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진동하는 작동 유체의 파동에너지를 이동시키는 채널들을 구비하는 스택, 상기 스택의 양측에 제1공진부와 제2공진부를 각각 형성하여 배치되는 제1파동 가이드 플레이트와 제2파동 가이드 플레이트, 및 상기 제1파동 가이드 플레이트와 상기 제2파동 가이드 플레이트 중 하나에 구비되어 초음파를 발생시키는 압전소자를 포함하며, 복수로 구비되어 냉각 대상에 저온부로 연결되는 단위 모듈들;상기 단위 모듈들의 측방에 결합되어 상기 단위 모듈들을 지지하는 프레임; 및상기 단위 모듈들의 고온부에 연결되는 히트 싱크를 포함하며,상기 제1공진부는 상기 채널들에 직접 연결되고,상기 제2공진부는 상기 채널들에 직접 연결되며,상기 제1파동 가이드 플레이트와 상기 제2파동 가이드 플레이트는상기 제1공진부의 외곽에 구비되는 제1단차와 제1단차에 대응하도록 상기 제2공진부의 외곽에 구비되는 제2단차에 상기 스택을 설치하여 서로 직접 접합되고,상기 스택은 실리콘 웨이퍼로 형성되는 모듈형 초음파 냉각 장치
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제1항에 있어서,상기 프레임은,상기 단위 모듈의 측방 외곽에 대응하는 설치구를 복수로 구비하는 모듈형 초음파 냉각 장치
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제1항에 있어서,상기 압전소자는상기 제1파동 가이드 플레이트에 부착되며,상기 스택은상기 제1공진부 측에 상기 저온부를 형성하고,상기 제2공진부 측에 상기 고온부를 형성하는 모듈형 초음파 냉각 장치
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제3항에 있어서,상기 단위 모듈들은상기 제1파동 가이드 플레이트로 상기 냉각 대상에 직접 연결되고,상기 제2파동 가이드 플레이트로 상기 히트 싱크에 직접 연결되는 모듈형 초음파 냉각 장치
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제1항에 있어서,상기 압전소자에서 상기 제1공진부 및 상기 스택를 경유하여 상기 제2공진부 끝에 이르는 공명기 길이(L)는20~40kHz 초음파 파장의 λ/4로 설정되는 모듈형 초음파 냉각 장치
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제3항에 있어서,상기 단위 모듈들은상기 제1파동 가이드 플레이트에 제1히트 파이프로 상기 냉각 대상에 연결되고,상기 제2파동 가이드 플레이트에 제2히트 파이프로 상기 히트 싱크에 연결되는 모듈형 초음파 냉각 장치
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제7항에 있어서,상기 냉각 대상은일면에 제1히트 스프레더를 구비하여 상기 제1히트 파이프에 연결되는 모듈형 초음파 냉각 장치
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제7항에 있어서,상기 히트 싱크는일면에 제2히트 스프레더를 구비하여 상기 제2히트 파이프에 연결되는 모듈형 초음파 냉각 장치
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