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수은 이온을 검출하기 위한 장치로서,지지부에 고정되는 고정단과 상기 고정단으로부터 연장 형성되어 소정의 변위를 발생시키는 자유단을 구비하는 몸체를 포함하는 캔틸레버 구조체;상기 수은 이온과 결합 가능하고, 상기 몸체의 일면에 결합되어 상기 캔틸레버 구조체에 고정화되는 프로브 부재; 및상기 수은 이온에 결합되어 검출하고자 하는 상기 수은 이온의 질량을 증폭시키고, 상기 수은 이온과 함께 상기 프로브 부재에 결합되는 질량 증폭 부재;를 포함하며,상기 캔틸레버 구조체는 반도체 공정에 의해 웨이퍼 상에 형성되는 멤스 구조체로서, 상기 수은 이온이 포함되는 유체가 주입되는 주입구와, 상기 주입구로부터 유동되는 유체와 상기 질량 증폭 부재로부터 유동되는 유체가 혼합되어 캔틸레버 구조체로 이동하는 유동로가 웨이퍼 상에 형성되는 수은 이온 검출 장치
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제 1 항에 있어서,상기 몸체의 일면은 금 입자를 포함하는 코팅층을 포함하고,상기 코팅층 중 적어도 일부가 상기 프로브 부재와 결합되는 수은 이온 검출 장치
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제 2 항에 있어서,상기 프로브 부재는 상기 금 입자와 결합되는 싸이올기를 복수개 구비하는 단일 가닥의 프로브 DNA를 포함하는 수은 이온 검출 장치
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제 3 항에 있어서,상기 프로브 DNA는 복수개의 티민 염기를 포함하는 수은 이온 검출 장치
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제 1 항에 있어서,상기 질량 증폭 부재는 금 나노 입자 및 금 나노 입자와 결합될 수 있는 싸이올기를 복수개 구비하는 단일 가닥의 증폭 DNA를 포함하는 수은 이온 검출 장치
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제 3 항에 있어서,상기 질량 증폭 부재는 금 나노 입자 및 금 나노 입자와 결합될 수 있는 싸이올기를 복수개 구비하는 단일 가닥의 증폭 DNA를 포함하고,상기 증폭 DNA와 상기 프로브 DNA는 서로 상보적으로 결합 가능한 염기 서열을 포함하되, 적어도 일부의 염기 서열이 서로 동일하여 염기 서열 미스매치 구간이 형성되는 수은 이온 검출 장치
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제 6 항에 있어서,상기 서로 동일한 일부의 염기는 동일한 염기는 티민인 수은 이온 검출 장치
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제 1 항에 있어서,상기 캔틸레버의 공진 주파수를 감지하기 위한 센서를 더 포함하는 수은 이온 검출 장치
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