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플라즈마 발생에 필요한 가스가 공급되는 제1 유리관 및 제2 유리관;상기 제1 유리관 또는 상기 제2 유리관에 일정한 간격을 두고 상기 제1 및 제2 유리관이 배치된 가상의 직선으로부터 연장된 가상의 연장 직선 상에 배치되는 적어도 하나의 추가 유리관;상기 제1 유리관에 접하는 전원전극;상기 제2 유리관의 외부에 접하는 접지전극;상호 이격 배치되도록 상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관을 지지하고, 상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관과 각각 연통되는 요홈이 형성된 프레임; 및상기 프레임의 하측에 배치되는 가이드 플레이트;를 포함하며,상기 프레임의 요홈과 상기 가이드 플레이트는 충돌공간을 형성하고, 상기 충돌공간 내에 있는 플라즈마를 선형으로 분사하는 분사구를 형성하는, 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 가이드 플레이트는 상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관으로부터 발생된 각각의 플라즈마를 상기 충돌공간의 중앙으로 가이드하여 결합시키는, 플라즈마 발생 장치
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제2항에 있어서,상기 가이드 플레이트는 상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관으로부터 발생된 플라즈마를 상기 프레임의 전면을 향해 가이드 하도록 경사 배치된, 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 프레임은,상기 제1 유리관의 일부가 삽입되는 제1 지지홈;상기 제1 지지홈과 이격 형성되며 상기 제2 유리관의 일부가 삽입되는 제2 지지홈; 및상기 제1 지지홈 또는 상기 제2 지지홈과 이격 형성되며 상기 적어도 하나의 추가 유리관의 일부가 삽입되는 제3 지지홈;을 더 포함하고,상기 제1 내지 제3 지지홈은 상기 요홈과 연통되는, 플라즈마 발생 장치
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제4항에 있어서,상기 요홈은 상기 제1 내지 제3 지지홈과 단차를 형성하고,상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관은 상기 단차 위로 배치되는, 플라즈마 발생 장치
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제4항에 있어서,상기 요홈은 상기 제1 내지 제3 지지홈 보다 상기 프레임의 전면에 가깝게 형성된, 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관은 각각,일단에 상기 가스가 공급되는 유입부가 형성되고, 타단에 상기 가스를 방전시켜 발생된 플라즈마를 배출하는 배출부가 형성되는, 플라즈마 발생 장치
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제7항에 있어서,상기 가이드 플레이트는 상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관의 상기 배출부 전부를 가리는 위치에 배치되는, 플라즈마 발생 장치
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제8항에 있어서,상기 가이드 플레이트는 상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관의 상기 배출부와 상호 이격 배치되는, 플라즈마 발생 장치
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10
제1항에 있어서,상기 분사구는 상기 제1 유리관, 상기 제2 유리관 및 상기 적어도 하나의 추가 유리관 보다 상기 프레임의 전면에 인접하게 형성된, 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 분사구는 슬릿 형상인, 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 요홈의 내벽은 평면으로 형성된, 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 요홈의 내벽은 상기 분사구를 향해 돌출되도록 곡면으로 형성된, 플라즈마 발생 장치
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