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기판을 지지하고, 상부 방향으로 칼코겐화 반응이 일어나는 반응 영역을 형성하는 스테이지;일 면이 상기 반응 영역을 마주하도록 배치된 내벽;상기 반응 영역 상에 배치된 칼코겐부;상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 가열부; 및상기 내벽의 타면 상에 배치된 버퍼 영역을 포함하고, 상기 칼코겐부는 몸체, 상기 반응 영역으로 상기 몸체의 일부가 연통되어 형성된 가스 통로 및 상기 몸체의 일부에 배치되고 칼코겐 물질을 담지하는 칼코겐 담지부를 포함하고,상기 칼코겐부는 상기 내벽을 통해 상기 반응 영역 및 버퍼 영역을 이동할 수 있는 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 칼코겐 담지부는 상기 가스 통로의 적어도 일부를 둘러싸도록 배치된 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 칼코겐 담지부는 상기 몸체의 일부가 함몰된 형상으로 배치된 홈 또는 트렌치인 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 몸체는 제1 방향으로 연장되어 형성된 복수의 제1 부를 포함하고, 상기 가스 통로는 상기 제1 부 사이에 배치되고, 상기 칼코겐 담지부는 상기 제1 부 일부가 함몰된 형상으로 배치된 트랜치인 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 몸체는 제1 방향으로 연장되어 형성된 복수의 제1 부 및 제2 방향으로 연장되어 형성된 복수의 제2 부가 교차 배치하여 격자 형상을 이루고, 상기 가스 통로는 상기 제1 부 및 제2 부에 의해 형성된 격자 형상 사이에 배치되고, 상기 칼코겐 담지부는 상기 제1 부 및 제2 부의 일부가 함몰된 형상으로 배치된 트랜치인 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 칼코겐 담지부는 상기 몸체 상에 일정한 간격을 두고 배치된 홈인 칼코겐화 열처리 장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 칼코겐부의 몸체는 상기 내벽의 일면에 수직한 방향으로 연장되어 형성된 복수의 제1 부를 포함하고, 상기 가스 통로는 상기 제1 부 사이에 배치되고, 상기 칼코겐 담지부는 상기 제1 부 일부가 함몰된 형상으로 배치되고, 상기 몸체가 이동하는 방향을 특정하는 가이드바를 더 포함하고, 상기 칼코겐부는 상기 가이드바를 따라 상기 반응 영역 및 버퍼 영역을 이동하는 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 스테이지를 상기 반응 영역에 수평한 방향으로 이동하는 스테이지 이동부를 더 포함하는 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 가열부는 상기 반응 영역을 25℃ 내지 600℃으로 가열하는 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 반응 영역의 압력을 조절하는 압력부를 더 포함하고,상기 압력부는 상기 반응 영역의 압력을 1 Torr 내지 1520 Torr로 제어하는 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 칼코겐부를 상기 반응 영역에 수평한 방향으로 이동하는 칼코겐부 이동부를 더 포함하는 칼코겐화 열처리 장치
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제4항에 있어서,상기 칼코겐 담지부 중 제1 방향으로의 길이는 상기 스테이지 상에 기판이 배치되는 영역 중 제1 방향의 길이 보다 긴 칼코겐화 열처리 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 부는 1 내지 30개인 칼코겐화 열처리 장치
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제8항에 있어서,상기 칼코겐 담지부 중 제1 방향으로의 길이는 상기 스테이지 상에 기판이 배치되는 영역 중 제1 방향의 길이 보다 긴 칼코겐화 열처리 장치
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제8항에 있어서,상기 제1 부는 1 내지 30개인 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 버퍼 영역의 온도를 제어하는 버퍼 영역 온도제어부를 더 포함하는 칼코겐화 열처리 장치
