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상면에 다이어프램 홈이 형성되고, 상기 다이어프램 홈의 측면 방향으로 이격되어 상하로 관통하는 콘택트홀이 적어도 하나 이상 형성되는 하부기판;상기 하부기판의 상면에 결합되며, 상기 하부기판에 의해 지지되는 고정부와 상기 다이어프램 홈에 대응되는 가동부의 두께가 균일한 중간기판;상기 중간기판의 가동부 하면에 형성되어 상기 중간기판의 변형을 측정하는 적어도 하나 이상의 저항체, 상기 중간기판의 고정부 하면에 상기 콘택트홀에 대응하는 위치에 형성되는 적어도 하나 이상의 전극패드, 및 상기 중간기판의 하면에 상기 저항체와 상기 전극패드를 연결하도록 형성되는 전극패턴을 포함하는 센싱부; 및상기 다이어프램 홈에 대응하는 위치에 상기 다이어프램 홈 보다 넓은 매질홀이 형성되고, 상기 중간기판의 상면에 결합되는 상부기판;상기 콘택트홀을 통해 외부회로와 상기 전극패드를 연결하는 도선; 및상기 콘택트홀에 충진되어 상기 전극패드와 도선을 고정하는 전도성 고정부재를 포함하는 세라믹 압력센서
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청구항 1에 있어서,상기 하부기판은상기 다이어프램 홈의 중앙에 스토퍼가 형성된 세라믹 압력센서
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청구항 1에 있어서,상기 중간기판의 고정부와 상기 하부기판 사이에 형성되어 상기 중간기판과 상기 하부기판을 접착시키는 제1 접착층; 및상기 중간기판과 상기 상부기판 사이에 형성되어 상기 중간기판과 상기 하부기판을 접착시키는 제2 접착층을 더 포함하는 세라믹 압력센서
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청구항 2에 있어서,상기 스토퍼는상면 위치가 상기 하부기판의 상면과 동일하고, 상기 다이어프램 홈에 의해 둘러싸이는 기둥 형상인 세라믹 압력센서
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다이어프램 홈이 어레이 형태로 복수개 형성되고, 상기 다이어프램 홈의 측면 방향으로 이격되고 상하로 관통하는 컨택트홀이 상기 다이어프램 홈 마다 적어도 하나 이상 어레이 형태로 형성된 하부기판 어레이, 상기 다이어프램 홈에 대응하는 위치에 매질홀이 어레이 형태로 복수개 형성되는 상부기판 어레이 및 판형의 중간기판 어레이를 형성하는 단계;상기 중간기판 어레이의 두께를 균일하게 형성하는 중간기판 가공단계;상기 중간기판 어레이 하면에 금속층을 형성하고, 상기 금속층을 패터닝하여 상기 다이어프램 홈에 대응되는 가동부에 형성되는 적어도 하나 이상의 저항체, 상기 컨택트홀에 대응하는 위치에 형성되는 적어도 하나 이상의 전극패드 및 상기 저항체와 전극패드를 연결하는 전극패턴을 형성하는 센싱부 형성단계;상기 하부기판 어레이, 중간기판 어레이, 상부기판 어레이를 결합하는 결합단계; 및미리 설정된 절단선에 따라, 상기 하부기판 어레이, 상기 중간기판 어레이 및 상기 상부기판 어레이를 절단하여 분리하는 단계를 포함하는 세라믹 압력센서 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 중간기판 가공단계는상기 중간기판 어레이를 연마함으로써, 상기 중간기판 어레이의 상면과 하면을 평탄화하고, 상기 중간기판 어레이의 두께를 균일하게 형성하는 세라믹 압력센서 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 결합단계는상기 하부기판 어레이 상면에 접착층을 형성하고 상기 중간기판 어레이의 하면을 결합함으로써, 상기 상부기판 어레이 상면과 상기 중간기판 어레이 하면 사이의 제1 간격을 조절하는 세라믹 압력센서 제조방법
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