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기판 상에 위치하며, 가해지는 압력에 따라 변형되어 기공의 크기가 마이크로미터 스케일에서 나노미터 스케일로 변하는 다공성 구조물;상기 기판 상에 접합되며, 상기 기판과 마주하는 일면에 상기 다공성 구조물을 가로지르는 마이크로 채널을 형성하고, 상기 다공성 구조물의 상측에 대응하는 탄성부를 포함하는 채널 기판; 및상기 탄성부와 상기 다공성 구조물을 가압하기 위한 가압 부재를 포함하며,상기 마이크로 채널의 높이는 상기 다공성 구조물의 두께보다 크고,상기 탄성부와 상기 다공성 구조물은 변형 정도에 따라 마이크로 채널 모드와 마이크로 다공성 채널 모드 및 나노 다공성 채널 모드 중 어느 하나를 선택적으로 구현하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로 채널 모드에서 상기 마이크로 채널이 채널로 작용하고,상기 마이크로 다공성 채널 모드에서 상기 다공성 구조물의 상기 마이크로미터 스케일 기공이 채널로 작용하며,상기 나노 다공성 채널 모드에서 상기 다공성 구조물의 상기 나노미터 스케일 기공이 채널로 작용하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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제2항에 있어서,상기 가압 부재는 모터와, 모터에 의해 작동하며 하강 높이가 조절되는 가압판을 포함하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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제2항에 있어서,상기 가압 부재는,상기 채널 기판 상에 접합되며, 상기 채널 기판을 향한 일면에 상기 탄성부를 가로지르는 공기 채널을 형성하는 공기 밸브 기판; 및상기 공기 채널로 공기를 주입하여 상기 탄성부에 공압을 제공하는 공기 펌프를 포함하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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제4항에 있어서,상기 공기 밸브 기판은 상기 탄성부보다 탄성이 낮은 탄성체로 제작되는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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기판 상에 위치하며, 가해지는 압력에 따라 변형되어 기공의 크기가 마이크로미터 스케일에서 나노미터 스케일로 변하는 다공성 구조물;상기 기판 상에 접합되며, 상기 기판과 마주하는 일면에 상기 다공성 구조물을 가로지르는 마이크로 채널을 형성하고, 상기 다공성 구조물의 상측에 대응하는 탄성부를 포함하는 채널 기판; 및상기 탄성부와 상기 다공성 구조물에 균일 압력과 비대칭 압력 중 어느 하나를 인가하는 가압 부재를 포함하며,상기 탄성부와 상기 다공성 구조물이 상기 비대칭 압력을 인가받을 때 상기 다공성 구조물이 마이크로 다공성 채널부와 나노 다공성 채널부를 나란히 형성하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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7
제6항에 있어서,상기 비대칭 압력은 유체가 유입되는 입구측과 유체가 배출되는 출구측에 서로 다른 압력이 가해지는 것인 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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8
제7항에 있어서,상기 마이크로 다공성 채널부는 압력이 상대적으로 낮은 측에 위치하고,상기 나노 다공성 채널부는 압력이 상대적으로 높은 측에 위치하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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9
제7항에 있어서,상기 가압 부재는 모터와, 모터에 의해 작동하며 하강 높이와 기울기가 동시에 조절되는 가압판을 포함하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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10
제7항에 있어서,상기 마이크로 채널의 높이는 상기 다공성 구조물의 두께보다 크고,상기 탄성부와 상기 다공성 구조물이 상기 균일 압력을 인가받을 때 변형 정도에 따라 마이크로 채널 모드와 마이크로 다공성 채널 모드 및 나노 다공성 채널 모드 중 어느 하나를 선택적으로 구현하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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11
제10항에 있어서,상기 마이크로 채널 모드에서 상기 마이크로 채널이 채널로 작용하고,상기 마이크로 다공성 채널 모드에서 상기 다공성 구조물의 상기 마이크로미터 스케일 기공이 채널로 작용하며,상기 나노 다공성 채널 모드에서 상기 다공성 구조물의 상기 나노미터 스케일 기공이 채널로 작용하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다공성 구조물은 고분자 섬유가 서로 엉키면서 적층된 섬유 매트로 구성되며, 전기방사 공정으로 제작되는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 채널은 단면 상에서 둥근 아치 모양으로 형성되는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 채널 기판은 전체가 탄성체로 이루어지는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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15
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 상에서 상기 마이크로 채널의 양측 단부에 대응하여 위치하고, 전류원에 접속되어 상기 마이크로 채널에 채워진 유체의 양측 단부에 직류 전압을 인가하는 한 쌍의 제1 전극을 더 포함하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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제15항에 있어서,상기 기판 상에서 상기 다공성 구조물의 양측 아래에 위치하는 한 쌍의 제2 전극; 및상기 한 쌍의 제2 전극에 접속된 전압 측정기를 더 포함하는 마이크로-나노 전환식 채널 장치
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