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검사 대상물을 촬영하는 촬영부;상기 검사 대상물이 놓여지는 검사판;상기 검사판과 연결되고, 구비된 벨트 및 모터를 이용하여 X축 또는 Y축으로 상기 검사판을 이송시키는 이송부;상기 이송부를 지지하되, 구비된 복수의 방지층을 통해 진동을 방지하는 진동 방지부; 및상기 진동 방지부와 연결되고, 상기 진동 방지부를 지지하는 검사대;를 포함하고,상기 진동 방지부는 서로 다른 밀도 및 서로 다른 경도를 갖는 복수의 방지층을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 방지를 위한 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 진동 방지부는,상기 이송부의 하부에 위치한 제1 방지층;상기 제1 방지층의 하부에 위치한 제2 방지층; 및 상기 제2 방지층의 하부에 위치한 제3 방지층;을 포함하고,상기 제1 방지층, 상기 제2 방지층 및 상기 제3 방지층은 각각 서로 다른 밀도 및 서로 다른 경도를 갖는 것을 특징으로 하는 진동 방지를 위한 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 진동 방지부는,기설정된 제1 경도보다 높은 경도를 가지는 제1 물질로 이루어지는 제1 방지층;기설정된 제1 밀도보다 낮은 밀도를 가지는 제2 물질로 이루어지는 제2 방지층; 및기설정된 제2 밀도보다 높은 밀도를 가지는 제3 물질로 이루어지는 제3 방지층;을 포함하고,상기 제1 방지층, 상기 제2 방지층 및 상기 제3 방지층은 상기 검사판의 상단부터 순서대로 위치하는 것을 특징으로 하는 진동 방지를 위한 검사 장치
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 제2 방지층은 상기 제1 방지층에서 흡수된 진동파를 재흡수하여 진동파를 소거하거나, 상기 제1 방지층에서 흡수된 진동파가 상기 제1 및 제2 방지층 외부로 나가지 못하도록, 상기 제1 및 제2 방지층 사이에서 계속 반사시켜 진동파를 소거하는 것을 특징으로 하는 진동 방지를 위한 검사 장치
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 제1 방지층은 알루미늄 재질이고,상기 제2 방지층은 고무 재질이고,상기 제3 방지층은 철 재질인 것을 특징으로 하는 진동 방지를 위한 검사 장치
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 촬영부를 지지하는 촬영 지지대;를 더 포함하고,상기 촬영 지지대는 상기 제3 방지층에 고정되는 것을 특징으로 하는 진동 방지를 위한 검사 장치
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