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기 정해진 소정 파장의 적외선을 생성하는 블랙바디 소스 광원을 조사하는 광원부; 상기 광원부로부터 조사된 적외선 광을 기 정해진 쵸퍼 주파수에 따라 통과시키는 광학부; 보드에 조사된 상기 광학부의 소정 파장의 적외선 광량과 보드를 통과한 적외선 광량으로 보드의 물성을 측정하는 테라헤르츠 센서; 상기 테라헤르츠 센서의 조사된 적외선 광량 및 상기 보드를 통과한 적외선 광량을 검출하는 검출부; 및 상기 검출된 조사된 적외선 광량 및 보드를 통과한 적외선 광량을 분석하여 상기 테라헤르츠 센서의 정량적 평가를 수행하는 분석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 센서
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제1항에 있어서, 상기 광원부는, 테라헤르츠로 적외선 파장의 블랙바디 소스 광원을 통과시키는 광속 단속기;상기 광속 단속기를 통과한 블랙바디 소스 광원의 파워 세기를 결정하는 애퍼처; 및 상기 테라헤르츠 주기의 적외선 파장의 블랙바디 소스 광원 중 테라헤르츠 파장의 적외선을 통과시키는 테라헤르츠파 필터로 구비되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 센서
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제2항에 있어서, 상기 분석부는, QCL(Quantum Cascade Laser) 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(QCL NEP)과 블랙바디소스 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(BBS NEP)의 비를 토대로 도출된 테이블값을 광속단속기의 주파수 및 파장에 매칭시켜 저장하는 데이터베이스 구축 모듈; 블랙바디소스(BBS : BlackBody Source) 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(BBS NEP)을 연산하는 연산 모듈; 연산된 블랙바디소스 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(BBS NEP)에 매칭되는 저장된 테이블값을 독출하는 테이블값 독출 모듈; 및 독출된 테이블값 및 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(BBS NEP)을 토대로 QCL 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(QCL NEP)을 추정하는 추정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 센서
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제3항에 있어서, 상기 연산 모듈은, 상기 보드로 제공된 테라헤르츠파의 적외선 광량 및 보드를 통과한 적외선 광량으로 신호대 잡음 비를 측정하고, 측정된 신호대 잡음 비로부터 입사된 적외선 방사조도(E)와 검출 소자의 반응 면적(AD) 비의 곱으로부터 반응도를 연산하며, 연산된 반응도와 잡음비로부터 잡음등가전압(BBS NEP)을 도출하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 센서
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제4항에 있어서, 상기 잡음은 상기 보드에 제공되는 적외선을 차단한 후 보드에 통과한 적외선 광량으로부터 측정된 전압으로 구비되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 센서
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QCL(Quantum Cascade Laser) 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(QCL NEP)과 블랙바디소스 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(BBS NEP)의 비를 토대로 도출된 테이블값을 광속단속기의 주파수 및 파장에 매칭시켜 저장하는 데이터베이스 구축 단계; 블랙바디소스(BBS : BlackBody Source) 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(BBS NEP)을 연산하는 연산 단계; 연산된 블랙바디소스 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(BBS NEP)에 매칭되는 저장된 테이블값을 독출하는 테이블값 독출 단계; 및 독출된 테이블값 및 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(BBS NEP)를 토대로 QCL 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압(QCL NEP)을 추정하는 추정 단계를 구비되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 센서 측정 방법
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