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히터전극에 의해 가열되어 가스를 감지하는 측정부, 상기 측정부에 대하여 이격된 고정부 및 상기 측정부와 고정부를 연결하는 적어도 하나 이상의 지지부를 포함하는 센서층; 및상기 센서층의 아래에 위치하여 상기 고정부를 지지하고, 상기 측정부 및 지지부에 대응하는 위치에 캐비티가 형성된 기판을 포함하는 단열구조를 갖는 가스센서
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청구항 1에 있어서,상기 센서층은상기 기판 상에 형성되고, 상기 측정부, 고정부, 지지부에 공통으로 포함되는 멤브레인;상기 멤브레인 상에 형성되고, 상기 고정부에 패드가 위치하고, 상기 지지부에 연결라인이 위치하며, 상기 측정부에 가열패턴이 위치하는 히터전극; 및상기 멤브레인 상에 형성되고, 상기 고정부에 패드가 위치하고, 상기 지지부에 연결라인이 위치하며, 상기 측정부에 측정패턴이 위치하는 감지전극을 포함하는 단열구조를 갖는 가스센서
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청구항 2에 있어서,상기 센서층은상기 히터전극의 패드와 상기 감지전극의 패드의 상면 또는 하면에 형성되는 보조패드를 더 포함하는 단열구조를 갖는 가스센서
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히터전극에 의해 가열되어 가스를 감지하는 측정부, 상기 측정부에 대하여 이격된 고정부 및 상기 측정부와 고정부를 연결하는 적어도 하나 이상의 지지부를 포함하는 센서층 및 상기 센서층의 아래에 위치하며, 상기 측정부 및 지지부에 대응하는 위치에 캐비티가 형성되고, 상기 고정부를 지지하는 기판을 포함하는 단열구조를 갖는 가스센서가 적어도 둘 이상 형성되며,상기 가스센서들의 상기 히터전극들은 서로 직렬로 연결되는 단열구조를 갖는 가스센서 어레이
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기판 상에 멤브레인을 형성하고, 상기 멤브레인 상에 적어도 하나의 히터전극과 적어도 하나의 감지전극을 형성하여 센서층을 형성하는 단계;상기 히터전극에 의해 가열되는 영역에 대응하는 상기 기판의 일부에 캐비티를 형성하는 단계; 및상기 센서층에서 상기 캐비티가 형성된 영역에 대응하되 상기 히터전극과 감지전극이 형성되지 않은 영역을 제거하여, 측정부와 지지부를 형성하는 단계를 포함하는 단열구조를 갖는 가스센서 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 센서층을 형성하는 단계는기판 상에 멤브레인을 형성하고, 상기 멤브레인 상에 적어도 하나의 히터전극과 적어도 하나의 감지전극을 형성하되, 상기 히터전극의 패드와 상기 감지전극의 패드의 상면 또는 하면에 보조패드를 더 형성하는 단열구조를 갖는 가스센서 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 센서층을 형성하는 단계는기판 상에 멤브레인을 형성하고, 상기 멤브레인 상에 적어도 둘 이상의 히터전극과 적어도 둘 이상의 감지전극을 형성하되, 상기 적어도 둘 이상의 히터전극은 직렬로 연결되도록 형성하는 단열구조를 갖는 가스센서 제조방법
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