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상면에 제1홈이 형성되고, 하면에 제2 홈이 형성된 본체와, 상기 본체의 제1홈에 형성된 제1히터전극과 제1감지전극, 상기 본체의 상면에 제1히터전극 및 제1감지전극 각각과 연결된 제1전극패드, 상기 제1히터전극과 제1감지전극에 형성된 제1감지막을 구비한 제1가스센서부와, 상기 본체의 제2홈에 형성된 제2히터전극 및 제2감지전극, 상기 본체의 하면에 제2히터전극과 제2감지전극 각각과 연결된 제2전극패드, 상기 제2히터전극과 제2감지전극에 형성된 제2감지막을 구비한 제2가스센서부를 구비한 양방향 가스센서, 및 상기 양방향 가스센서가 내장되고, 상기 제1가스센서부의 제1감지막으로 가스가 유입되는 제1유입홀 및 상기 제2가스센서부의 제2감지막으로 가스가 유입되는 제2유입홀이 구비된 패키지 구조물을 포함하고,상기 제1 가스센서부와 제2가스센서부는 서로 간섭되지 않은 상태로 독립 구동되며, 상기 제1히터전극과 제2히터전극의 두께와 길이에 따른 저항의 발열과, 상기 발열에 의한 제1감지막과 제2감지막의 승온 변화에 따라 감지대상 가스의 종류가 다른 가스를 감지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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제1항에 있어서, 상기 본체는 세라믹 그린 시트들이 적층된 제1 내지 제3적층체로 이루어지고,상기 제1홈은 상기 제1적층체의 제1관통홀에 의해 구현되고, 상기 제2홈은 상기 제3적층체의 제2관통홀에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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제1항에 있어서, 상기 본체는 실리콘 기판으로 이루어지고,상기 제1 및 제2홈은 상기 실리콘 기판의 양면이 식각되어 형성된 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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4
제3항에 있어서, 상기 제1히터전극과 상기 제1감지전극은 상기 제1홈의 바닥면에 형성되고,상기 제1전극패드는 상기 실리콘 기판 상면에 형성되고, 상기 제1히터전극 및 상기 제1감지전극과 상기 제1전극패드를 연결하는 전극패턴이 상기 실리콘 기판 상면, 제1홈의 측벽 및 바닥면에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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5
제3항에 있어서, 상기 제2히터전극과 상기 제2감지전극은 상기 제2홈의 바닥면에 형성되고,상기 제2전극패드는 상기 실리콘 기판 하면에 형성되고, 상기 제2히터전극 및 상기 제2감지전극과 상기 제2전극패드를 연결하는 전극패턴이 상기 실리콘 기판 상면, 제2홈의 측벽 및 바닥면에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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제1항에 있어서, 상기 패키지 구조물은,세라믹 그린 시트들이 적층된 제4 내지 제7적층체 및 제1과 제2유입홀이 형성된 제1 및 제2캡이 결합되어 형성되며,상기 제4 내지 제7적층체에 제4 내지 제7관통홀이 형성되어 있고, 상기 제4 내지 제7적층체가 순차적으로 적층되어 있고,상기 제4적층체의 제4관통홀이 상기 제1캡에 대향되고, 상기 제7적층체의 제7관통홀이 상기 제2캡에 대향되며,상기 제4적층체에 도전성 제4비아홀들이 형성되고, 상기 도전성 제4비아홀들과 연결되는 전극단자가 상기 제4적층체의 하면에 형성되고, 상기 제5적층체에 도전성 제5비아홀들이 형성되고, 상기 도전성 제5비아홀들과 연결되는 제1본딩단자를 포함하는 전극패턴이 상기 제5적층체의 상면에 형성되고, 상기 제6적층체에 도전성 제6비아홀들이 형성되고, 상기 도전성 제6비아홀들과 연결되는 제2본딩단자를 포함하는 전극패턴이 제6적층체의 상면에 형성된 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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7
제6항에 있어서, 상기 패키지 구조물은,상기 제4 내지 제7적층체가 적층된 상태에서 소성되어 만들어진 소결체인 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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8
제7항에 있어서, 상기 제1본딩단자와 상기 양방향 가스센서의 제2가스센서부의 제2전극패드가 플립칩 본딩되어 있고, 상기 제2본딩단자와 상기 양방향 가스센서의 제1가스센서부의 제1전극패드가 와이어 본딩되어 있는 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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9
제8항에 있어서, 상기 제1캡이 상기 제4적층체의 제4관통홀에 삽입되어 상기 제5적층체에 접착되어 있고, 상기 제2캡이 상기 제7적층체의 제7관통홀의 상면에 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지
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10
a) 상면에 제1홈이 형성되고 하면에 제2 홈이 형성된 본체와, 상기 본체의 제1홈에 형성된 제1히터전극과 제1감지전극, 상기 본체의 상면에 제1히터전극 및 제1감지전극 각각과 연결된 제1전극패드, 상기 제1히터전극과 제1감지전극에 형성된 제1감지막을 구비한 제1가스센서부와, 상기 본체의 제2홈에 형성된 제2히터전극 및 제2감지전극, 상기 본체의 하면에 제2히터전극과 제2감지전극 각각과 연결된 제2전극패드, 상기 제2히터전극과 제2감지전극에 형성된 제2감지막을 구비한 제2가스센서부를 구비하며, 상기 제1 가스센서부와 제2가스센서부는 서로 간섭되지 않은 상태로 독립 구동되며, 상기 제1히터전극과 제2히터전극의 두께와 길이에 따른 저항의 발열과, 상기 발열에 의한 제1감지막과 제2감지막의 승온 변화에 따라 감지대상 가스의 종류가 다른 가스를 감지하도록 구성된 양방향 가스센서 제조하는 단계;b) 세라믹 그린 시트들이 적층되고 제4 내지 제7관통홀이 형성된 제4 내지 제7적층체 및 제1과 제2유입홀이 형성된 제1 및 제2캡을 준비하는 단계;c) 상기 제4 내지 제6적층체에 도전성 비아홀들을 형성하고, 상기 제5적층체의 상면에 제1본딩단자를 포함하는 전극패턴을 형성하고, 상기 제6적층체의 상면에 제2본딩단자를 포함하는 전극패턴을 형성하고 상기 제4적층체 하면에 제1 및 제2본딩단자 각각과 도전성 비아홀에 의해 연결되는 전극단자를 형성하는 단계;d) 상기 제4 내지 제7적층체를 적층하고 소성하여 소결체를 형성하는 단계;e) 상기 양방향 가스센서의 제2가스센서부와 상기 제1본딩단자, 및 상기 제1가스센서부와 상기 제2본딩단자 각각을 전기적으로 연결하는 단계; 및f) 상기 소결체의 제4적층체의 제4관통홀에 제1캡을 삽입하고 상기 제1캡을 상기 제5적층체에 접착하고, 상기 제7적층체의 제7관통홀의 상면에 제2캡을 접착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 양방향 가스센서 패키지의 조립방법
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