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다중평행 모세관을 이용한 유전장벽방전 플라즈마 발생 장치

  • 기술번호 : KST2019001236
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 필요에 따라 플라즈마를 샘플에 직접 방전되게 하는 직접 방식과 플라즈마 방전에 의해 생성되는 활성종들을 샘플에 전달하는 간접 방식이 모두 가능한 플라즈마 발생 장치를 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은, 전극을 유전체 모세관 안에 배치한 넣고 이러한 하나의 DBD 플라즈마 전극 모듈 다수를 평행하게 배열하고, 각각의 DBD 플라즈마 전극 모듈에 내재된 전극에 전압을 인가하되, 상기와 같이 나란히 배열된 전극에 대해 교대로 교류 전원의 양단자를 각각 연결하여 모세관 안에 있는 전극들 사이에서 플라즈마 방전이 일어나게 하여 전체적으로는 일정 면적에서 플라즈마 방전이 일어나는, 다중평행 모세관 플라즈마 발생장치를 제공하였다. 또한, 상기 다중평행 모세관 플라즈마 발생장치를 밀폐된 제1 챔버에 넣고 상기 제1 챔버에 가스 유입구(흡기 밸브 포함)와 가스 배출구(배기 밸브 포함)를 설치하고, 피처리하여야 하는 샘플을 제2 챔버에 넣고, 상기 제1 챔버의 가스 배출구를 제2 챔버와 가스연결부로 연결하여 플라즈마 방전에 의해 생성된 활성종으로 상기 샘플을 처리할 수 있게 하였다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01)
CPC H01J 37/32348(2013.01) H01J 37/32348(2013.01) H01J 37/32348(2013.01)
출원번호/일자 1020170102933 (2017.08.14)
출원인 광운대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0018234 (2019.02.22) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.08.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 판카지 아트리 대한민국 서울특별시 노원구
2 박지훈 대한민국 서울특별시 송파구
3 최 은하 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0781402-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.05.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0088958-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0481557-83
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0894630-47
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.09.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0894602-79
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0854480-15
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번호 청구항
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전극을 유전체로 된 모세관 안에 넣어 전극 모듈을 구성하고, 상기 전극 모듈 여러 개를 나란히 배열하여 구성되는 다중 평행 모세관 플라즈마 발생장치; 및상기 전극 모듈에 인가될 전력을 공급하는 전원;을 구비하고,상기 다중 평행 모세관 플라즈마 발생장치에 포함된 전극들에 대해 상기 전원의 단자 중 한쪽 극성 단자와 반대 극성 단자를 서로 인접한 전극들에 대해 교대로 연결하여 인접한 전극 모듈 사이에서 유전 장벽 방전 플라즈마가 발생 되게 한 것을 특징으로 하는 다중 평행 모세관 플라즈마 발생장치;가 배치되는 제1 챔버; 및 상기 제1 챔버와 가스연결관으로 연결된 제2 챔버;를 구비하고,상기 제1 챔버는 흡기 밸브와 배기 밸브를 구비하되, 상기 가스연결관은 상기 배기 밸브와 접속되고,처리하고자 하는 피처리물을 상기 제1 챔버에 넣어 플라즈마 발생에 의한 직접적인 플라즈마 처리를 실시하거나 처리하고자 하는 피처리물을 상기 제2 챔버에 넣어 플라즈마 발생으로부터 생성되는 활성종에 의해 간접적인 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템
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제3항에 있어서, 활성종의 종류 제어는 상기 제1 챔버에 공급되는 기체 종류의 조합을 제어하여 이루어지고, 활성종의 농도 제어는 기체의 종류, 유량, 또는 서로 다른 기체의 혼합 비율을 제어하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템
5 5
제3항에 있어서, 상기 피처리물을 상기 제1 챔버에 넣어 직접적인 처리를 실시하는 시간과 상기 제2 챔버에 넣어 간접적인 처리를 실시하는 시간을 제어하여 피처리물에 대한 변화를 제어하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템
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제3항에 있어서, 상기 다중 평행 모세관 플라즈마 발생장치에 포함된 상기 전극은 막대, 코일, 또는 막대와 코일이 혼합된 것으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 광운대학교 해외우수 연구기관 유치사업 독일 INP-광운대 PBRC 플라즈마 의과학 센터
2 교육부 광운대학교 이공분야기초연구사업 저온 대기압 플라즈마 장치를 이용한 수질 오염 개선 및 메커니즘 연구