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기판;상기 기판 상에, 제1 방향을 따라 연장된 양극 전극(anode) 및 음극 전극(cathode)을 갖는 마이크로 채널; 및제1 유기물을 포함하며, 상기 마이크로 채널을 덮도록 상기 기판 상에 배치되고, 상기 음극 전극으로 연료를 유입하거나 상기 양극 전극으로 산화제를 유입하는 유입구들과, 상기 연료 및 상기 산화제와 상기 전극들 간의 산화 환원 반응 결과 발생되는 물질을 배출하는 배출구를 갖는, 커버부;를 구비하고,상기 커버부는 상기 기판을 향하는 제1 면에 상기 마이크로 채널에 대응하는 홈부를 포함하고, 상기 홈부를 포함하는 상기 제1 면의 적어도 일부에 상기 제1 유기물에 비해 낮은 산소 투과율을 갖는 제2 유기물을 포함하는 코팅층을 더 구비하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 제1 유기물은 PDMS(Polydimethylsiloxane)을 포함하고, 상기 제2 유기물은 패럴린C(Parylene C)를 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 양극 전극 및 상기 음극 전극은 복수개의 돌기들을 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제3항에 있어서,상기 복수개의 돌기들 각각은 원기둥 형상을 갖는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 양극 전극 및 상기 음극 전극은 금(Au)을 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 커버부의 상기 제1 면은 상기 기판에 부착되며, 상기 제1 면의 적어도 일부에는 상기 코팅층이 배치되지 않는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 기판 상에 배치되는 양극 전극 패드 및 음극 전극 패드를 더 포함하고, 상기 양극 전극 패드는 배선을 통해 상기 양극 전극의 중앙부와 연결되고, 상기 음극 전극 패드는 배선을 통해 상기 음극 전극의 중앙부와 연결되는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 유입구들은,Y자 형상으로 마련되는 상기 마이크로 채널의 양 갈래 중 일 갈래의 시작점에 위치하도록 상기 커버부를 관통하여 상기 음극 전극으로 상기 연료를 유입하는 연료 유입구; 및상기 마이크로 채널의 양 갈래 중 다른 갈래의 시작점에 위치하도록 상기 커버부를 관통하여 상기 양극 전극으로 상기 산화제를 유입하는 산화제 유입구;를 포함하며,상기 배출구는 상기 마이크로 채널의 단부에 위치하도록 상기 커버부를 관통하는, 마이크로 유체 연료 전지
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기판 상에, 제1 방향을 따라 양극 전극(anode) 및 음극 전극(cathode)을 형성하여, 마이크로 채널을 제작하는 단계;상기 마이크로 채널을 덮도록 상기 기판 상에, 제1 유기물을 포함하며, 상기 기판을 향하는 제1 면에 상기 마이크로 채널에 대응하는 홈부를 형성하는 단계 및 상기 홈부를 포함하는 상기 제1 면의 적어도 일부에 상기 제1 유기물에 비해 낮은 산소 투과율을 갖는 제2 유기물을 포함하는 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는, 커버부를 제작하는 단계;상기 기판 상에 상기 커버부를 접착 방법에 의해 결합하는, 결합 단계;를 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 커버부를 제작하는 단계는, 상기 음극 전극으로 연료를 유입하는 연료 유입구를 형성하는 단계, 상기 양극 전극으로 산화제를 유입하는 산화제 유입구를 형성하는 단계 및 상기 연료 및 상기 산화제와 상기 전극들 간의 산화 환원 반응 결과 발생되는 물질을 배출하는 배출구를 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 연료 유입구, 상기 산화제 유입구 및 상기 배출구는 몰딩(molding) 방법 및 펀칭(punching) 방법에 의해 형성되는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 커버부를 형성하는 제1 유기물은 PDMS(Polydimethylsiloxane)을 포함하고, 상기 코팅층을 형성하는 제2 유기물은 패럴린C(Parylene C)를 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 마이크로 채널을 제작하는 단계는, 상기 양극 전극 및 상기 음극 전극 상에 복수개의 돌기들을 형성하는 단계를 더 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 마이크로 채널을 제작하는 단계에서, 상기 양극 전극 및 상기 음극 전극은 금(Au)을 포함하여 형성되는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 코팅층은 화학기상증착법(CVD)으로 형성되는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 코팅층을 형성하는 단계는, 중합체(Polymer)형태의 유기물을 이합체(Dimer)형태로 변환시키는 단계;상기 이합체(Dimer)형태를 단위체(Monomer)형태로 변환시키는 단계; 및상온 조건 하에서 상기 단위체(Monomer)를 상기 커버층의 제1 면의 적어도 일부 상에 증착하는 단계;를 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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