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다층 비정질 실리콘 산화인듐아연막 구조를 이용한 플렉시블 열 방사 방지막

  • 기술번호 : KST2019001019
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속층의 하지층과 보호층으로 사용하는 비정질 산화인듐아연층에 실리콘을 포함하도록 하여, 기판에 하지층과 금속층 및 보호층이 다층 구조를 형성한 다층 비정질 실리콘 산화인듐아연막 구조를 이용한 플렉시블 열 방사 방지막에 관한 것으로서, 유연기판; 상기 유연기판 상에 하지층으로 형성한 제1 비정질 실리콘 산화인듐아연층; 상기 제1비정질 실리콘 산화인듐아연층 상에 형성한 금속층; 및 상기 금속층 상에 보호층으로 형성한 제2 비정질 실리콘 산화인듐아연층;을 포함하는 다층 비정질 실리콘 산화인듐아연막 구조를 이용한 플렉시블 열 방사 방지막을 제공함으로써, 기존의 은(Ag) 기반의 결정질 투명산화물 다층 박막에서 은(Ag)의 하지층 및 보호층의 결정질에 따른 결정 입계(grain boundary), 거칠기(roughness), 결점(defect) 등으로부터 자유로운 비정질 실리콘 산화인듐아연막을 이용함에 따라 기존의 은(Ag) 층보다 얇은 두께를 가지면서도 높은 전도성 및 저방사율을 가질 수 있는 다층 비정질 실리콘 산화인듐아연막 구조를 이용한 플렉시블 열 방사 방지막을 제공한다.
Int. CL C23C 14/08 (2006.01.01) C23C 14/20 (2006.01.01) C23C 14/18 (2006.01.01) C23C 14/58 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01)
CPC C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01)
출원번호/일자 1020170089594 (2017.07.14)
출원인 청주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0007925 (2019.01.23) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.14)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상렬 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 추혁 대한민국 경기도 화성시 동탄대로 ***-** 효성아이씨티타워 ****호(지엠국제특허)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 충청북도 청주시 청원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0675676-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.01.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0014215-60
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0179801-13
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2019-0487736-87
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0594275-17
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0594248-95
8 등록결정서
Decision to grant
2019.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0779974-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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다층 구조를 형성하는 열 방사 방지막에 있어서,유연기판;상기 유연기판 상에 하지층으로 형성한 제1 비정질 실리콘 산화인듐아연층;상기 제1비정질 실리콘 산화인듐아연층(SIZO) 상에 형성한 금속층; 및상기 금속층 상에 보호층으로 형성한 제2 비정질 실리콘 산화인듐아연층;을 포함하고, 상기 유연기판은, 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리아미드(polyamide, PA), 폴리아미드-이미드(polyamide-imide), 폴리우레탄(polyurethane, PU), 폴리우레탄아크릴레이트(polyurethaneacrylate, PUA), 폴리아크릴아미드(polyacrylamide, PA), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리에테르 설폰(Polyether sulfone, PES), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate, PEN), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리에테르이미드(polyetherimide, PEI), 폴리다이메틸실록세인(polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리비닐알코올(Polyvinyl alcohol, PVA), 폴리스틸렌(Polystyrene, PS), 이축연신폴리스틸렌(biaxially oriented PS, BOPS), 아크릴수지, 실리콘수지, 불소수지, 변성에폭시수지 중 어느 하나이고,상기 제1 및 제2 비정질 실리콘 산화인듐아연층은 스퍼터링 방법으로 두께 10nm 내지 1000nm으로 증착하며, 상기 제1 및 제2 비정질 실리콘 산화인듐아연층에 각각 포함된 실리콘의 함량은 0
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1 산업통상자원부 성문전자(주) 에너지수요관리핵심기술개발(에특) 융합형 스마트 윈도우 및 에너지 소비 기기 연동 시스템 개발