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영상을 이용한 반도체 웨이퍼의 위치 정렬 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2018016557
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 웨이퍼의 위치 정렬 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 복수의 슬롯에 반도체 웨이퍼가 적재된 카세트부로부터 상기 반도체 웨이퍼를 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading)하고, 상기 반도체 웨이퍼의 저면에 접촉되어 상기 반도체 웨이퍼를 지지하는 지지부가 일단에 구비된 웨이퍼 핸들러; 상기 웨이퍼 핸들러에 의해 상기 반도체 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 척; 상기 웨이퍼 척에 안착된 반도체 웨이퍼를 촬영하는 카메라; 및 상기 카메라에 연결되고, 상기 카메라에서 촬영된 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존을 검출하며, 상기 검출된 플랫존과 미리 저장된 기준 수평선을 비교하여 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋을 확인하고, 확인된 회전 오프셋에 따라 상기 웨이퍼 척이 회전하도록 제어하여 상기 반도체 웨이퍼를 회전시키는 검출부를 포함하고, 상기 검출부는 상기 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 중심점 위치를 확인하며, 상기 웨이퍼 핸들러를 제어하여 상기 중심점 위치를 상기 지지부 상의 기준 위치로 정렬한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/683 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01)
출원번호/일자 1020170075953 (2017.06.15)
출원인 (주)에스아이엔지니어링, 한국산업기술대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2032403-0000 (2019.10.08)
공개번호/일자 10-2018-0136778 (2018.12.26) 문서열기
공고번호/일자 (20191015) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.15)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)에스아이엔지니어링 대한민국 경기도 시흥시 공단*대로***번
2 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임윤수 대한민국 경기도 시흥시 공단*대로 **
2 김창규 대한민국 경기도 시흥시 산기

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)에스아이엔지니어링 경기도 시흥시 공단*대로***번
2 한국산업기술대학교산학협력단 경기도 시흥시 산기대학로
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0573622-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.12.12 수리 (Accepted) 9-1-2017-0044809-83
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0568396-91
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1035074-25
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.10.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1035090-56
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2019.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0147046-53
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0415967-06
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-0415961-22
10 등록결정서
Decision to grant
2019.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0621433-16
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번호 청구항
1 1
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2 2
(a) 카세트부의 복수의 슬롯에 적재된 반도체 웨이퍼를 언로딩하는 단계;(b) 상기 언로딩된 반도체 웨이퍼를 웨이퍼 척의 일면에 안착시키는 단계;(c) 상기 웨이퍼 척에 안착된 반도체 웨이퍼를 웨이퍼 척에 안착된 반도체 웨이퍼의 상부에 설치된 카메라를 이용하여 촬영하는 단계;(d) 촬영된 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존을 검출하는 단계;(e) 상기 검출된 플랫존과 미리 저장된 기준 수평선을 비교하여 상기 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋을 확인하고, 확인된 회전 오프셋에 따라 상기 반도체 웨이퍼가 안착된 웨이퍼 척을 회전시키는 단계; 및(f) 상기 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 중심점 위치를 확인하고, 웨이퍼 척으로부터 반도체 웨이퍼를 언로딩하는 과정에서 웨이퍼 핸들러를 제어하여 반도체 웨이퍼의 중심점 위치를 상기 반도체 웨이퍼의 저면에 접촉되는 상기 웨이퍼 핸들러의 지지부 상의 기준 위치에 정렬하는 단계를 포함하는 반도체 웨이퍼의 위치 정렬 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)에스아이엔지니어링 산업집적지 경쟁력강화사업(생산기술사업화지원사업) 웻스테이션용 영상방식 플랫존 정렬시스템