| 1 |
1
서로 대향하는 전극 사이에 플라즈마 아크가 발생함으로써 그 열에 의해 이들 사이에 배치되는 나노 분말의 모재를 용융 및 증발시키는 플라즈마 생성 수단과 플라즈마 생성 수단을 밀폐하고 플라즈마 생성 분위기 및 나노 분말 형성을 위한 공간을 형성하는 반응 챔버를 포함하는 것인 나노 분말의 제조 장치에 있어서,플라즈마 생성 수단에 의해 용융되어 증발되는 모재가 반응 챔버의 내부 표면에서 냉각되어 응결 및 부착됨으로써 나노 분말을 형성하도록 반응 챔버의 내부 표면의 상부 또는 전체를 냉각하는 냉각 수단; 및반응 챔버의 내부 표면에 대해 나노 분말의 포집용 액체를 분사하여 반응 챔버의 내부 표면에 부착되어 생성되는 나노 분말을 반응 챔버의 내부 표면으로부터 이탈시켜 포집하는 포집 수단을 더 포함하고,플라즈마 생성 수단은 반응 챔버의 하부에 배치되고, 반응 챔버는 하부에 대하여 상부가 더 넓은 표면적을 갖도록 형성되는 것인, 나노 분말의 제조 장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,플라즈마 생성 수단은, 상측에 배치되고 전원이 인가되는 전극봉, 반응 챔버의 저면을 관통하여 연장되어 전극봉을 지지하는 지지체, 반응 챔버의 저면을 관통하여 연장되어 전극봉과 대향하여 배치되고 전원이 인가되는 전극판, 전극판 위에 배치되고 나노 분말의 모재가 수용되는 도가니를 포함하여 구성되는 것인, 나노 분말의 제조 장치
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서,포집 수단은 반응 챔버의 내부 표면에 대해 나노 분말의 포집용 액체를 분사하는 노즐 및 나노 분말을 포집하여 반응 챔버의 아래쪽으로 낙하하는 포집용 액체를 수용하거나 반응 챔버의 외부로 배출하는 수단을 포함하는 것인, 나노 분말의 제조 장치
|
| 4 |
4
청구항 2에 있어서,포집용 액체는 에탄올 또는 메탄올을 함유하는 것인, 나노 분말의 제조 장치
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서,반응 챔버는 하부로부터 상부로 갈수록 그 폭 또는 직경이 커지는 형태로 형성되는 것인, 나노 분말의 제조 장치
|
| 6 |
6
청구항 5에 있어서,반응 챔버는 역사다리꼴의 종단면을 갖도록 형성되는 것인, 나노 분말의 제조 장치
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서,반응 챔버의 내측 표면과 외측 표면 사이에는 반응 챔버의 내측 표면을 냉각하는 냉각 수단으로서 냉각 매체가 유통하는 채널이 마련되는 것인, 나노 분말의 제조 장치
|
| 8 |
8
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 청구항에 따른 제조 장치를 이용하여 나노 분말을 제조하는 제조 방법으로서,플라즈마 생성 수단의 전극 사이에 나노 분말의 모재를 배치하는 단계;반응 챔버를 밀폐하고 진공 배기하며 플라즈마 아크 생성을 위한 분위기를 형성하는 단계;전극들에 전원을 인가하여 플라즈마 아크를 생성하여 플라즈마 아크의 열에 의해 모재가 용융되어 증발하고, 이 때 냉각 수단에 의해 반응 챔버의 내부 표면을 냉각함으로써 기화된 모재의 입자가 반응 챔버의 내부 표면에 접촉하여 냉각됨으로써 응결되어 나노 분말을 형성하는 단계; 및포집 수단에 의해 반응 챔버의 내부 표면에 대해 나노 분말의 포집용 액체를 분사하여 반응 챔버의 내부 표면에 응결된 나노 분말을 이탈시켜 포집하는 단계를 포함하는 것인, 나노 분말의 제조 방법
|
| 9 |
9
청구항 8에 있어서,포집 단계에서는 포집 수단에 의해 반응 챔버의 내부 표면에 대해 나노 분말의 포집용 액체를 분사함으로써 포집용 액체가 반응 챔버의 내부 표면에 응결되어 형성된 나노 분말을 수용하고 반응 챔버의 아래쪽으로 낙하하는 것인, 나노 분말의 제조 방법
|
