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공정 모니터링 장치에 의해 수행되는 공정 모니터링 방법으로서,(a) 공정을 통해 측정되는 시계열 데이터를 수집하는 단계;(b) 임의의 중단점(break point) 에 대하여(여기서, 는 기 설정된 알파벳 크기) 상기 시계열 데이터를 심볼화하여 심볼화된 데이터를 생성하는 단계;(c) 상기 심볼화된 데이터와 상기 시계열 데이터간에 MSE(mean square error)를 계산하는 단계;(d) 상기 계산된 MSE가 가장 작을 때의 심볼화된 데이터에 대한 중단점을 최적 중단점으로 결정하는 단계; 및(e) 상기 심볼화된 데이터 중에서 상기 최적 중단점에서의 심볼화된 데이터에 대하여 RTC(real-time contrast) 기법을 적용하여 상기 공정의 이상여부를 탐지하는 단계를 포함하는 공정 모니터링 방법
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제1항에 있어서,상기 (b) 단계는 시간축을 집계(aggregate)하지 않고, 상기 시계열 데이터의 데이터 값을 심볼화하는 공정 모니터링 방법
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제1항에 있어서,상기 (b) 단계는 상기 임의의 중단점에 의해 나누어진 각 시계열 데이터 영역에 대하여, 상기 각 시계열 데이터 영역의 평균값을 계산하여 상기 시계열 데이터를 심볼화하는 공정 모니터링 방법
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제3항에 있어서,상기 각 시계열 데이터 영역의 평균값은 아래의 수학식 1에 의해 계산되는 공정 모니터링 방법
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제1항에 있어서,상기 기 설정된 알파벳 크기는 아래의 수학식 2에 의해 정의되는 공정 모니터링 방법
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제1항에 있어서,상기 (e) 단계는(e-1) 상기 심볼화된 데이터와 대조(contrast) 데이터를 랜덤 포레스트(random forest) 분류기를 이용하여 학습하고, 의사 결정 트리(Decision Trees)의 예측치를 생성하는 단계;(e-2) 상기 예측치를 이용하여 분류 확률을 계산하는 단계;(e-3) 상기 분류확률을 이용하여 모니터링 통계량을 계산하는 단계; 및(e-4) 상기 모니터링 통계량이 기 설정된 관리 한계선(control limit)을 벗어나는 경우 이상상태인 것으로 탐지하는 단계를 포함하는 공정 모니터링 방법
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제6항에 있어서,상기 (e) 단계는(e-5) 이상상태인 것으로 탐지되는 경우, 변수 중요도(variable importance)를 이용하여 이상의 원인을 진단하는 단계를 더 포함하는 공정 모니터링 방법
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공정을 통해 측정되는 시계열 데이터를 수집하고, 임의의 중단점(break point) 에 대하여(여기서, 는 기 설정된 알파벳 크기) 상기 시계열 데이터를 심볼화하여 심볼화된 데이터를 생성하고, 상기 심볼화된 데이터와 상기 시계열 데이터간에 MSE(mean square error)를 계산하여 상기 계산된 MSE가 가장 작을 때의 심볼화된 데이터에 대한 중단점을 최적 중단점으로 결정하는 데이터 가공부; 및상기 심볼화된 데이터 중에서 상기 최적 중단점에서의 심볼화된 데이터에 대하여 RTC(real-time contrast) 기법을 적용하여 상기 공정의 이상여부를 탐지하는 이상 탐지부를 포함하는 공정 모니터링 장치
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제8항에 있어서,상기 데이터 가공부는 시간축을 집계(aggregate)하지 않고, 상기 시계열 데이터의 데이터 값을 심볼화하고,상기 임의의 중단점에 의해 나누어진 각 시계열 데이터 영역에 대하여, 상기 각 시계열 데이터 영역의 평균값을 계산하여 상기 시계열 데이터를 심볼화하고,상기 각 시계열 데이터 영역의 평균값은 아래의 수학식 1에 의해 계산되는 공정 모니터링 장치
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제8항에 있어서,상기 데이터 가공부는상기 기 설정된 알파벳 크기를 아래의 수학식 2에 의해 결정하는 알파벳 크기 결정부를 더 포함하는 공정 모니터링 장치
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