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압력센서, 그를 포함하는 압력센서 매트릭스 어레이 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019000916
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 제1 전극과, 상기 제1 전극 상에 위치하고 전도체를 포함하는 전도층과, 상기 전도층 상에 위치하고 상기 전도층과 접하거나 이격되고 고분자 및 상기 고분자에 분산된 반도체를 포함하는 활성층 및 상기 활성층 상에 위치하는 제2 전극을 포함하는 압력센서, 그를 포함하는 압력센서 매트릭스 어레이 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 압력센서 및 압력센서 매트릭스 어레이는, 저항에 대하여 높은 민감도의 반응성을 가진 압력 센서 매트릭스에서 픽셀 간 전기적 누화를 정류 계면을 이용하여 제거하여 고해상도 압력센서 배열을 만들 수 있으며, 또한 공정 비용과 공정의 복잡도를 줄여서 산업적인 적용에 유리한 효과가 있다.
Int. CL H01L 41/047 (2006.01.01) H01L 41/193 (2006.01.01) H01L 41/187 (2006.01.01) H01L 41/27 (2013.01.01) G01L 1/20 (2006.01.01)
CPC H01L 41/047(2013.01) H01L 41/047(2013.01) H01L 41/047(2013.01) H01L 41/047(2013.01) H01L 41/047(2013.01)
출원번호/일자 1020170093970 (2017.07.25)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1982177-0000 (2019.05.20)
공개번호/일자 10-2019-0011431 (2019.02.07) 문서열기
공고번호/일자 (20190524) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정운룡 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 유인상 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-0713597-48
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.04.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0116125-80
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0661458-38
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1177127-43
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-1177101-67
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0150808-19
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2019.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0331437-72
9 법정기간연장승인서
2019.04.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0058102-04
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.04.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0412288-98
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-0412259-74
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0354920-43
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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라인 형상이고, 서로 평행한 다수의 제1 전극을 포함하는 제1 전극층;라인 형상이고, 서로 평행하고, 상기 제1 전극과 교차하는 다수의 제2 전극을 포함하는 제2 전극층; 및상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 위치하고, 상기 제1 전극과 제2 전극이 교차하는 부분에 대응하는 제1 전극 상에 형성되고, 전도체를 포함하는 전도층; 및상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 위치하고, 상기 제1 전극과 제2 전극이 교차하는 부분에 대응하는 제2 전극 상에 형성되고, 상기 전도층과 접하거나 이격하고, 제1 고분자 및 상기 제1 고분자에 분산된 반도체를 포함하는 활성층;을 포함하고,상기 전도층과 상기 활성층이 접하는 계면이 쇼트키 정션에 의한 정류 계면이고,상기 전도층 및 활성층의 표면이 요철, 볼록, 오목, 반원, 타원 및 물결 중에서 선택된 1종 이상의 형상을 포함하고,상기 전도체가 제2 고분자를 포함하는 코어와, 상기 코어 상에 코팅된 전도성 물질을 포함하는 쉘:을 포함하고,상기 제1 고분자가 폴리스티렌(PS)이고, 상기 반도체가 ZnO이고,상기 제2 고분자가 폴리우레탄(PU)이고,상기 전도성 물질이 피닷:피에스에스(PEDOT:PSS)인 것인, 압력센서 매트릭스 어레이
