇠 시상수를 사용하여, 상변화 재료의 비조화성을 정량적으로 비교하고 최종적으로 상변화 재료의 안정성 및 동작 속도 특성을 예측하는 테라헤르츠 펌프 프로브를 이용한 상변화 특성 평가 방법
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제 1 항에 있어서,상기 칼코게나이드 물질은 S, Se, Te 또는 이들의 혼합물을 포함하는 테라헤르츠 펌프 프로브를 이용한 상변화 특성 평가 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 열처리는 온도는 140 ℃ 내지 160 ℃의 온도 범위를 갖는 테라헤르츠 펌프 프로브를 이용한 상변화 특성 평가 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 연세대학교 산학협력단 산업기술혁신사업 [RCMS]한국반도체연구조합/신공정 및 METROLOGY 연구를 통한 차세대 PCRAM 기술 개발(4/5)/(미래반도체소자)