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레이저광을 반사하여 방향을 전환시키는 반사미러와, 상기 반사미러의 하부에 위치되어 상기 레이저광이 가공 대상물의 가공 지점에 모아지게 하는 대물렌즈와, 상기 반사미러의 상부에 위치된 대안렌즈를 포함하는 동축광학부; 상기 대물렌즈, 반사미러 및 대안렌즈를 통과하여 입사되는 상기 가공 지점의 영상을 취득하는 영상취득부; 상기 대물렌즈에 의해 모아진 레이저광의 초점이 상기 가공 지점에 맞도록 상기 동축광학부 및 영상취득부의 높이를 조절하는 높이조절부; 상기 동축광학부에 대한 상기 영상취득부의 상대거리를 조절하여 상기 영상취득부의 초점을 조절하는 초점거리조절부; 상기 가공 지점으로 조명광의 밝기를 조절하여 조사하는 조명수단 및 상기 조명수단의 높이 조절을 통해 상기 조명광의 조명상태를 조절하는 광높이조절수단을 포함하는 조명광조사부; 및 상기 영상취득부에서 취득한 영상의 밝기가 균일하도록 보정하는 영상보정부;를 포함하는 동축 레이저 가공장치를 이용한 동축 레이저 가공방법으로서, 상기 동축광학부에 대한 상기 영상취득부의 상대거리를 단계적으로 조절하는 단계; 조절된 각 단계에 대한 가공 지점의 영상을 취득하여 밝기가 균일하도록 보정하되, 취득한 영상의 가장 밝은 영역을 광 중심으로 결정하고, 상기 결정된 광 중심을 기준으로 반지름 방향 거리에 따른 보정 계수를 연산하여 적용함에 따라 취득한 영상의 밝기를 균일화하여 보정하는 단계; 및 조절된 각 단계의 보정된 영상에 대해 지수값(index)을 산출하여 최대값에 대응하는 상기 동축광학부와 상기 영상취득부의 상대거리를 최적거리로 결정하는 단계;를 포함하는 동축 레이저 가공방법
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레이저광을 반사하여 방향을 전환시키는 반사미러와, 상기 반사미러의 하부에 위치되어 상기 레이저광이 가공 대상물의 가공 지점에 모아지게 하는 대물렌즈와, 상기 반사미러의 상부에 위치된 대안렌즈를 포함하는 동축광학부; 상기 대물렌즈, 반사미러 및 대안렌즈를 통과하여 입사되는 상기 가공 지점의 영상을 취득하는 영상취득부; 상기 대물렌즈에 의해 모아진 레이저광의 초점이 상기 가공 지점에 맞도록 상기 동축광학부 및 영상취득부의 높이를 조절하는 높이조절부; 상기 동축광학부에 대한 상기 영상취득부의 상대거리를 조절하여 상기 영상취득부의 초점을 조절하는 초점거리조절부; 상기 가공 지점으로 조명광의 밝기를 조절하여 조사하는 조명수단 및 상기 조명수단의 높이 조절을 통해 상기 조명광의 조명상태를 조절하는 광높이조절수단을 포함하는 조명광조사부; 및 상기 영상취득부에서 취득한 영상의 밝기가 균일하도록 보정하는 영상보정부;를 포함하는 동축 레이저 가공장치를 이용한 동축 레이저 가공방법으로서, 상기 조명수단의 밝기를 단계적으로 조절하는 단계; 조절된 각 단계에 대한 가공 지점의 영상을 취득하여 밝기가 균일하도록 보정하되, 취득한 영상의 가장 밝은 영역을 광 중심으로 결정하고, 상기 결정된 광 중심을 기준으로 반지름 방향 거리에 따른 보정 계수를 연산하여 적용함에 따라 취득한 영상의 밝기를 균일화하여 보정하는 단계; 및 조절된 각 단계의 보정된 영상에 대해 지수값(index)을 산출하여 최대값에 대응하는 조명밝기를 최적밝기로 결정하는 단계;를 포함하는 동축 레이저 가공방법
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제14항에 있어서, 상기 동축광학부에 대한 상기 영상취득부의 상대거리는, 상기 동축광학부의 심도의 1/5 내지 1/20 에 해당하는 거리를 한 단계로 하도록 구성된 것은 특징으로 하는 동축 레이저 가공방법
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제15항에 있어서, 상기 조명수단의 밝기는, 상기 조명수단의 조절가능한 밝기범위의 1/50 내지 1/200 에 해당하는 밝기를 한 단계로 하도록 구성된 것은 특징으로 하는 동축 레이저 가공방법
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제15항에 있어서, 상기 조명수단의 조명광은, 적어도 레드(R), 그린(G), 블루(B), 화이트(W) 중 어느 하나의 색으로 변경이 가능한 것을 특징으로 하는 동축 레이저 가공방법
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제14항 또는 제15항에 있어서, 상기 지수값은 명도(Brightness), 대비도(Contrast), 분산도(Variance), 제곱구배(square gradient), 브렌너구배(brenner gradient), 테넨바움구배(tenenbaum gradient), 라플라시안구배(energy laplacian), 분포엔트로피(histogram entropy), 정규분산도(normalized variance), 미분상관도(derivative-based correlation), 자기상관도(auto-correction) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 동축 레이저 가공방법
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제14항 또는 제15항에 있어서, 상기 가공 대상물은 인쇄전자(Printed Electronics)이고, 상기 레이저광은 상기 인쇄전자의 패턴 중 결함이 발생한 지점을 가공하여 수정하는 것을 특징으로 하는 동축 레이저 가공방법
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