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제1항에 있어서, 상기 제1 전극 및 제2 전극이 각각 독립적으로 금, 은, 구리, 백금, 팔라듐, 니켈, 인듐, 알루미늄, 철, 로듐, 루테늄, 오스뮴, 코발트, 몰리브덴, 아연, 바나듐, 텅스텐, 티탄, 망간, 크롬, 은 나노와이어, 탄소나노튜브 (CNT), 및 금 나노시트로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 압력센서 매트릭스 어레이
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제1항에 있어서,상기 압력센서 매트릭스 어레이가 전도층과 반대 방향으로 제1 전극 상에 유연 기판을 추가로 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 압력센서 매트릭스 어레이
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제12항에 있어서,상기 유연 기판이 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리트리메틸렌테레프탈레이트(PTT), 폴리이미드(PI), 폴리아미드(PA), 폴리우레탄(PU), 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF), 폴리디메틸실록산(PDMS), 폴리부타디엔(PB), 폴리우레탄아크릴레이트(PUA), 스티렌-부타디엔 블록공중합체(SBR), 및 폴리비닐리덴플루오라이드-트리플루오로에틸렌 공중합체(PVDF-TrFE)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 압력센서 매트릭스 어레이
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(a) 제1 기판 상에 위치하고, 라인 형상이고, 서로 평행한 다수의 제1 전극을 포함하는 제1 전극층을 형성하는 단계;(b) 제2 기판 상에 위치하고, 라인 형상이고, 서로 평행하고, 상기 제1 전극과 교차하는 다수의 제2 전극을 포함하는 제2 전극층을 형성하는 단계;(c) 상기 제1 전극과 제2 전극이 교차하는 부분에 대응하는 제1 전극 상에 위치하고, 전도체를 포함하는 전도층을 형성하는 단계;(d) 상기 제1 전극과 제2 전극이 교차하는 부분에 대응하는 제2 전극 상에 위치하고, 제1 고분자 및 상기 제1 고분자에 분산된 반도체를 포함하는 활성층을 형성하는 단계; 및(e) 단계 (c)의 전도층 상에 접하거나 이격하여 마주 보고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 교차하도록 단계 (d)의 활성층을 위치시키는 단계;를 포함하고,상기 전도층과 상기 활성층이 접하는 계면이 쇼트키 정션에 의한 정류 계면이고,상기 전도층 및 활성층의 표면이 요철, 볼록, 오목, 반원, 타원 및 물결 중에서 선택된 1종 이상의 형상을 포함하고,상기 전도체가 제2 고분자를 포함하는 코어와, 상기 코어 상에 코팅된 전도성 물질을 포함하는 쉘:을 포함하고,상기 제1 고분자가 폴리스티렌(PS)이고, 상기 반도체가 ZnO이고,상기 제2 고분자가 폴리우레탄(PU)이고,상기 전도성 물질이 피닷:피에스에스(PEDOT:PSS)인 것인, 압력센서 매트릭스 어레이의 제조방법
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(a) 제1 기판 상에 위치하고, 라인 형상이고, 서로 평행한 다수의 제1 전극을 포함하는 제1 전극층을 형성하는 단계;(b) 제2 기판 상에 위치하고, 라인 형상이고, 서로 평행하고, 상기 제1 전극과 교차하는 다수의 제2 전극을 포함하는 제2 전극층을 형성하는 단계;(c) 상기 제1 전극과 제2 전극이 교차하는 부분에 대응하는 제1 전극 상에 위치하고, 전도체를 포함하는 전도층을 형성하는 단계;(d) 상기 전도층 상에 위치하고, 제1 고분자 및 상기 제1 고분자에 분산된 반도체를 포함하는 활성층을 형성하는 단계; 및(e) 단계(b)의 제2 전극층 상에 접하고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 교차하도록 단계 (d)의 활성층을 위치시키는 단계;를 포함하고,상기 전도층과 상기 활성층이 접하는 계면이 쇼트키 정션에 의한 정류 계면이고,상기 전도층 및 활성층의 표면이 요철, 볼록, 오목, 반원, 타원 및 물결 중에서 선택된 1종 이상의 형상을 포함하고,상기 전도체가 제2 고분자를 포함하는 코어와, 상기 코어 상에 코팅된 전도성 물질을 포함하는 쉘:을 포함하고,상기 제1 고분자가 폴리스티렌(PS)이고, 상기 반도체가 ZnO이고,상기 제2 고분자가 폴리우레탄(PU)이고,상기 전도성 물질이 피닷:피에스에스(PEDOT:PSS)인 것인, 압력센서 매트릭스 어레이의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
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1 US20200141822 US 미국 FAMILY
2 WO2019022352 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2020141822 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2019022352 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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