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제17항에 있어서,상기 버퍼 영역 온도제어부는 상기 버퍼 영역의 온도를 25℃ 내지 300℃로 제어하는 칼코겐화 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 칼코겐부의 칼코겐 담지부 및 외부의 칼코겐 공급탱크와 연결되어 상기 칼코겐 공급탱크의 칼코겐 물질을 상기 칼코겐 담지부로 이동하는 칼코겐 연결라인; 및상기 칼코겐 연결라인을 가열하는 칼코겐 연결라인 가열부;를 더 포함하는 칼코겐화 열처리 장치
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제19항에 있어서, 상기 칼코겐 연결라인 가열부는 상기 칼코겐 연결라인을 200 내지 400℃로 가열하는 칼코겐화 열처리 장치
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몸체 및 상기 몸체 상에 배치되어 칼코겐 물질을 담지하는 칼코겐 담지부를 포함하는 칼코겐부;상기 칼코겐부 상에 배치되고, 기판의 일면을 지지하고, 상기 칼코겐부 및 기판의 타면 사이에 반응 영역을 형성하는 스테이지;제1 면이 상기 반응 영역을 마주하도록 배치된 내벽;상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 가열부; 및상기 내벽의 타면 상에 배치된 버퍼 영역;을 포함하고,상기 칼코겐부는 상기 내벽을 통해 상기 반응 영역 및 버퍼 영역을 이동할 수 있는 칼코겐화 열처리 장치
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기판을 지지하고, 상부 방향으로 칼코겐화 반응이 일어나는 반응 영역을 형성하는 스테이지; 일면이 상기 반응 영역을 마주하도록 배치된 내벽; 상기 반응 영역 상에 배치된 칼코겐부; 상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 가열부; 및 상기 스테이지를 상기 반응 영역의 제1 위치 및 제2 위치로 이동하는 이동부;를 포함하고, 상기 칼코겐부는 몸체, 상기 반응 영역으로 상기 몸체의 일부가 연통되어 형성된 가스 통로 및 상기 몸체의 일부에 배치되고 칼코겐 물질을 담지하는 복수의 칼코겐 담지부를 포함하는 칼코겐화 열처리 장치를 이용한 칼코겐화 열처리 방법에 있어서,상기 스테이지 상에 기판을 배치하는 단계;상기 복수의 칼코겐 담지부 중에서 상기 제1 위치 상에 배치된 칼코겐 담지부에 Se를 담지하는 단계;상기 복수의 칼코겐 담지부 중에서 상기 제2 위치 상에 배치된 칼코겐 담지부에 S 또는 SexSy (x,y =1~8)를 담지하는 단계;가열부를 이용하여 상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 단계; 및상기 기판이 배치된 스테이지를 상기 반응 영역 내에서 제1 위치에서 제2 위치로 이동하는 단계;를 포함하는 칼코겐화 열처리 장치를 이용한 칼코겐화 열처리 방법
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기판을 지지하고, 상부 방향으로 칼코겐화 반응이 일어나는 반응 영역을 형성하는 스테이지; 일면이 상기 반응 영역을 마주하도록 배치된 내벽; 상기 반응 영역 상에 배치된 칼코겐부; 상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 가열부; 상기 스테이지를 상기 반응 영역의 제1 위치 및 제2 위치로 이동하는 이동부; 상기 내벽의 타면 상에 배치된 버퍼영역;를 포함하고, 상기 칼코겐부는 몸체, 상기 반응 영역으로 상기 몸체의 일부가 연통되어 형성된 가스 통로 및 상기 몸체의 일부에 배치되고 칼코겐 물질을 담지하는 복수의 칼코겐 담지부를 포함하고, 상기 칼코겐부 몸체를 상기 반응 영역 및 버퍼 영역으로 이동하는 이동 수단을 더 포함하는 칼코겐화 열처리 장치를 이용한 칼코겐화 열처리 방법에 있어서,상기 스테이지 상에 기판을 배치하는 단계;상기 복수의 칼코겐 담지부에 Se, 및 S 또는 SexSy (x,y =1~8)를 구별하여 담지하는 단계;상기 가열부를 이용하여 상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 단계; 상기 칼코겐 담지부 중에서 Se가 담지된 칼코겐 담지부를 상기 반응 영역으로 이동하는 단계;상기 반응 영역의 가스를 제거하는 단계; 및상기 칼코겐 담지부 중에서 S 또는 SexSy (x,y =1~8)가 담지된 칼코겐 담지부를 상기 반응 영역으로 이동하는 단계;를 포함하는 칼코겐화 열처리 장치를 이용한 칼코겐화 열처리 방법
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