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화염 영역을 형성하기 위한 화염 반응기;복합 금속 입자를 생성하기 위하여, 금속 입자 및 전구체 용액을 각각 화염 영역 측으로 공급하기 위한 하나 이상의 공급부; 및화염 영역 측으로 초음파를 분사하도록 마련된 초음파 발생기를 포함하며,초음파 발생기는, 화염 영역 내로 금속 입자 및 전구체 용액이 공급되면, 전구체가 기화되고, 화염 영역 내에서 초음파가 가해지면, 결정구조를 변화시키도록 마련되며,초음파 발생기의 팁부에는 화염 영역으로부터 전달되는 열을 냉각시키기 위한 냉각소자가 마련된 복합 금속 입자 제조장치
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제 1 항에 있어서,금속 입자 및 전구체 용액은 동일한 원료 분사포트를 통해 화염 영역으로 분사되는 복합 금속 입자 제조장치
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제 3 항에 있어서,금속 입자 및 전구체 용액은 정전 분무 방식으로 화염 영역 측으로 분무되는 복합 금속 입자 제조장치
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제 3 항에 있어서,전구체 용액 내에 금속 입자가 현탁된 복합 금속 입자 제조장치
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제 3 항에 있어서,원료 분사포트는 초음파 발생기의 팁부에 마련된 복합 금속 입자 제조장치
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제 6 항에 있어서,초음파가 분사되는 초음파 분사포트 및 원료 분사포트는 중심이 각각 동축 상에 위치하도록 마련되며,초음파 분사포트는 원료 분사포트를 둘러싸도록 마련된 복합 금속 입자 제조장치
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제 1 항에 있어서,전구체 용액은 화염 영역 주변 또는 화염 영역 내부로 공급되는 복합 금속 입자 제조장치
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화염 영역을 형성하기 위한 화염 반응기;화염 반응기를 통해 화염 영역 측으로 금속 입자를 공급하기 위한 제1 원료 공급부;초음파를 분사하기 위한 팁부를 포함하며, 화염 영역 측으로 초음파가 분사되도록 배열된 초음파 발생기; 및전구체 용액을 화염 영역 측으로 공급하기 위한 제2 원료 공급부를 포함하며,초음파 발생기는, 화염 영역 내로 금속 입자 및 전구체 용액이 공급되면, 전구체가 기화되고, 화염 영역 내에서 초음파가 가해지면, 결정구조를 변화시키도록 마련되며,초음파 발생기의 팁부에는 화염 영역으로부터 전달되는 열을 냉각시키기 위한 냉각소자가 마련된 복합 금속 입자 제조장치
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제 9 항에 있어서,제2 원료 공급부는 팁부로 전구체 용액을 공급하도록 마련된 복합 금속 입자 제조장치
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제 9 항에 있어서,팁부는 초음파가 분사되는 초음파 분사포트 및 전구체 용액이 분사되는 원료 분사포트를 갖는 복합 금속 입자 제조장치
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제 12 항에 있어서,초음파 분사포트는 원료 분사포트를 둘러싸도록 마련된 복합 금속 입자 제조장치
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화염 영역을 형성하기 위한 화염 반응기;복합 금속 입자를 생성하기 위하여, 금속 입자 및 전구체 용액을 각각 화염 영역 측으로 공급하기 위한 하나 이상의 공급부;화염 영역 측으로 초음파를 분사하도록 마련된 초음파 발생기; 및화염 반응기로부터 회수된 복합 금속 입자에 전기장을 인가하여 포집하기 위한 전기장 발생기를 포함하며, 초음파 발생기는, 화염 영역 내로 금속 입자 및 전구체 용액이 공급되면, 전구체가 기화되고, 화염 영역 내에서 초음파가 가해지면, 결정구조를 변화시키도록 마련되며,초음파 발생기의 팁부에는 화염 영역으로부터 전달되는 열을 냉각시키기 위한 냉각소자가 마련된 복합 금속 입자 제조장치
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