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광섬유에 연결되어 광을 출력하는 레이저 다이오드와, 구동부를 포함하는 공진기; 및상기 공진기의 출력단에 광학적으로 연결되고 상기 구동부에 전기적으로 연결되어, 상기 공진기에서 생성되는 펄스의 반복률 주파수를 감지하고 상기 구동부의 작동을 제어하는 제어기;를 포함하며,상기 구동부는, 서로 구동 범위가 다른 복수의 구동 수단을 이용하여 상기 공진기의 길이를 조절하도록 구성되되,피에조 소자를 포함하는 미동 구동부; 및 상기 미동 구동부보다 구동 범위가 큰 조동 구동부;를 포함하고,상기 제어기는,상기 공진기의 출력단에 구비되어 상기 공진기에서 생성되는 펄스의 반복률 주파수를 감지하는 광 검출기;기준 주파수를 생성하는 국부 발진기;상기 기준 주파수와 상기 감지된 반복률 주파수와의 오차를 보상하도록 미동 제어 신호를 상기 미동 구동부로 전달하는 미동 제어부;상기 미동 제어부에 연결되어, 상기 미동 제어 신호의 값에 따라 조동 제어 신호를 상기 조동 구동부로 전달하는 조동 제어부; 및상기 국부 발진기, 상기 미동 구동부 및 상기 조동 구동부와 연결되며, 상기 기준 주파수, 상기 미동 제어 신호 및 상기 조동 제어 신호를 연산하는 연산부;를 포함하는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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제 1 항에 있어서,상기 조동 구동부는 상기 광섬유와 열전달이 이루어지는 열전 소자를 포함하는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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제 1 항에 있어서,상기 조동 구동부는,상기 광섬유로부터 외부로 조사된 광을 반사시켜서 상기 광섬유로 입사시키는 미러를 지지하며 상기 외부로 조사된 광의 경로 길이가 변하도록 상기 미러를 이동시키는 선형 스테이지;를 포함하는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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제 1 항에 있이서,상기 미동 구동부는, 상기 피에조 소자를 포함하는 피에조 액츄에이터를 포함하고,상기 피에조 액츄에이터는, 상기 광섬유로부터 외부로 조사된 광을 반사시켜서 상기 광섬유로 입사시키는 미러를 지지하며 상기 외부로 조사된 광의 경로 길이가 변하도록 상기 미러를 이동시키는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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제 5 항에 있어서,상기 조동 구동부는, 상기 피에조 액츄에이터를 지지하며 상기 피에조 액츄에이터를 이동시키는 선형 스테이지를 포함하는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광섬유는 상기 피에조 소자에 감겨져 있으며,상기 피에조 소자가 변형될 때 상기 피에조 소자에 감겨진 광섬유의 길이가 변형되는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 미동 구동부는 상기 조동 구동부보다 반응 속도가 빠른, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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제 1 항에 있어서,상기 미동 구동부는 실시간으로 구동되고,상기 조동 구동부는 선택적으로 온 또는 오프되는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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제 1 항에 있어서,상기 구동부는,상기 레이저 다이오드의 광량을 조절하는 미동 구동부; 및 상기 미동 구동부보다 구동 범위가 큰 조동 구동부;를 포함하는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 장치
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광을 출력하는 레이저 다이오드가 구비된 공진기에서 생성되는 펄스의 반복률 주파수를 제어하는 방법으로서,상기 공진기에서 생성되는 펄스의 반복률 주파수를 감지하는 단계; 기준 주파수와 상기 감지된 반복률 주파수와의 오차를 연산하는 단계; 및상기 공진기의 길이를 조절하여 상기 오차를 보상하는 단계;를 포함하며,상기 오차를 보상하는 단계에서, 상기 오차가 소정 범위를 벗어날 때 상기 공진기의 길이를 이중으로 조절하고,상기 오차를 연산하는 단계는, 상기 기준 주파수와 상기 감지된 반복률 주파수를 혼합하여 오차 주파수를 생성하는 단계; 및상기 오차 주파수에서 고주파수 성분을 제거하는 단계;를 포함하는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 방법
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제 12 항에 있어서,상기 오차를 보상하는 단계에서, 제 1 구동 범위를 가지는 미동 구동 장치를 작동시켜서 상기 공진기의 길이를 조절하되,상기 오차가 소정 범위를 벗어난 경우 상기 제 1 구동 범위보다 큰 제 2 구동 범위를 가지는 조동 구동 장치를 상기 미동 구동 장치와 함께 작동시켜서 상기 공진기의 길이를 이중으로 조절하는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 방법
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제 13 항에 있어서,상기 소정 범위를 벗어난 오차가 목표값에 도달하면 상기 조동 구동 장치의 작동을 중단시키는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 방법
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제 13 항에 있어서,상기 오차를 보상하는 단계는,상기 고주파수 성분이 제거된 오차 주파수를 제어 신호로 변환하여 상기 미동 구동 장치에 전달하는 단계; 및상기 제어 신호를 모니터링 하여 상기 조동 구동 장치의 작동 여부를 판단하는 단계;를 포함하는, 광섬유 레이저의 반복률 주파수 제어 방법
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