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액체를 담기 위한 제1 용기 및 제2 용기;상기 제1 용기의 내부와 상기 제2 용기의 내부를 연결하여 액체를 이송하는 연결 배관;상기 연결 배관에 설치되며, 액체의 이송 방향을 제어하는 양방향 펌프;상기 제1 용기와 상기 제2 용기 각각의 내부에서 경사지게 위치하는 두 개의 기판 지지대;상기 두 개의 기판 지지대 각각의 하부에 결합되고, 부채꼴 주름관 구조물로 이루어져 펼침 정도에 따라 상기 기판 지지대의 각도를 조절하며, 상기 기판 지지대의 하부 공간을 차지하여 상기 기판 지지대 아래로 액체가 유입되는 것을 차단하는 두 개의 각도 조절부; 및상기 제1 용기와 상기 제2 용기 각각의 상측에 위치하며, 액체의 계면 위로 코팅 용액을 직선형으로 방출하는 두 개의 선형 디스펜서를 포함하고,상기 두 개의 선형 디스펜서 각각은 서로간 거리를 두고 사선으로 배치된 제1 고정판 및 제2 고정판과, 상기 제2 고정판의 하측에 결합되며 상기 제2 고정판을 따라 슬라이딩하여 상기 제1 고정판과의 거리가 변하는 게이트를 포함하는 입자 코팅 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 용기와 상기 제2 용기 각각은 상기 기판 지지대보다 낮은 곳에 위치하는 관통 홀을 포함하고,상기 연결 배관의 양단은 상기 두 개의 관통 홀에 접속되는 입자 코팅 장치
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제1항에 있어서,상기 부채꼴 주름관 구조물은 상기 기판 지지대의 하측 단부에 대응하는 하나의 축을 중심으로 상기 기판 지지대의 상측 단부에 대응하는 반대측의 길이를 가변할 수 있는 형태로 이루어진 입자 코팅 장치
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제3항에 있어서,상기 두 개의 각도 조절부 각각은,뾰족한 제1 단부 및 가변 길이의 제2 단부를 포함하며, 지그재그로 접힌 복수의 삼각판으로 구성된 한 쌍의 부채꼴 주름부; 및상기 한 쌍의 부채꼴 주름부의 제2 단부를 연결하며, 지그재그로 접힌 복수의 사각판으로 구성된 사각 주름부를 포함하는 입자 코팅 장치
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제3항에 있어서,상기 제1 용기와 상기 제2 용기 각각의 내부에 위치하는 두 개의 직선 레일과, 상기 두 개의 직선 레일 각각에 결합된 두 개의 높이 조절부를 더 포함하며,상기 두 개의 각도 조절부 각각은 상기 두 개의 높이 조절부 각각의 상측에 결합되는 입자 코팅 장치
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제1항에 있어서,상기 두 개의 선형 디스펜서 각각은, 상기 게이트가 상기 제1 고정판과 접촉할 때 닫힌 상태를 유지하고, 미세 입자들이 분산된 코팅 용액을 저장하며, 상기 게이트가 상기 제1 고정판으로부터 이격 시 열린 상태가 되어 코팅 용액을 배출하는 입자 코팅 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 용기와 상기 제2 용기 각각에 담긴 액체의 계면 상에 위치하는 부표를 더 포함하며,상기 부표는 상기 액체의 계면 가장자리를 한 바퀴 둘러싸는 프레임 형상을 가지는 입자 코팅 장치
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제1항에 따른 입자 코팅 장치를 이용한 입자 코팅 방법으로서,상기 두 개의 기판 지지대 각각에 기판이 위치하고, 상기 제1 용기에 액체가 채워져 상기 제1 용기 내부의 기판이 상기 액체에 잠기는 제1 단계;상기 제1 용기에 제공된 상기 선형 디스펜서가 개방되어 상기 액체의 계면 위로 미세 입자들이 분산된 코팅 용액이 직선형으로 방출된 후 면을 이루며 확산하는 제2 단계; 및상기 양방향 펌프의 가동에 의해 상기 제1 용기의 액체가 상기 제2 용기로 이송되는 제3 단계를 포함하며,상기 제3 단계에서 상기 액체의 계면이 하강함에 따라 상기 미세 입자들이 상기 기판의 표면에 붙어 막을 형성하는 입자 코팅 방법
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제9항에 있어서,상기 제2 용기에 제공된 상기 선형 디스펜서가 개방되어 상기 제2 용기에 담긴 액체의 계면 위로 미세 입자들이 분산된 코팅 용액이 직선형으로 방출된 후 면을 이루며 확산하는 제4 단계; 및상기 양방향 펌프의 가동에 의해 상기 제2 용기의 액체가 상기 제1 용기로 이송되는 제5 단계를 더 포함하며,상기 제5 단계에서 상기 액체의 계면이 하강함에 따라 상기 미세 입자들이 상기 기판의 표면에 붙어 막을 형성하는 입자 코팅 방법
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제10항에 있어서,상기 코팅 용액은 상기 미세 입자들과 분산 용액을 포함하고,상기 미세 입자들은 나노미터 내지 마이크로미터 스케일의 크기를 가지며, 고분자, 반도체, 금속, 및 금속산화물 중 적어도 하나를 포함하고,상기 분산 용액은 1-부탄올, 에탄올, 및 이소프로필 알코올 중 적어도 하나를 포함하는 입자 코팅 방법
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제10항에 있어서,상기 제2 단계와 상기 제4 단계에서,상기 선형 디스펜서의 상기 코팅 용액 배출 속도는 상기 코팅 용액이 상기 액체의 계면 위로 퍼지는 속도와 동일한 입자 코팅 방법
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제10항에 있어서,상기 제1 용기와 상기 제2 용기 각각에 담긴 액체의 계면 상에 프레임 형상의 부표가 위치하며,상기 제2 단계와 상기 제4 단계에서 상기 부표는 내측 공간으로 상기 코팅 용액을 가두어 상기 코팅 용액이 상기 제1 용기와 상기 제2 용기의 측벽에 붙는 것을 차단하는 입자 코팅 방법
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제10항에 있어서,상기 제3 단계와 상기 제5 단계에서 상기 기판 상에 형성된 막은 상기 미세 입자들의 단층막으로 이루어진 입자 코팅 방법
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