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전이금속 디칼코게나이드 박막의 상전이 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2019000613
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 TMD 박막의 상전이 방법 및 장치에 관한 것으로서, 기판 상에 셀레늄(Se) 또는 텔루륨(Te) 중 어느 하나를 포함하는 TMD 박막을 형성하는 단계; 10 mTorr ~ 100 mTorr 사이의 압력에서 플라즈마를 발생하는 단계; 상기 플라즈마로부터 상기 TMD 박막에 가속 이온을 충돌시키는 단계;를 포함하고, 상기 가속 이온의 에너지는 상기 TMD 박막의 상전이 에너지보다 큰 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/285 (2006.01.01) C23C 16/56 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01)
CPC H01L 21/28568(2013.01) H01L 21/28568(2013.01) H01L 21/28568(2013.01) H01L 21/28568(2013.01)
출원번호/일자 1020170096593 (2017.07.29)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1974165-0000 (2019.04.24)
공개번호/일자 10-2019-0012892 (2019.02.11) 문서열기
공고번호/일자 (20190430) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 대전광역시 유성구
2 이효창 대한민국 세종특별자치시 달빛*로 *
3 강상우 대한민국 대전광역시 서구
4 김정형 대한민국 대전광역시 유성구
5 성대진 대한민국 충청남도 공주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고종욱 대한민국 대전광역시 서구 둔산중로 ***, **층 ****호 (둔산동, 주은오피스텔)(고유특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0733485-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0138958-00
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0030902-11
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-0158041-36
9 면담 결과 기록서
 2019.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0020959-02
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.03.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0261034-11
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-0261024-54
12 등록결정서
Decision to grant		 2019.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0289789-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 셀레늄(Se) 또는 텔루륨(Te) 중 어느 하나를 포함하는 TMD 박막을 형성하는 단계;10 mTorr ~ 100 mTorr 사이의 압력에서 플라즈마를 발생하는 단계;상기 플라즈마로부터 상기 TMD 박막에 가속 이온을 충돌시키는 단계;를 포함하고, 상기 가속 이온의 에너지는 상기 TMD 박막의 상전이 에너지보다 큰 것을 특징으로 하는 TMD 박막의 상전이 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 가속 이온을 충돌시키는 단계 이후에 TMD 박막의 상전이 여부를 검사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 TMD 박막의 상전이 방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 TMD 박막의 상전이 여부를 검사하는 단계에서 상기 TMD 박막의 상전이가 수행되지 아니한 경우 상기 가속 이온을 충돌시키는 단계와 상기 TMD 박막의 상전이 여부를 검사하는 단계를 반복적으로 더 수행하는 것을 특징으로 하는 TMD 박막의 상전이 방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 TMD 박막은 단일층의 2차원 물질인 것을 특징으로 하는 TMD 박막의 상전이 방법
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법을 수행하는 것을 특징으로 하는 TMD 박막의 상전이 장치
6 6
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법에 의하여 제조되는 것을 특징으로 하는 TMD 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기본사업 한국표준과학연구원 기관고유사업 3-3-1 차세대 초박막 공정용 측정기술 개발