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멤브레인층이 상면에 형성된 베이스 기판;상기 베이스 기판의 상기 멤브레인층의 상면 중앙부를 중심으로 십자 모양으로 형성된 공통 마디;상기 공통 마디의 중심을 기준으로 제1 사분면 영역에 형성되고 상기 공통 마디와 일단이 전기적으로 연결된 제1 히터전극패턴, 상기 제1 히터전극패턴과 절연되되 상기 제1 히터전극패턴의 상면에 형성된 제1 감지전극패턴, 및 상기 제1 감지전극패턴의 상면에 상기 제1 감지전극패턴과 전기적으로 연결되도록 형성된 제1 감지물질을 포함하는 제1 가스센싱부;상기 공통 마디의 중심을 기준으로 제2 사분면 영역에 형성되고 상기 공통 마디와 일단이 전기적으로 연결된 제2 히터전극패턴, 상기 제2 히터전극패턴과 절연되되 상기 제2 히터전극패턴의 상면에 형성된 제2 감지전극패턴, 및 상기 제2 감지전극패턴의 상면에 상기 제2 감지전극패턴과 전기적으로 연결되도록 형성된 제2 감지물질을 포함하는 제2 가스센싱부;상기 공통 마디의 중심을 기준으로 제3 사분면 영역에 형성되고 상기 공통 마디와 일단이 전기적으로 연결된 제3 히터전극패턴, 상기 제3 히터전극패턴과 절연되되 상기 제3 히터전극패턴의 상면에 형성된 제3 감지전극패턴, 및 상기 제3 감지전극패턴의 상면에 상기 제3 감지전극패턴과 전기적으로 연결되도록 형성된 제3 감지물질을 포함하는 제3 가스센싱부; 및상기 공통 마디의 중심을 기준으로 제4 사분면 영역에 형성되고 상기 공통 마디와 일단이 전기적으로 연결된 제4 히터전극패턴, 상기 제4 히터전극패턴과 절연되되 상기 제4 히터전극패턴의 상면에 형성된 제4 감지전극패턴, 및 상기 제4 감지전극패턴의 상면에 상기 제4 감지전극패턴과 전기적으로 연결되도록 형성된 제4 감지물질을 포함하는 제4 가스센싱부;를 포함하며,상기 공통 마디는 상기 제1 히터전극패턴 내지 상기 제4 히터전극패턴과 전기적으로 연결되어 그라운드로서 기능하는 마이크로 가스센서 어레이
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청구항 1에 있어서상기 제1 감지전극패턴 내지 상기 제4 감지전극패턴의 하면에 위치하되, 상기 제1 가스센싱부 내지 상기 제4 가스센싱부의 상기 제1 히터전극패턴 내지 상기 제4 히터전극패턴, 및 상기 공통 마디를 덮는 절연층;을 포함하며,상기 멤브레인층의 둘레에 형성된 제1 히터전극패드 내지 제4 히터전극패드, 제1 감지전극패드 내지 제4 감지전극패드, 및 상기 공통 마디를 상기 멤브레인층 상에 지지하는 영역의 상기 베이스 기판의 두께가 균일하게 유지되도록 캐비티를 형성하는 마이크로 가스센서 어레이
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(A) 베이스 기판의 상면에 멤브레인층을 형성하는 단계;(B) 상기 베이스 기판의 상기 멤브레인층의 상면 중앙부를 중심으로 십자 모양의 공통 마디, 상기 공통 마디의 중심을 기준으로 제1 사분면 영역에 제1 히터전극패턴, 상기 공통 마디의 중심을 기준으로 제2 사분면 영역에 제2 히터전극패턴, 상기 공통 마디의 중심을 기준으로 제3 사분면 영역에 제3 히터전극패턴, 상기 공통 마디의 중심을 기준으로 제4 사분면 영역에 제4 히터전극패턴, 상기 제1 히터전극패턴 내지 상기 제4 히터전극패턴 각각의 타단이 전기적으로 연결된 제1 히터전극패드 내지 제4 히터전극패드, 및 제1 감지전극패드 내지 제4 감지전극패드를 동시에 형성하는 단계;를 포함하는 마이크로 가스센서 어레이 제조방법
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청구항 3에 있어서상기 (B) 단계 이후에(C) 상기 제1 히터전극패턴 내지 상기 제4 히터전극패턴, 및 상기 공통 마디를 덮도록 상기 제1 히터전극패턴 내지 상기 제4 히터전극패턴, 및 상기 공통 마디의 상면에 절연층을 형성하는 단계;(D) 상기 제1 히터전극패턴 내지 상기 제4 히터전극패턴의 상면에 각각 제1 감지전극패턴 내지 제4 감지전극패턴을 형성함과 동시에, 상기 제1 감지전극패턴 내지 상기 제4 감지전극패턴의 양단에 각각 전기적으로 연결하는 단계;(E) 상기 제1 감지전극패턴 내지 상기 제4 감지전극패턴의 상면에 상기 제1 감지전극패턴 내지 상기 제4 감지전극패턴과 전기적으로 연결되도록 감지물질을 형성하는 단계; 및(F) 상기 멤브레인층의 둘레에 형성된 제1 히터전극패드 내지 제4 히터전극패드, 상기 제1 감지전극패드 내지 상기 제4 감지전극패드, 및 상기 공통 마디를 상기 멤브레인층 상에 지지하는 영역의 상기 베이스 기판의 두께가 균일하게 유지되도록 캐비티를 형성하는 단계;를 더 포함하는 마이크로 가스센서 어레이 제조방법
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